





|
PLASMA vir
|
RF+BIAS
|
||
|
Moč
|
1000W
|
1000W
|
|
|
600 W
|
600 W
|
||
|
Namena uporabe
|
4-8 palcev
|
||
|
Število obdelanih pladenkov
|
ena
|
||
|
Izgledne razmere
|
1140mm x 1050mm x 1620mm
|
||
|
Kontrola sistema
|
Industrijski nadzorni sistem
|
||
|
Stopnja avtomatizacije
|
Navodila
|
||








Avtorske pravice © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Vse pravice pridržane