Mașină de gravare cu ioni reactivi (RIE) , China Mașină de gravare cu ioni reactivi (RIE) Manufacturers, Suppliers, Factory

Descriere produs

RIE Echipament de gravare reactivă cu ioni

Aplicațiile de cercetare ale echipamentelor de gravare reactivă cu ioni RIE în domeniile de fabricație a semiconductorilor și de prelucrare micro-nano se regăsesc în principal în procesarea structurilor la scară nanometrică, gravarea materialelor noi, fabricarea dispozitivelor complexe și în depășirea tehnologică interdisciplinară. Valoarea sa esențială constă în atingerea unei îndepărtări precise și cu înaltă selectivitate a materialelor prin controlul combinat al bombardamentului fizic și al reacțiilor chimice. Susține explorarea tehnologiilor avansate în domeniul semiconductorilor și inovația dispozitivelor.

Caracteristici echipament:

1. Precizie și anizotropie înalte: Poate realiza structuri cu pereți laterali verticali și dimensiuni precise.
2. Uniformitate și repetabilitate bună: potrivit pentru producție la scară largă.
3. Aplicabilitate largă a materialelor: Alegând diferite combinații de gaze, se pot etala diverse materiale (semiconductori, dielectrici, metale etc.).
4. Raport de selectivitate ridicat: Permite etalarea precisă a unor materiale specifice fără a cauza daune semnificative altor materiale.
5. Curățare: Proces uscat, evitând problemele legate de curățare și de tratarea deșeurilor lichide cauzate de etalarea umedă.

Specificație

Configurația sistemului:

Încălzire electrică	Cameră (cu o singură cavitate)
Încălzire electrică		N / A
Tip electrod inferior	242mm
Intervalul de Temperatură a Procesului	-20-100°C
Sursa de plasmă	600W-1000W
Dimensiunea manometrului procesului	100mtorr
Sistem de vacuu	Unități de pompă moleculară, sisteme cu pompă uscată, cameră de proces
Numărul de camere de gravare	Unicav
Clampe	Tip	Dimensiune/mm	Material
Clampe		N / A	8、6、4、3、2
Detector de punct final	Opțiune
Plasmă cuplată inductiv	Opțiune

Parametri Tehnici:

Material de etalare	Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Rată de gravare	>20nm/min (material Si02) Ratele pentru materiale diferite nu sunt la fel
Control distribuit	>85°
Metoda de încărcare	Încărcare deschisă
Conductă de gaze controlată de MFC	Sunt disponibile șase rezervoare de gaze
Opțiune de răcire cu heliu pe partea din spate	Da
Interfață om-masina	Funcționare pe ecran tactil
Mod de operare	Mod complet automat, mod necomplet automat
Selectarea și configurarea dispozitivelor automate	Puteți alege între piese importate sau domestice

Cazuri de aplicare

Ambalare și livrare

Întrebări frecvente

1. Despre preț:
Toate prețurile noastre sunt competitive și negociabile. Prețul variază în funcție de configurație și de complexitatea personalizării dispozitivului dumneavoastră.

2. Despre eșantion:
Vă putem oferi servicii de producție a eșantioanelor, dar este posibil să vă solicităm o taxă.

3. Despre plată:
După confirmarea planului, trebuie să ne achitați întâi un avans; apoi fabrica începe pregătirea mărfurilor. După ce echipamentul este gata și achitați soldul, îl expediem.

4. Despre Livrare:
După finalizarea fabricării echipamentului, vă trimitem un videoclip de acceptare; de asemenea, puteți veni pe loc pentru a inspecta echipamentul.

5. Instalare și Depanare:
După ce echipamentul ajunge la fabrica dumneavoastră, putem trimite ingineri pentru instalare și punere în funcțiune. Vă oferim o cotare separată pentru această taxă de serviciu.

6. Despre garanție:
Echipamentele noastre beneficiază de o perioadă de garanție de 12 luni. După expirarea acestei perioade, dacă orice piese se deteriorează și necesită înlocuire, vom percepe doar prețul de cost.

7. Service după vânzare:
Toate mașinile au o perioadă de garanție de peste un an. Inginerii noștri tehnici sunt mereu online pentru a vă oferi servicii de instalare, punere în funcțiune și întreținere a echipamentelor. Putem oferi servicii de instalare și punere în funcțiune la fața locului pentru echipamente speciale și mari.