MDLB-MC200 Počistnik fotomask

ŠT.

Projekt

Specificacije

Pripombe

1

Pregled naprave

Ime naprave: Čiščalnik fotomiske

Model naprave: MDLB-MC200

Skupne razsežnosti (približno): 1300mm (Š) * 1000mm (G) * 1950mm (V)

Skupna teža stroja (približno): 300KG

Višina delovnega miza: 900 ± 50mm

Standardi velikosti podlage: primerna za kvadratne maskovne plošče velikosti 2/4/5/6/8 palcev

Tehnološki postopek: ročno postavljanje plošče → čiščenje (četka, čiščilna kemijska snov → visoko tlakova voda → megasonična voda → deionizirana voda → sušenje z duhom kisika) → ročno odstranitev plošče

Vrsta opreme: polavtomatska, ročna nalaganja in izalaganja

2

Strojniški zgradbi

Odhod: nerjaveča čel just, korozija uporni, enostavno počistiti

Ciscilna komora: PP, gladko, upor za korozijo, enostavno počistiti

Pot: PU/PFA primer pipeline je uporabljana

Delovno osvetlitev: anti-korozija rumeno svetlo osvetlitev

Slog odpiranja vrata: dvoje vrata z funkcijo alarmnega odpiranja vrat

Dotikov zaslon: 10 palcev celobarvni dotikov zaslon * 1

FFU: razred 100

Podpora podnevnega preleta: na voljo

3

Servomotor z visoko natančnostjo

Količina: 1

Hitrost: -3000~3000 obr./min

Prazen nosil

Največja pospešek vrtenja valja: 3000 obr./s

Prazen nosil

Točnost hitrosti: ± 1obr./min (50obr./min~3000obr./min)

Različica hitrosti: 1obr./min

4

Samodejno rameno

Količina: 3

Hitrost ramena: 1~30 °/s

5

Cistitvena enota

Čiščilna klenjica: 1 kanal odionizirane vode, 1 kanal duhov kisika

Megasonična klenjica: 1 megasonični, 1 visoko tlakova voda

Češkalna klenjica: 1 češka, 1 voda, 1 čiščilna rečevina

Način čiščenja: avtomatsko čiščenje

Funkcija sukanja odionizirane vode: na voljo

Obratno umivajoče (odionizirana voda): 1 pot

Način dobave: Čiščilna rečevina: Membranski pumpe

Odionizirana voda: posreduje neposredno zavod

Tlakovnik s preverjanjem ravni tekočine

6

Češka za češkanje

Količina: 1 (z funkcijo samodejnega čiščenja)

Hitrost: do 1000 obr./min, prilagodljiva hitrost

Višina ročno prilagodljiva

7

Nosilna plošča

Količina: 5

Material: PPS+jekleno celice

Velikost: Priljubljena za kvadratne maskirne plošče velikosti 2/4/5/6/8 palcev

Način zaklepovanja podlage: Način z vreloglavicami

8

Nadzorni sistem

Kontrolni sistem: uporablja PLC kontrolu

Program: 100 skupin, vsaka skupina sestavljena iz 100 korakov, z največjim časom enega koraka 3000,0 sekund

Ločljivost: 0,1S

Program se lahko shrani, povabi, spremeni in izbriše

Nastavi dovoljenja za šifriranje: za operaterje naprav, tehnične osebje, upravitelje in proizvajalce oz. posebej

Vrsta signalizacijske stolpe: rdeča, rumena, zelena 3 barve