





|
Plazma
|
RF
|
RF
|
||
|
Moč
|
ICP
|
1000W
|
1000W
|
|
|
BIAS
|
600w(option)
|
600w(option)
|
||
|
Namena uporabe
|
4~8寸
|
4~8寸
|
||
|
Število obdelanih pladenkov
|
1
|
2
|
||
|
Izgledne razmere
|
1080x1840x1800mm
|
1340x2050x1800mm
|
||
|
Kontrola sistema
|
Industrijski nadzorni sistem
|
Industrijski nadzorni sistem
|
||
|
Stopnja avtomatizacije
|
avtomatsko
|
avtomatsko
|
||









Avtorske pravice © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Vse pravice pridržane