Električno grejanje |
Komora (enodružna) |
||||
N/A |
|||||
Tip spodnjega elektroda |
242mm |
||||
Temperaturni obseg procesa |
-20-100°C |
||||
PLASMA vir |
600W-1000W |
||||
Merilna naprava za procesni tlak |
100mtorr |
||||
Vakuumska sistema |
Molekularne pumpe, suhi sistemi črpanja, procesna komora |
||||
Število komor za vrezovanje |
Enojna votlina |
||||
Stegalice |
Vrsta |
Velikost/mm |
Material |
||
N/A |
8、6、4、3、2 |
||||
Detektor končne točke |
OPCIONALNO |
||||
Induktivno sklopljeno plazma |
OPCIONALNO |
Očrpalna snov |
Si、Sio, Sin,Sau,Pt,Al |
Hitrost vrezovanja |
>20 nm/min (material Si02) Hitrosti različnih materialov niso enake |
Razporejeno krmiljenje |
>85° |
Način nalaganja |
Odprto nalaganje |
Plinovod nadzorovan z MFC |
Na voljo je šest plinskih tankov |
Možnost hlajenja s helijem od zadaj |
Da |
Vmesnik človek-stroj |
Uporaba z dotikom |
Način delovanja |
Popolnoma avtomatični način, ne popolnoma avtomatični način |
Izbira in konfiguracija avtomatskih naprav |
Lahko izberete uvozne ali domače dele |
Avtorske pravice © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Vse pravice pridržane