Sistem CMP de precizie

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Sistem CMP de precizie

Prezentare echipament:

Sistemul de polizare chimică-mecanică (CMP) de precizie este utilizat în principal pentru rectificarea și subțierea cipurilor principale semiconductoare, cum ar fi cele din siliciu, dioxid de siliciu și antimonid de indiu pentru matrici focal plane, precum și pentru polizarea chimică-mecanică a fețelor inferioare, superioare și laterale.

Întreaga mașină și toate componentele echipamentului sunt complet rezistente la coroziune, iar parametrii procesului pot fi setați prin intermediul interfeței interactive cu ecran tactil.

Dimensiunea eșantionului prelucrabil:

Dimensiunea eșantionului ≤ 152 mm / 6 inch

Grosimea prelucrabilă este de 50 μm până la 10 mm

Indicatorii de proces obținuți:

1. Abaterea totală de grosime (TTV) a unei plăci cu diametrul φ75 mm este de maximum 2 μm;

2. Abaterea totală de grosime (TTV) a unei plăci cu diametrul φ100 mm este de maximum 3 μm;

3. Abaterea totală de grosime (TTV) a unei plăci cu diametrul φ150 mm este de maximum 4 μm.

Tipuri de eșantioane care pot fi procesate:

Siliciu, carburi de siliciu, diamant, ceramici, nitrid de galium, cuarț, antimonid de galium, fosfid de indiu, arsenid de galium, telurid de cadmiu și zinc, telurid de mercur și cadmiu, niobat de litiu și alte materiale semiconductoare.

Caracteristici echipament:

1. Realizarea funcției de detectare a punctului final pentru controlul grosimii eșantionului.

2. Controlul în timp real online al temperaturii plăcii de rectificare și lustruire, precum și funcția de răcire.

3. Sistem de alimentare cu mai multe canale.

4. Funcția automată de spălare a plăcii de rectificare și lustruire.

5. Funcția automată de reparație a plăcii.

6. Dispozitivul este echipat cu un micrometru digital de monitorizare a grosimii, având o precizie de monitorizare de 0,1 μm.

Parametrii tehnici:

Configurare Dispozitiv:

Întrebări frecvente

1. Despre preț:

Toate preturile noastre sunt competitive și negociabile. Prețul variază în funcție de configurare și complexitatea personalizării dispozitivului dvs.

2. Despre eșantion:

Putem oferi servicii de producție a eșantioanelor pentru dvs., dar trebuie să plătiți unele taxe.

3. Despre plată:

După ce planul este confirmat, trebuie să ne plătiți un avans mai întâi, iar fabrica va începe să pregătească mărfuri. După ce echipamentul este gata și plătiți soldul, vom expedia produsele.

4. Despre Livrare:

După finalizarea fabricării echipamentelor, vă vom trimite videoclipul de acceptare, iar puteți veni și să inspectați echipamentul pe loc.

5. Instalare și Depanare:

După ce echipamentul ajunge în fabrica dvs., putem să trimitem ingineri să instaleze și să depisteze echipamentul. Vom oferi o cotare separată pentru această taxa de serviciu.

6. Despre garanție:

Echipamentul nostru are o perioadă de garanție de 12 luni. După perioada de garanție, dacă orice părți sunt avariate și trebuie înlocuite, vom cobra doar prețul costului.

7. Service după vânzare:

Toate mașinile au o perioadă de garanție de peste un an. Inginerii noștri tehnici sunt mereu online pentru a vă oferi servicii de instalare, punere în funcțiune și întreținere a echipamentelor. Putem oferi servicii de instalare și punere în funcțiune la fața locului pentru echipamente speciale și mari.