Električno grejanje |
Komora (Jedno komorni sistem) |
||||
N/A |
|||||
Tip donjeg elektroda |
242mm |
||||
Opseg temperature procesa |
-20-100°C |
||||
Извор плазме |
600W-1000W |
||||
Merni instrument za procesno pritisak |
100mtorr |
||||
Вакуумски систем |
Molekularne pumpne jedinice, sistemi suvih pumpi, komora za proces |
||||
Број на етчинг комори |
Една комора |
||||
Чепове |
Tip |
Veličina/mm |
Материјал |
||
N/A |
8, 6, 4, 3, 2 |
||||
Детектор на крајна точка |
Opcija |
||||
Индуктивно поврзана плазма |
Opcija |
Materijal za graviranje |
Si, Sio, Sin, Sau, Pt, Al |
Стапка на етчење |
>20 nm/min (SiO2 материјал). Стапките кај различните материјали се различни |
Дистрибуирана контрола |
>85° |
Metod učitavanja |
Otvoreno punjenje |
Gasovod kontrolisan MFC-om |
Na raspolaganju su šest rezervoara za gas |
Opcija hlađenja sa heliumom sa stražnje strane |
Da |
Sučelje čovjek-mašina |
Operacija putem dodirnog ekrana |
Način rada |
Potpuno automatski režim, nepotpuno automatski režim |
Izbor i konfiguracija automatskih uređaja |
Možete izabrati između uvoznih i domaćih delova |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Sva prava zadržana