Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Solicitați o ofertă

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Prima pagină
Despre Noi
Echipament MH
Soluție
Utilizatori Din Străinătate
Video
Contactați-Ne
Acasă > PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Mașină de etched ICP fully automată
  • MDICP-5000F Mașină de etched ICP fully automată
  • MDICP-5000F Mașină de etched ICP fully automată
  • MDICP-5000F Mașină de etched ICP fully automată

MDICP-5000F Mașină de etched ICP fully automată

Model: MDICP-5000F

Obțineți o ofertă gratuită
MDICP-5000F Mașină de etched ICP fully automată
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Rezumat Executiv:

Echipamentul este un sistem cu două camere sub vacuu. O cameră este camera de eșantionare prin injecție, iar cealaltă este camera de etched. Există o închidere sub vacuu între camera de eșantionare prin injecție și camera de etched, iar eșantioanele sunt transportate prin manipulator.
Echipamentul este format în principal din sistem de vacum, sistem de circuite de gaz, sistem electric, sistem de control, sistem de răcire, mecanism de introducere și extragere a filmului, sistem de alarmă, etc.

Sistem de vacum:

Sistemul constă într-o pompu moleculară cu o viteză de pompare de 600 L/s + o pompu secă de import cu o viteză de pompare de L/s pentru a pompa camera de erodare la un vacum ridicat. Între pompa moleculară și camera de erodare este montată o valvă de reglare a presiunii cu comandă electrică. Pompa secă importată este pompa pre-pompare a camerei de erodare și pompa anterioară a pompei molecule. Se folosește o altă pompu mecanică cu o viteză de pompare de L/s pentru a crea vacum în camera de eșantion. Pentru conexiuni între pompa mecanică și camera de vacum și pompa moleculară se folosesc tuburi flexibile din oțel inoxidabil, iar pe acestea sunt instalate valve electro-pneumatice de blocare.

Sistem de control al presiunii constantă

Echipamentul este echipat cu un sistem de control a presiunii constantă în curgere, iar în conducta de extracție a aerului este montat un robinet electric ajustabil. Prin intermediul măsurătorii efectuate cu indicatorul de presiune (părți importate), robinetul ajustabil este controlat pentru a face camera de vid să atingă o presiune constantă, cu scopul de a îmbunătăți stabilitatea procesului.

Sistem de control al presiunii constantă

Echipamentul este echipat cu un sistem de control a presiunii constantă în curgere, iar în conducta de extracție a aerului este montat un robinet electric ajustabil. Prin intermediul măsurătorii efectuate cu indicatorul de presiune (părți importate), robinetul ajustabil este controlat pentru a face camera de vid să atingă o presiune constantă, cu scopul de a îmbunătăți stabilitatea procesului.

Sistem de circuit de gaz

Două seturi de alimentare electrică RF cu potențial automat ajustabil.

Sistem de Alarmă

Cerințe de siguranță privind echipamentul.
Specificație
Nume
Spc
Marcă
Nr./Set
Notă
Camera de etaljare, conducta de extracție a aerului, geamul de observație, interfața rezervată, etc.
Standard
JSWN
1
Anticoroziv
Cadru, armatură electrică, închisorile, piese standard, etc.
Standard
JSWN
1
Sistem de ridicare a acoperişului camerei de etching
Standard
JSWN
1
Anticoroziv
Electrod de etching şi sistem de răcire
Standard
JSWN
1
Anticoroziv
Pumpă moleculară (viteză de pompare 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Anticoroziv
Pumpă secă de intrare (viteză de pompare 9 L/s)
XDS-35I
Edwards
1
Anticoroziv
Pumpă mecanică (viteză de pompare 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Valvă electrică de reglare
DCQ-150
JSWN
1
Anticoroziv
Valvă pneumatică de oprire cu talpe
KF40
JSWN
3
Anticoroziv
Indică film
KF16
INFICON
1
Anticoroziv
Controler de flux masiv
D07
Sevenstar
4
Anticoroziv
Vanoaie pneumatică cu membrană
1/4"VCR
-
4
Anticoroziv
Tub de oțel inoxidabil, uniune tubulară, etc.
1/4"VCR
-
4
Anticoroziv
Surse de putere RF / potențiometru automat
-
China(OptionalCROWN1310)
1
Surse de putere RF / potențiometru automat
-
China(OptionalCROWN1310)
1
Indicatoare compus de vacum
ZDF
RB
1
IPC
2U
China
1
Ecran LCD cu touch
17 inch
China
1
Sistem de control plc
S7-200
Siemens
1
Sistem de control al motorului electric
Standard
JSWN
1
Detectare apei de răcire și sistem de conducte
Standard
JSWN
1
Detectare aer comprimat și sistem de conducte
Standard
JSWN
1
Mașină de circulație a apărei de răcire
Hx
China
1
Camera de injecție pentru etalaj
Standard
JSWN
1
Bloc vacuum
SMC
SMC
1
Sistem de control al manipulatorului
SMC
SMC
1

Parametru tehnic prin poștă

1. Vacum limită: Camera de etalaj 9.0×10-5Pa (Umiditatea internă≤55%)
Camera de eșantionare prin injecție 6.0×10-1Pa
2. Material de etalaj: Material Ⅲ, Ⅴ, Si, SiO2, etc.
3. Rata de etalaj: ~ 1μ/min
4. Uniformitatea etching-ului: ≤±5％(interval φ125mm)
6. Dimensiunea electrodului: φ200mm

Întrebări frecvente

1. Despre preț:

Toate preturile noastre sunt competitive și negociabile. Prețul variază în funcție de configurare și complexitatea personalizării dispozitivului dvs.

 

2. Despre eșantion:

Putem oferi servicii de producție a eșantioanelor pentru dvs., dar trebuie să plătiți unele taxe.

 

3. Despre plată:

După ce planul este confirmat, trebuie să ne plătiți un avans mai întâi, iar fabrica va începe să pregătească mărfuri. După ce echipamentul este gata și plătiți soldul, vom expedia produsele.

 

4. Despre Livrare:

După finalizarea fabricării echipamentelor, vă vom trimite videoclipul de acceptare, iar puteți veni și să inspectați echipamentul pe loc.

 

5. Instalare și Depanare:

După ce echipamentul ajunge în fabrica dvs., putem să trimitem ingineri să instaleze și să depisteze echipamentul. Vom oferi o cotare separată pentru această taxa de serviciu.

 

6. Despre garanție:

Echipamentul nostru are o perioadă de garanție de 12 luni. După perioada de garanție, dacă orice părți sunt avariate și trebuie înlocuite, vom cobra doar prețul costului.

 

7. Service după vânzare:

Toate mașinile au o perioadă de garanție de peste un an. Inginerii noștri tehnici sunt mereu online pentru a vă oferi servicii de instalare, punere în funcțiune și întreținere a echipamentelor. Putem oferi servicii de instalare și punere în funcțiune la fața locului pentru echipamente speciale și mari.

Mai multe produse

Interogare

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Toate drepturile rezervate

Politica de confidențialitate

Interogare Email Whatsapp WeChat
Superior
×

Luați legătura cu noi