





|
Sursa de plasmă
|
Rf
|
||
|
Putere
|
ICP
|
_
|
|
|
BIAS
|
1000W(opțiune)
|
||
|
Zonă de aplicare
|
4~8 inch
|
||
|
Numărul de felii procesate individual
|
1
|
||
|
Dimensiuni de aspect
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
|
Controlul sistemului
|
PLC
|
||
|
Nivel de automatizare
|
Manual
|
||








Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Toate drepturile rezervate