Introducere:
Echipamentul a fost miniaturizat, păstrându-și cavitatea din oțel inoxidabil la înalt vid, în timp ce celelalte mecanisme au fost optimizate, limitând dimensiunile echipamentului la nivelul unui desktop și reducând în mod semnificativ cerințele privind spațiul de instalare. Echipamentul este dotat cu o sursă de alimentare în curent continuu (DC) și o sursă de alimentare în curent alternativ de înaltă frecvență (RF). Ținta DC poate fi utilizată pentru pulverizarea catodică a metalelor și a altor materiale conductoare, iar sursa de alimentare RF poate fi folosită pentru pulverizarea catodică a diverselor nemetale și oxizi metalici. Sistemul de vid al echipamentului utilizează o pompă de vid integral importată, cu viteză ridicată de pompare, grad înalt de vid final și performanțe excelente ale vidului. Acest echipament are o structură compactă, funcții complete și este ușor de utilizat, fiind foarte potrivit pentru diverse teste de depunere a straturilor.
Aplicație:
Poate fi utilizat pentru prepararea filmelor subțiri metalice, în domeniul electronic, în domeniul optic, pentru ceramici speciale etc. Poate fi folosit pentru pregătirea eșantioanelor destinate microscopiei electronice de baleiaj (SEM) în laborator.