Introducere:
Această echipament este compus în principal dintr-o cameră de vid din oțel inoxidabil, un țintă de pulverizare magnetron, un dispozitiv de depunere prin evaporare, o masă pentru eșantioane destinată așezării acestora, un grup de pompe de vid, un manometru pentru măsurarea vidului, un sistem de admisie a aerului și un sistem de comandă. Unitatea principală a echipamentului este operată printr-un ecran tactil și este monitorizată de un termometru de control al temperaturii. Interfața sa digitală de parametri și funcționarea automatizată oferă utilizatorilor o platformă excelentă pentru cercetare și dezvoltare. Camera de vid adoptă o configurație cu țintă la partea inferioară, iar masa pentru eșantioane dispune de funcții de încălzire și rotație, ceea ce asigură o distribuție mai uniformă a stratului depus. Sistemul de obținere a vidului al echipamentului utilizează un grup de două pompe de vid în serie. Pompa de etapă inițială este o pompă mecanică de înaltă viteză, care scurtază eficient durata necesară trecerii de la presiunea atmosferică la vidul scăzut. Pompa principală este o pompă moleculară turbo, cu o viteză ridicată de pompare și o viteză superioară de obținere a vidului. Întregul sistem de obținere a vidului este curat și rapid.
Aplicație:
Poate fi utilizat pentru pregătirea filmelor subțiri ferroelectrice monocouche sau multistrat, a filmelor conductoare, a filmelor din aliaje, a filmelor semiconductoare, a filmelor ceramice, a filmelor dielectrice, a filmelor optice etc.