Aparat de Litografie cu Masca Aliniator , China Aparat de Litografie cu Masca Aliniator Manufacturers, Suppliers, Factory

Descriere produse

Aparat de Litografie cu Masca Aliniator

Aliniatorul de Masca cunoscut și ca: sistem de expunere cu aliniere a mascurii, sistem de expunere, sistem de litografie, etc., este echipamentul central pentru fabricarea de chipuri. Folosește o tehnologie similară cu cea a imprimerii foto pentru a imprima modelele fine de pe masca pe placa de siliciu prin expunere la lumină.

Caracteristică

—— Cap de expunere fly-eye cu uniformitate ridicată / mecanism de nivelare cu flotare aeriană / expunere cu presare cu vacuu de încredere.
——Caracteristicile de mai sus se asigură că rezoluția este înaltă și uniformitatea este ridicată.
——Metoda de aliniere prin mască menține stabilitatea și alimentarea substractului, ceea ce se asigură că gravitația ghidării și forța sunt constante.
——Se folosește un sistem de ghidare linie fără intervale, cu precizie mare și viteză rapidă.

Fabricarea unui sistem de aliniere cu precizie ridicată necesită aproape o perfecțiune a proceselor mecanice precise. Un alt problema tehnică a sistemului de aliniere este microscopul de aliniere. Pentru a îmbunătăți câmpul vizual al microscopului, multe mașini de litografie de top folosesc iluminare LED. Există două seturi de sisteme de aliniere cu funcție de focalizare. Este format în principal din două ochi și două câmpuri vizuale care vizează corpul microscopului, o pereche de ochiale și o pereche de obiective (mașina de litografie oferă de regulă ochiale și obiective cu diferite mărirea pentru utilizatori).
funcția sistemului de aliniere CCD este de a mări semnele de aliniere ale mască și a eșantionului și de a le imagina pe monitor.

Specificație

Producător	Minder-Hightech	Minder-Hightech	Minder-Hightech	Minder-Hightech
Model	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31	MD-G33
Cap de expoziție NU.	1 cap de expoziție	1 cap de expoziție	2 capete de expoziție	2 capete de expoziție
Tipul sursă de lumină	Sursă de lampă cu mercur	Sursă de lumină ultravioletă	Sursă de lampă cu mercur	Sursă de lumină ultravioletă
Zona de expoziție	≤∅100mm	φ100 mm	≤∅120mm	≥∅115mm
Mod de expoziție	Expozitie la contact	tehnologia de paralelizare cu micro-forță	tehnologia de paralelizare cu micro-forță	tehnologia de paralelizare cu micro-forță
Neruniformitatea expunerii	∅100mm<±4%	≤±3%	∅100mm≤±6%	≤±3% Intensitate de expoziție ≥20mw/cm2 (365nm, 404nm, 435nm UV combinat
Grosimea substractului	1-5mm	≤5 mm	0.1-1mm	≤5 mm
Rezoluția expunerii	3μm	1 μm	5 μm	1 μm
Zona iluminată	∅115mm	∅120mm	∅120mm	∅130mm
Sistem Cameră	Sistem de separare binoculară	sistem CCD cu două zone	sistem CCD cu două zone	sistem CCD cu două zone
Sistem microscop	zoom continuu 50-375	zoom continuu 91x ~ 570X (lentila obiectiv 1.6x ~ 10x zoom continuu), intervalul ajustabil al distanței dintre cele două lentile obiectiv este 50mm ~ 120mm	0,7-4,5 zoom continuu	60x, 120x zoom continuu (magnificare obiectiv 2x, 4x două), distanță ajustabilă a obiectivelor duble 25mm-70mm

Întrebări frecvente

1. Despre preț:
Toate prețurile noastre sunt competitive și negociabile. Prețul variază în funcție de configurație și de complexitatea personalizării dispozitivului dumneavoastră.

2. Despre eșantion:
Vă putem oferi servicii de producție a eșantioanelor, dar este posibil să vă solicităm o taxă.

3. Despre Plată:
După confirmarea planului, trebuie să ne achitați întâi un avans; apoi fabrica începe pregătirea mărfurilor. După ce echipamentul este gata și achitați soldul, îl expediem.

4. Despre Livrare:
După finalizarea fabricării echipamentului, vă trimitem un videoclip de acceptare; de asemenea, puteți veni pe loc pentru a inspecta echipamentul.

5. Instalare și Depanare:
După ce echipamentul ajunge la fabrica dumneavoastră, putem trimite ingineri pentru instalare și punere în funcțiune. Vă oferim o cotare separată pentru această taxă de serviciu.

6. Despre garanție:
Echipamentele noastre beneficiază de o perioadă de garanție de 12 luni. După expirarea acestei perioade, dacă orice piese se deteriorează și necesită înlocuire, vom percepe doar prețul de cost.