Sistem de gravare cu plasmă cu cuplaj inductiv (ICP) , China Sistem de gravare cu plasmă cu cuplaj inductiv (ICP) Manufacturers, Suppliers, Factory

Sistem de etalaj prin plasmă cu cuplare inductivă (icp)

Tehnologia de gravare ionică reactivă cuplată inductiv este un tip de RIE. Această tehnologie realizează decuplarea densității ionilor din plasmă și a energiei ionilor prin controlul independent al fluxului de ioni, astfel îmbunătățind precizia și flexibilitatea procesului de gravare.

Produsele din seria de înaltă densitate cu plasmă cuplată inductiv și etalare ionică reactivă (ICP-RIE) se bazează pe tehnologia cu plasmă cuplată inductiv și sunt concepute pentru nevoile de etalare fină și etalare a semiconductorilor compuși. Acestea au o stabilitate excelentă a procesului și repetabilitatea procesului, fiind potrivite pentru aplicații în semiconductori de siliciu, optoelectronică, informatică și comunicații, dispozitive de putere și dispozitive microwave.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment details

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment supplier

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment factory

Materiale aplicabile:

1. Materiale pe bază de siliciu: siliciu (Si), dioxid de siliciu (SiO2), nitridă de siliciu (SiNx), carbide de siliciu (SiC)...

2. Materiale III-V: fosfură de indiu (InP), arseniură de galiu (GaAs), nitridă de galiu (GaN)...

3. Materiale II-VI: teluridă de cadmiu (CdTe)...

4. Materiale magnetice/materiale ale aliajelor

5. Materiale metalice: aluminiu (Al), aur (Au), wolfram (W), titan (Ti), tantal (Ta)...

6. Materiale organice: rezistență foto (PR), polimer organic (PMMA/HDMS), film subțire organic...

7. Materiale ferroelectrice/fotoelectrice: niobat de litiu (LiNbO3)...

8. Materiale dielectrice: safir (Al2O3), cuarț...

Aplicații conexe:

1. Gravare prin etanșare: utilizată pentru afișaj 3D, dispozitive micro-optice, optoelectronică etc.;

2. Gravare semiconductoră compusă: utilizată pentru LED-uri, lasere, comunicații optice etc.;

3. Substrat de safir modelat (PSS);

4. Gravare din niobat de litiu (LiNO3): detectoare, optoelectronică;

Rezultatul procesului

Etalonaj quartz / siliciu / grating

Folosind masca BR pentru a etala materialele de quartz sau siliciu, modelul de matrice de etalon are cea mai subtilă linie până la 300nm și unghiul vertical al modelului este aproape > 89°, care poate fi aplicat în afișaj 3D, dispozitive optice microscopice, comunicare optoelectrică, etc.

Etalonaj compus / semiconductor

Controlul precis al temperaturii suprafeței eșantionului poate controla bine morfologia de etalaj a materialelor bazate pe GaN, GaAs, InP și metale. Este potrivit pentru dispozitive LED albastru, lasure, comunicații optice și alte aplicații.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment manufacture

Etj al materialului bazat pe siliciu

este potrivit pentru etalajul materialelor bazate pe siliciu, cum ar fi Si, SiO2 și SiNx. Poate realiza etalajul liniei de siliciu peste 50nm și etalajul profund de găuri de siliciu sub 100um

Specificație

Configurarea proiectului și diagrama structurii mașinii

Articol	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Dimensiunea produsului	≤6 inches	≤8 inches	≤6 inches	≤8 inches	Personalizat ≥12 inchi
Sursa de putere SRF	0~1000W/2000W/3000W/5000W Ajustabil, potrivire automată\, 13.56MHz/27MHz
Sursa de putere BRF	0~300W/0~500W/0~1000W Ajustabil, potrivire automată, 2MHz/13.56MHz
Pumpă Moleculare	Neagresiv : 600 /1300 (L/s) /Personalizat			Antiacoroziune: 600 /1300 (L/s) /Personalizat		600/1300(L/s) /Personalizat
Pumpă Foreline	Pumpă mecanică\/pumpă secă			Pumpă secă anti-coroziune		Pumpă mecanică\/pumpă secă
Pumpă pre-pompare	Pumpă mecanică\/pumpă secă			Pumpă mecanică\/pumpă secă
Presiunea procesului	Presiune necontrolată\/0-0.1\/1\/10Torr presiune controlată
Tip de gaz	H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/NH3\/C2F6\/Personalizat (Până la 12 canale, fără gaze corozive și toxice)			H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/CHF3\/ C4F8\/NF3\/NH3\/C2F6\/Cl2\/BCl3\/HBr\/ Personalizat(Până la 12 canale)
Gama de gaze	0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/1000sccm\/Personalizat
LoadLock	Da\/Nu			Da
Control temă eșantion	10°C~Temă cameră/-30°C~150°C/Personalizat			-30°C~200°C/Personalizat
Răcire cu helium din spate	Da\/Nu			Da
Tichetare cavitate proces	Da\/Nu			Da
Control temă perete cavitate	Nu/Temă cameră-60/120°C			Temă cameră~60/120°C
Sistemul de comandă	Automat/personalizat
Material de etalare	Bază siliciu: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Materiale organice: PR/Organic film......			Bază siliciu: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Material magnetic / material alianță Materiale metalice: Ni⁄Cr⁄Al⁄Cu⁄Au... Materiale organice: PR⁄Film organic...... Uscatul profund în siliciu

Ambalare și livrare

Întrebări frecvente

1. Despre preț:

Toate prețurile noastre sunt competitive și negociabile. Prețul variază în funcție de configurație și de complexitatea personalizării dispozitivului dumneavoastră.

2. Despre eșantion:

Vă putem oferi servicii de producție a eșantioanelor, dar este posibil să vă solicităm o taxă.

3. Despre plată:

După confirmarea planului, trebuie să ne achitați întâi un avans; apoi fabrica începe pregătirea mărfurilor. După ce echipamentul este gata și achitați soldul, îl expediem.

4. Despre Livrare:

După finalizarea fabricării echipamentului, vă trimitem un videoclip de acceptare; de asemenea, puteți veni pe loc pentru a inspecta echipamentul.

5. Instalare și Depanare:

După ce echipamentul ajunge la fabrica dumneavoastră, putem trimite ingineri pentru instalare și punere în funcțiune. Vă oferim o cotare separată pentru această taxă de serviciu.

6. Despre garanție:

Echipamentele noastre beneficiază de o perioadă de garanție de 12 luni. După expirarea acestei perioade, dacă orice piese se deteriorează și necesită înlocuire, vom percepe doar prețul de cost.

7. Service după vânzare:

Toate mașinile au o perioadă de garanție de peste un an. Inginerii noștri tehnici sunt mereu online pentru a vă oferi servicii de instalare, punere în funcțiune și întreținere a echipamentelor. Putem oferi servicii de instalare și punere în funcțiune la fața locului pentru echipamente speciale și mari.