
Електрично грејање |
Камера (једнаког кавита) |
||||
Не |
|||||
Тип доње електроде |
242 мм |
||||
Процесни распон температуре |
-20-100°C |
||||
ПЛАСМА извор |
600W-1000W |
||||
Величина процесног метра притиска |
100мторр |
||||
Вакуумски систем |
Молекуларне помпе, суви системи пумпа, процесна комора |
||||
Број копаних комора |
Једностопанска шупљина |
||||
Заглавље |
Тип |
Величина/мм |
Материјал |
||
Не |
8、6、4、3、2 |
||||
Детектор крајње тачке |
Опција |
||||
Индуктивно спојена плазма |
Опција |
||||
Материјал за резирање |
Си, Сио, Син, Сау, Пт, Ал |
Стопа резања |
> 20nm/min (си02 материјал) Стопе различитих материјала нису исте |
Дистрибуирана контрола |
>85° |
Метода пуцања |
Отворено пуњење |
Гасовода коју контролише МФЦ |
Доступно је шест резервоара за гас |
Опција хелијумског задњег хлађења |
Да, да. |
Интерфејс човек-машина |
Операција са тачскрином |
Режим рада |
Потпуно аутоматски режим, непотпуно аутоматски режим |
Избор и конфигурација аутоматизованих уређаја |
Можете изабрати или увозене или домаће делове |










Copyright © Гуангзхоу Миндер-Хигхетх Цо., Лтд. Сва права су резервисана