Introducere:
Această echipament este un instrument de depunere prin magnetron cu două ținte. Această configurație utilizează o cameră din oțel inoxidabil pentru vid înalt, un design cu deschidere frontală și o fereastră de observație din cuarț pe ușă, pentru a facilita observarea și înregistrarea experimentului. În același timp, echipamentul este dotat cu o platformă rotativă încălzită pentru eșantioane, care poate îmbunătăți eficient uniformitatea și calitatea stratului depus. Pe capacul superior este montată o setare de diafragme, iar cele două ținte pot fi comutate prin rotirea diafragmelor, pentru a realiza depunerea în straturi multiple. Acest echipament necesită utilizarea unui grup de pompe moleculare pentru vid înalt. Utilizatorii pot alege pompe moleculare mici de marcă importată, pentru a economisi în plus spațiul de instalare. În același timp, acest model poate fi echipat opțional cu un component de măsurare a grosimii stratului, care permite monitorizarea în timp real a datelor privind grosimea stratului și oferă parametri fiabili pentru procesul experimental.
Aplicație:
Poate fi utilizat pentru prepararea filmelor subțiri metalice, în domeniul electronic, în domeniul optic, pentru ceramici speciale etc. Poate fi folosit pentru pregătirea probelor de laborator pentru microscopie electronică cu scanare (SEM).