Sistem CMP de precizie

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Sistem CMP de precizie

Prezentare echipament:

Sistemul de polizare chimică-mecanică (CMP) de precizie este utilizat în principal pentru rectificarea și subțierea cipurilor principale semiconductoare, cum ar fi cele din siliciu, dioxid de siliciu și antimonid de indiu pentru matrici focal plane, precum și pentru polizarea chimică-mecanică a fețelor inferioare, superioare și laterale.

Întreaga mașină și toate componentele echipamentului sunt complet rezistente la coroziune, iar parametrii procesului pot fi setați prin intermediul interfeței interactive cu ecran tactil.

Dimensiunea eșantionului prelucrabil:

Dimensiunea eșantionului ≤ 152 mm / 6 inch

Grosimea prelucrabilă este de 50 μm până la 10 mm

Indicatorii de proces obținuți:

1. Abaterea totală de grosime (TTV) a unei plăci cu diametrul φ75 mm este de maximum 2 μm;

2. Abaterea totală de grosime (TTV) a unei plăci cu diametrul φ100 mm este de maximum 3 μm;

3. Abaterea totală de grosime (TTV) a unei plăci cu diametrul φ150 mm este de maximum 4 μm.

Tipuri de eșantioane care pot fi procesate:

Siliciu, carburi de siliciu, diamant, ceramici, nitrid de galium, cuarț, antimonid de galium, fosfid de indiu, arsenid de galium, telurid de cadmiu și zinc, telurid de mercur și cadmiu, niobat de litiu și alte materiale semiconductoare.

Caracteristici echipament:

1. Realizarea funcției de detectare a punctului final pentru controlul grosimii eșantionului.

2. Controlul în timp real online al temperaturii plăcii de rectificare și lustruire, precum și funcția de răcire.

3. Sistem de alimentare cu mai multe canale.

4. Funcția automată de spălare a plăcii de rectificare și lustruire.

5. Funcția automată de reparație a plăcii.

6. Dispozitivul este echipat cu un micrometru digital de monitorizare a grosimii, având o precizie de monitorizare de 0,1 μm.

Parametrii tehnici:

Configurare Dispozitiv:

Întrebări frecvente

1. Despre preț:

Toate prețurile noastre sunt competitive și negociabile. Prețul variază în funcție de configurație și de complexitatea personalizării dispozitivului dumneavoastră.

2. Despre eșantion:

Vă putem oferi servicii de producție a eșantioanelor, dar este posibil să vă solicităm o taxă.

3. Despre plată:

După confirmarea planului, trebuie să ne achitați întâi un avans; apoi fabrica începe pregătirea mărfurilor. După ce echipamentul este gata și achitați soldul, îl expediem.

4. Despre Livrare:

După finalizarea fabricării echipamentului, vă trimitem un videoclip de acceptare; de asemenea, puteți veni pe loc pentru a inspecta echipamentul.

5. Instalare și Depanare:

După ce echipamentul ajunge la fabrica dumneavoastră, putem trimite ingineri pentru instalare și punere în funcțiune. Vă oferim o cotare separată pentru această taxă de serviciu.

6. Despre garanție:

Echipamentele noastre beneficiază de o perioadă de garanție de 12 luni. După expirarea acestei perioade, dacă orice piese se deteriorează și necesită înlocuire, vom percepe doar prețul de cost.

7. Service după vânzare:

Toate mașinile au o perioadă de garanție de peste un an. Inginerii noștri tehnici sunt mereu online pentru a vă oferi servicii de instalare, punere în funcțiune și întreținere a echipamentelor. Putem oferi servicii de instalare și punere în funcțiune la fața locului pentru echipamente speciale și mari.