Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Obțineți o ofertă

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Prima pagină
Despre noi
Echipament MH
Caseta video
Soluție
Utilizatori Din Străinătate
Contactați-ne
Acasă> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Mașină de gravare ICP complet automată MDICP-5000F
  • Mașină de gravare ICP complet automată MDICP-5000F
  • Mașină de gravare ICP complet automată MDICP-5000F
  • Mașină de gravare ICP complet automată MDICP-5000F

Mașină de gravare ICP complet automată MDICP-5000F

Model: MDICP-5000F

Obțineți o ofertă gratuită
Mașină de gravare ICP complet automată MDICP-5000F
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Rezumat Executiv:

Echipamentul este un sistem cu două camere sub vacuu. O cameră este camera de eșantionare prin injecție, iar cealaltă este camera de etched. Există o închidere sub vacuu între camera de eșantionare prin injecție și camera de etched, iar eșantioanele sunt transportate prin manipulator.
Echipamentul este format în principal din sistem de vacum, sistem de circuite de gaz, sistem electric, sistem de control, sistem de răcire, mecanism de introducere și extragere a filmului, sistem de alarmă, etc.

Sistem de vacum:

Sistemul constă într-o pompu moleculară cu o viteză de pompare de 600 L/s + o pompu secă de import cu o viteză de pompare de L/s pentru a pompa camera de erodare la un vacum ridicat. Între pompa moleculară și camera de erodare este montată o valvă de reglare a presiunii cu comandă electrică. Pompa secă importată este pompa pre-pompare a camerei de erodare și pompa anterioară a pompei molecule. Se folosește o altă pompu mecanică cu o viteză de pompare de L/s pentru a crea vacum în camera de eșantion. Pentru conexiuni între pompa mecanică și camera de vacum și pompa moleculară se folosesc tuburi flexibile din oțel inoxidabil, iar pe acestea sunt instalate valve electro-pneumatice de blocare.

Sistem de control al presiunii constantă

Echipamentul este echipat cu un sistem de control a presiunii constantă în curgere, iar în conducta de extracție a aerului este montat un robinet electric ajustabil. Prin intermediul măsurătorii efectuate cu indicatorul de presiune (părți importate), robinetul ajustabil este controlat pentru a face camera de vid să atingă o presiune constantă, cu scopul de a îmbunătăți stabilitatea procesului.

Sistem de control al presiunii constantă

Echipamentul este echipat cu un sistem de control a presiunii constantă în curgere, iar în conducta de extracție a aerului este montat un robinet electric ajustabil. Prin intermediul măsurătorii efectuate cu indicatorul de presiune (părți importate), robinetul ajustabil este controlat pentru a face camera de vid să atingă o presiune constantă, cu scopul de a îmbunătăți stabilitatea procesului.

Sistem de circuit de gaz

Două seturi de alimentare electrică RF cu potențial automat ajustabil.

Sistem de Alarmă

Cerințe de siguranță privind echipamentul.
Specificație
Nume
Spc
Marcă
Nr./Set
Notă
Camera de etaljare, conducta de extracție a aerului, geamul de observație, interfața rezervată, etc.
Standard
JSWN
1
Anticoroziv
Cadru, armatură electrică, închisorile, piese standard, etc.
Standard
JSWN
1
Sistem de ridicare a acoperişului camerei de etching
Standard
JSWN
1
Anticoroziv
Electrod de etching şi sistem de răcire
Standard
JSWN
1
Anticoroziv
Pumpă moleculară (viteză de pompare 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Anticoroziv
Pumpă secă de intrare (viteză de pompare 9 L/s)
XDS-35I
Edwards
1
Anticoroziv
Pumpă mecanică (viteză de pompare 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Valvă electrică de reglare
DCQ-150
JSWN
1
Anticoroziv
Valvă pneumatică de oprire cu talpe
KF40
JSWN
3
Anticoroziv
Indică film
KF16
INFICON
1
Anticoroziv
Controler de flux masiv
D07
Sevenstar
4
Anticoroziv
Vanoaie pneumatică cu membrană
1/4"VCR
-
4
Anticoroziv
Tub de oțel inoxidabil, uniune tubulară, etc.
1/4"VCR
-
4
Anticoroziv
Surse de putere RF / potențiometru automat
-
China(OptionalCROWN1310)
1
Surse de putere RF / potențiometru automat
-
China(OptionalCROWN1310)
1
Indicatoare compus de vacum
ZDF
RB
1
IPC
2U
China
1
Ecran LCD cu touch
17 inch
China
1
Sistem de control plc
S7-200
Siemens
1
Sistem de control al motorului electric
Standard
JSWN
1
Detectare apei de răcire și sistem de conducte
Standard
JSWN
1
Detectare aer comprimat și sistem de conducte
Standard
JSWN
1
Mașină de circulație a apărei de răcire
Hx
China
1
Camera de injecție pentru etalaj
Standard
JSWN
1
Bloc vacuum
SMC
SMC
1
Sistem de control al manipulatorului
SMC
SMC
1

Parametru tehnic prin poștă

1. Vacum limită: Camera de etalaj 9.0×10-5Pa (Umiditatea internă≤55%)
Camera de eșantionare prin injecție 6.0×10-1Pa
2. Material de etalaj: Material Ⅲ, Ⅴ, Si, SiO2, etc.
3. Rata de etalaj: ~ 1μ/min
4. Uniformitatea etching-ului: ≤±5％(interval φ125mm)
6. Dimensiunea electrodului: φ200mm

Întrebări frecvente

1. Despre preț:

Toate prețurile noastre sunt competitive și negociabile. Prețul variază în funcție de configurație și de complexitatea personalizării dispozitivului dumneavoastră.

 

2. Despre eșantion:

Vă putem oferi servicii de producție a eșantioanelor, dar este posibil să vă solicităm o taxă.

 

3. Despre plată:

După confirmarea planului, trebuie să ne achitați întâi un avans; apoi fabrica începe pregătirea mărfurilor. După ce echipamentul este gata și achitați soldul, îl expediem.

 

4. Despre Livrare:

După finalizarea fabricării echipamentului, vă trimitem un videoclip de acceptare; de asemenea, puteți veni pe loc pentru a inspecta echipamentul.

 

5. Instalare și Depanare:

După ce echipamentul ajunge la fabrica dumneavoastră, putem trimite ingineri pentru instalare și punere în funcțiune. Vă oferim o cotare separată pentru această taxă de serviciu.

 

6. Despre garanție:

Echipamentele noastre beneficiază de o perioadă de garanție de 12 luni. După expirarea acestei perioade, dacă orice piese se deteriorează și necesită înlocuire, vom percepe doar prețul de cost.

 

7. Service după vânzare:

Toate mașinile au o perioadă de garanție de peste un an. Inginerii noștri tehnici sunt mereu online pentru a vă oferi servicii de instalare, punere în funcțiune și întreținere a echipamentelor. Putem oferi servicii de instalare și punere în funcțiune la fața locului pentru echipamente speciale și mari.

Mai multe produse

Interogare

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Politica de confidențialitate

Interogare Email WhatsApp WeChat
Sus
×

Contactați-ne