Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Obțineți o ofertă

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Prima pagină
Despre noi
Echipament MH
Caseta video
Soluție
Utilizatori Din Străinătate
Contactați-ne
Acasă> Ștergătoare de discuri
  • Polizor chimic-mecanic pentru wafere cu o singură placă, automat, pentru planarizare (CMP)
  • Polizor chimic-mecanic pentru wafere cu o singură placă, automat, pentru planarizare (CMP)
  • Polizor chimic-mecanic pentru wafere cu o singură placă, automat, pentru planarizare (CMP)
  • Polizor chimic-mecanic pentru wafere cu o singură placă, automat, pentru planarizare (CMP)
  • Polizor chimic-mecanic pentru wafere cu o singură placă, automat, pentru planarizare (CMP)
  • Polizor chimic-mecanic pentru wafere cu o singură placă, automat, pentru planarizare (CMP)
  • Polizor chimic-mecanic pentru wafere cu o singură placă, automat, pentru planarizare (CMP)
  • Polizor chimic-mecanic pentru wafere cu o singură placă, automat, pentru planarizare (CMP)
  • Polizor chimic-mecanic pentru wafere cu o singură placă, automat, pentru planarizare (CMP)
  • Polizor chimic-mecanic pentru wafere cu o singură placă, automat, pentru planarizare (CMP)

Polizor chimic-mecanic pentru wafere cu o singură placă, automat, pentru planarizare (CMP)

Aplicație:
Proces tradițional de planarizare prin polizare pentru circuite integrate (IC); proces TGV/TSV; polizare CMP pentru Smart Cut și pre-îmbinare; polizare substraturi SiC / polizare arseniat de galium.
Obțineți o ofertă gratuită
Descriere produs
ATOM Single Platen CMP

Caracteristicile mașinii

Dispozitivul este flexibil și poate să susțină mai multe capete.
Capacitatea de proces a echipamentului este apropiată de nivelul modelului principal al produselor de aceeași dimensiune.
Bună consistență a procesului inter-dispozitiv.

Câmpuri de aplicare

polire STI, ILD/IMD, TSV, TGV de 4-8 inch și polire a suprafețelor pentru compuși precum SiC, LT, LN, GaAs, etc.

Parametrii tehnici

capete de 4 inch, 6 inch, 8 inch, control multi zonă
Tipul Plăcii Φ20 inch 508MM
Precizie control presiune cap <0.05PSI
Precizie control viteză de rotație a capului și plăcii <2RPM

1. Unitate LoadPort

Portul poate fi rostogolit pentru a imerge Cassette în Qtank, evitând formarea cristalurilor Slurry pe
suprafața poliată a discului. Echipat cu funcția Cassette Mapping.

2. Unitate de prelevare material robotizată

Echipat cu un robot cu 4 axe, poate transfera automat discurile de la Cassette la unitatea de polire.

