Sistem reaktivnega jonovitograjenja RIE , China Sistem reaktivnega jonovitograjenja RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis produkta

Reaktivno jonsko izrezovanje (RIE)

Reaktivno jonsko izrezovanje (RIE) se lahko uporabi za pripravo mikro-nano struktur in je ena izmed tehnologij procesa proizvodnje polprevodnikov. Med procesom RIE izrezovanja obrazujejo različne aktivne delce v plazmi s površino materiala volatilne produkte. Ti produkti so odstranjeni s površine materiala, na koncu pa se doseže anizotropno mikrostrojno izrezovanje površine materiala. Vrstice reaktivnih jonskih izrezovalnikov (RIE) temeljijo na tehnologiji ploskovnega kapacitivnega povezovanja plazme in so primerni za vzorčno izrezovanje kremenih materialov, kot so enakokrystalni krmene, polkristalni krmene, kremeni oksid (SiO), kremeni nitrid (SiNy), kvartc (Quartz) in kremeni karbid (SiC); jih je mogoče uporabiti za vzorčno in slojno izrezovanje organičnih materialov, kot so fotorezist (PR), PMMAHDMS in drugih materialov; jih je mogoče uporabiti za fizikalno izrezovanje kovinskih materialov, kot so nikl (Ni), hrom (Cr) in keramičnih materialov; jih je mogoče uporabiti za izrezovanje indij-fosfidnega (InP) materiala pri sobni temperaturi. Za nekatero izrezovanje z višjimi zahtevami po procesu lahko uporabimo tudi naše ICP RIE izrezovanje.

Glavna konfiguracija:

1. Velikost vzorcev: 4, 8, 12 palcev, združljiva z različnimi manjšimi velikostmi vzorcev, podpira prilagoditev na zakaz
2. Obseg RF plazmenske moči: izbirno 300/500/1000 W;
3. Molekularni pumpan: izbirno 620/1300 //s, izbirno protikorozivno nastavitev pumpe;
4. Predpumpan: mehanska oljasta pumpana/suha pumpana izbirno;
5. Nadzor tlaka: izbira 0 ~ 1 Torr; lahko se izbere tudi konfiguracija brez nadzora tlaka,
6. Procesni plin: hkrati se lahko namesti do 9 procesnih plinov; temperatura: 10 stopinj ~ sobna temperatura/-30 stopinj ~ sobna temperatura/prilagojen obseg temperature,
7. Po potrebi se lahko skonfigurira hladjenje z helijem na zadnji strani;
8. Odstranljiva črpalka za zaščito pred onesnaženjem;
9. Izbirno napajanje;
10. Popolnoma avtomatski sistem za upravljanje z eno tipko;

RIE primerne materialne skupine:

1. Kremenikovski materiali: kremenik (Si), kremenikov oksid (SiO2), kremenikov nitrid (SiNx), kremenikov karbid (SiC)
2. III-V materiali: indij-fosfid (InP), galij-arsenid (GaAs), galij-nitrid (GaN)
3. II-VI materiali: kadmir-telurid (CdTe)
4. Magnetni materiali/legurni materiali
5. Metalni materiali: greda (AI), zlato (Au), volfram (W), titan (Ti), tantal (Ta)
6. Organski materiali: fotoresist (PR), organski polimer (PMMA/HDMS), org

Aplikacije povezane s RIE:

1. Izrezovanje na silikonskih materialih, nanoznačevanje vzorcev, poljski vzorci in lečne vzorce;
2. Temperaturno odpiranje indij-fosfida (InP), vzorniško odpiranje InP-baziranih naprav v optični komunikaciji, vključno s strukturami valovoda, resonančnimi jamskimi strukturami in grebenastimi strukturami;
3. Odpiranje SiC materiala, primeren za mikrovalne naprave, močne naprave itd.;
4. Fizično špalterjevo odpiranje se uporablja za določene kovine, kot je nikel (Ni), hrom (Cr), keramiko in druge material, ki jih je težko kemikalno odklopiti, ter doseže vzorniško odpiranje materialov s fizičnim bombardiranjem;
5. Odpiranje organskih materialov se uporablja za odpiranje, čiščenje in odstranjevanje organskih materialov, kot so fotorezist (Photo Resist), PMMA, HDMS, Polimer;
6. Večplastno odpiranje za analizo spodleteljstev čipov (Failure Analysis-FA);
7. Lečenje dvehrazsežnih materialov: W, Mo dvehrazsežni materiali, grafen;

