Subliniază
Introducere: Această echipament este un instrument de depunere prin magnetron cu două ţinte. Este echipat cu două ţinte magnetron şi două seturi de surse de alimentare în curent continuu (CC). Poate fi utilizat pentru depunerea de filme metalice conductoare multistrat. În același timp, echipamentul este compus din două părți: camera principală și camera de tranziție. Camera de tranziție este echipată cu o tijă magnetică de împingere, iar între cele două camere este montată o valvă de vid. Utilizatorul poate încărca eșantioanele în camera de tranziție și poate efectua o pre-evacuare în timp ce are loc procesul de pulverizare catodică în camera principală. După finalizarea pulverizării catodice în camera principală, eșantionul poate fi împins în suportul pentru eșantioane al camerei principale prin intermediul tijei magnetice de împingere. Această concepție reduce numărul de evacuări și de reîntreruperi ale vidului în camera principală, ceea ce nu doar economisește eficient timpul, ci asigură și un vid local mai bun, îmbunătățind astfel eficient calitatea stratului depus.
Aplicație: Poate fi utilizat pentru pregătirea filmelor subțiri ferroelectrice simple sau multistrat, a filmelor conductoare, a filmelor de aliaje, a filmelor semiconductoare, a filmelor ceramice, a filmelor dielectrice, a filmelor optice etc.