3. Înveţi să te gândeşti. Unitatea de lustruit

Această unitate este echipată cu Platen * 1, Cap * 1, PC *
în cazul în care se aplică o metodă de testare a concentrațiilor de CO2 de la o concentrație de CO2 de peste 0,5% la o concentrație de CO2 de peste 0,5%, se aplică următoarele metode:
detecţia. Poate realiza încărcarea și descărcarea automată a plachetei, controlul capului multi-zonă, Slurry
schimbarea punctului de aterizare cu setările Rețetă, detectarea punctului final și alte funcții.
Cap de lustruiță CMP
Capetele de lustruit configurate pe acest dispozitiv sunt toate dezvoltate, proiectate şi produse independent de compania noastră.
Printre acestea, capul cu 3 cavităţi de 4 inch este un produs unic creat de compania noastră, umplând golul de nu există cap de 4 inci cu mai multe cavităţi în China. Compania noastră poate modifica rapid sau personaliza capul în funcţie de caracteristicile produsului clientului. În cadrul dezvoltării produselor TGV cu folie subțire (200 mm), structura internă a capului a fost modificată pentru a satisface cerințele de lustrucere a foliei subțire. În timpul procesului de dezvoltare a tehnologiei de lustruit LN de suprafață OX, compania noastră a îmbunătățit profund capul de 6 inci și a îndeplinit cu succes cerințele de produs ale clientului.
Aplicații
Proces de polire de planarizare IC tradițională;
Proces TGV/TSV;
Smart Cut și CMP pre-bonding;
Polire substrat SIC/polire arsenur de galii.
Specificație
Port
Cantitate * 1, cu rezervor Q
Robot
Cantitate * 1, pentru transferul plăcilor
HCLU
Cantitate * 1, pentru încărcarea și descărcarea automată a plăcilor
Cap de polire
Cantitate * 13 control al cavitaților, precizie de control de 0.1PSI, poate susține operațiuni pe plăci de 400-1200 UM.
Viteza capului de polire
5-150RPM
Disc de lustruire
Cantitate * 1 Dimensiune Disc de Polire 508mm, Viteza Pad de Polire 10-150rpm.
Brat de tăiere
Cantitate * 1 pad de polire. Pad-ul de polire poate fi folosit în mod online (simultan) sau offline (după polire). Tăierea
bratului este echipată cu un axă de tăiere, care poate rotași și se mișcă în sus și în jos, iar viteza și forța de apăsare pot fi controlate. Instrumentul
de tăiere este montat pe axa de tăiere și poate fi scos rapid
în funcție de diferitele tipuri de păduri de polire, sunt configurate diferite tipuri de unelte de prelucrare, inclusiv
părchi de curățare, inele de diamant și discuri de diamant.
Unitate de control a presiunii aerului pentru capul de polire UPA
Cantitate * 13. Ajustabil în zone pentru un efect mai bun de planarizare a suprafeței.
Pumpă de aprovizionare cu lichid de polire.
Cantitate * 2. Se folosesc pompe peristaltice pentru aprovizionarea cu lichid, fiind configurate 2 pompe peristaltice pentru a livra diferite lichide de polire
la discul de polire. Fiecare pompă poate fi folosită la orice etapă a procesului.
Brat pentru pulbere de polire
Cantitate * 1 poate controla punctul de atingeri al pulberii și poate curăța placa de polire.
Sistemul de control operațional poate realiza control la nivel de utilizator, cum ar fi modul operator, modul de întreținere și modul tehnic, iar diferitele mode sunt controlate prin parole. Software-ul sistemului poate edita parametrii procesului pentru fiecare etapă a procesului și să planeze și
să poalizeze stratul subțire de pe suprafața plăcii conform programului. Poate monitoriza starea de funcționare a echipamentelor, să monitorizeze parametrii procesului în timp real, iar software-ul poate stoca automat diferite date ale procesului. Echipat cu o oprirea de urgență
polire a straturilor subțiri pe suprafața plăcii conform programului. Poate monitoriza starea de funcționare a echipamentelor, să monitorizeze parametrii procesului în timp real, iar software-ul poate stoca automat diferite date ale procesului.
și software-ul poate stoca automat diferite date ale procesului. Echipat cu o oprire de urgență.
buton, folosit pentru a opri imediat funcționarea echipamentelor și a decupa puterea de control.
Ambalare și livrare
Întrebări frecvente
1. Despre preț:
Toate prețurile noastre sunt competitive și negociabile. Prețul variază în funcție de configurație și de complexitatea personalizării dispozitivului dumneavoastră.

2. Despre eșantion:
Vă putem oferi servicii de producție a eșantioanelor, dar este posibil să vă solicităm o taxă.

3. Despre Plată:
După confirmarea planului, trebuie să ne plătiți un avans mai întâi, iar fabrica va începe să pregătească produsele. După ce
echipamentul este gata și plătiți restul, vom expedia.

4. Despre Livrare:
După finalizarea fabricării echipamentului, vă trimitem un videoclip de acceptare; de asemenea, puteți veni pe loc pentru a inspecta echipamentul.

5. Instalare și Depanare:
După ce echipamentul ajunge la fabrica dumneavoastră, putem trimite ingineri pentru instalare și punere în funcțiune. Vă oferim o cotare separată pentru această taxă de serviciu.

6. Despre garanție:
Echipamentele noastre beneficiază de o perioadă de garanție de 12 luni. După expirarea acestei perioade, dacă orice piese se deteriorează și necesită înlocuire, vom percepe doar prețul de cost.

Mai multe produse

Interogare

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Politica de confidențialitate

Interogare Email WhatsApp WeChat
Sus
×

Contactați-ne