Rezultati uporabe:

Konfiguracija projekta in diagram strojne strukture

Element	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Velikost produkta	≤6 palcev	≤8 palcev	≤8 palcev
RF močni vir	0-300W/500W/1000W Prilagodljivo, avtomatsko ujemanje
Molekulska pumpanja	-/620(L/s)/1300(L/s)/Po meri			Antiseptično 620(L/s)/1300(L/s)/Po meri
Predpomorska pumpanja	Strojna pumpanja/suha pumpanja			Suha črpalka
Procesni tlak	Nekontrolirano tlakovanje/0-1Torr kontrolirano tlakovanje
Vrsta plina	H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Po meri (Do 9 kanalov, brez korozivnih in toksičnih plinov)			H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr (Do 9 kanalov)
Plinski kuhalnik	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/prilagojen
Nalaganje/zaklepanje	Da/Ne			Da
Krmiljenje temperature vzorca	10°C~običajna temperatura/-30°C~100°C/prilagojeno			-30°C~100°C /prilagojeno
Hladitev z helijem	Da/Ne			Da
Obruba procesne jamy	Da/Ne			Da
Krmiljenje temperature stene jamy	Ne/Običajna temperatura~60/120°C			Običajna temperatura-60/120°C
Nadzorni sistem	Avtomatsko/prilagojeno
Očrpalna snov	Na bazi kremenika: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Magnetne snovi/spletnaste snovi Kovinska snov: Ni/Cr/Al/Au..... Organična snov: PR/PMMA/HDMS/Organic plena......			Na bazi kremenika: Si/SiO2/SiNx...... III-V (opomba 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (opomba 3): CdTe...... Magnetne snovi/spletnaste snovi Kovinski material: Ni/Cr/A1/Au...... Organični material: PR/PMMA/HDMS/organčna plenka...

Resne snemke laboratorijev in zavodov

Pakiranje & Dostava

Podjetni profil

Minder-Hightech je prodajni in storitveni predstavnik v opremi za industrijo polprevodnikov in elektronskih izdelkov. Od leta 2014 je podjetje posvečeno temu, da strankam ponuja Izredne, Zanesljive in Enotne Rešitve za strojno opremo.

Pogosta vprašanja

1. O ceni:
Vsa naša cenovanja so konkurenčna in pogajljiva. Cena se spreminja v odvisnosti od konfiguracije in kompleksnosti prilagoditve vaše naprave.

2. O vzorcu:
Možemo vam ponuditi storitve izdelave vzorcev, a morate plačati nekatera stroškovna pristojbina.

3. O plačilu:
Po potrditvi načrta morate najprej plačati zaloge, nato pa bo zavod začel pripravljati izdelke. Ko bo oprema pripravljena in boste plačali ostanek, jo bomo poslali.

4. O dostavi:
Ko bo izdelava opreme končana, vam bomo poslali video za sprejem, lahko pa tudi pridejo na lokacijo za pregled opreme.

5. Namestitev in prilagajanje:
Ko bo oprema prišla v vašo fabriko, jo lahko pošljemo inženirje za namestitev in prilagajanje opreme. Za ta strošek storitve vam bomo ponudili poseben cenik.

6. O jamstvu:
Naše opreme ima jamstvo trajajoče 12 mesecev. Po obdobju jamstva, če so katerikoli deli pokvarjeni in jih je treba zamenjati, bomo vzel le stroške proizvodnje.

Domov

O nas

MH Equipment

Rešitev

Uporabniki v tujini

Video

Kontaktirajte nas

Sistem reaktivnega jonovitograjenja RIE

Reaktivno jonsko izrezovanje (RIE)

Glavna konfiguracija:

RIE primerne materialne skupine:

Aplikacije povezane s RIE:

Več izdelkov

Vrstica MD-FS stroj za vinjenje kondenzatorjev

Vrstica MD-FDS avtomatski stroj za vinjenje kondenzatorjev

Vrstica MD-EFS stroj za vinjenje kondenzatorjev

Vrstica MD-EDFS stroj za vinjenje filmovih kondenzatorjev

Poizvedba

Articles

Products

Get In Touch

Sistem reaktivnega jonovitograjenja RIE

Reaktivno jonsko izrezovanje (RIE)

Glavna konfiguracija:

RIE primerne materialne skupine:

Aplikacije povezane s RIE:

Več izdelkov

Poizvedba

Articles

Products

Get In Touch

Ostanite v stiku