RIE (reaktivno ionsko graviranje) je ključna tehnika za proizvodnjo mikroelektronike in polprevodnikov. Oprema za RIE zahteva pline, kot so kisik, dušik, kombinacija nitrid/hibrid in žveplov heksafluorid, da lahko pravilno deluje. Vsak od teh plinov opravlja posebno funkcijo pri graviranju materialov v mikroskopskem merilu.

Drobnoprodajna oprema za reaktivno ionsko graviranje

QTH Iskanje dobrih ponudb za opremo RIE je težko, a obstaja nekaj mest, kjer lahko iščete. Najboljše je iskati na različnih spletnih trgih za industrijsko opremo. Spletne strani imajo običajno več različnih prodajalcev, kar vam omogoča primerjavo cen in najdbo najboljših ponudb. Druga odlična možnost so sejemski seji iz industrije. Proizvajalci in kupci se tam srečujejo in včasih lahko najdete ponudbe za najnovejšo tehnologijo RIE.

Pogoste težave pri reaktivnem ionskem graviranju

Med delovanjem se v opremi za reaktivno ionsko izpiranje pogosto pojavlja več skupnih težav. Glavna skrb predstavljajo sami plini. Včasih lahko pride do nerednega toka plina, kar povzroči neenakomerno izpiranje. Plinski ravnotežje plinov, kot sta dušik in vodik, lahko vpliva na kakovost izpiranja materiala. To lahko privede do napak v končnem rezultatu, kar pa nihče ne želi.

Optimizacija reaktivnega ionskega izpiranja pri 95 % N2 in 5 % H2

Reaktivno ionsko izpiranje (RIE) je dragocena obdelovalna tehnika za materiale v Oprava za obdelavo žic polarizirana plinska mešanica za postopek izpiranja, na primer 95 % dušika in 5 % vodika, da se izboljšajo rezultati. Takšna kombinacija lahko omogoči ustvarjanje čistih, ostrih vzorcev na materialih. Tukaj je prikazano, kako najbolj učinkovito izkoristiti ta postopek.

Kaj je žveplov heksafluorid v reaktivnem ionskem izpiranju

Obstaja več odličnih prednosti uporabe oprema za pakiranje čipov kot plin za hranjenje pri reaktivnem ionskem trajanju. Prvič, SF6 je res odličen pri odstranjevanju materialov, kot sta silicij in silicijev dioksid, ki se pogosto uporabljata v elektroniki. To pomeni, da lahko s uporabo žvegleksa fluorida dobite čiste in natančne vzorce, potrebne za majhne elektronske komponente.

Kje izvedeti več o reaktivnem ionskem trajanju

Če želite globlje proučiti Oprema za vgradnjo terminalov je na voljo veliko virov, ki vam lahko pomagajo. Najprej lahko preverite na spletu. Obstaja veliko spletnih mest, forumov in blogov iz področja tehnike in inženiringa. Na teh platformah so ponavadi objavljeni članki strokovnjakov za RIE, ki delijo svoja mnenja in izkušnje z metodo.