Model: MDST-6100
Așerul cu plasmă uscată ICP este potrivit pentru aplicații precum îndepărtarea stratului superficial (prelucrare preliminară și eliminare reziduuri), îndepărtarea polimerilor (PI, BCB, PBO) și îndepărtarea fotorezistenței după implantarea ionilor; camera acceptă eșantioane de 8 inch (cu compatibilitate și pentru dimensiunile de 4 inch și 6 inch).
ICP Dry Plasma Photoresist Stripper
Așerul cu plasmă uscată ICP este potrivit pentru aplicații precum îndepărtarea stratului superficial (prelucrare preliminară și eliminare reziduuri), îndepărtarea polimerilor (PI, BCB, PBO) și îndepărtarea fotorezistenței după implantarea ionilor; camera acceptă eșantioane de 8 inch (cu compatibilitate și pentru dimensiunile de 4 inch și 6 inch).
Aspectul echipamentului este supus unor actualizări și ajustări continue; produsul efectiv livrat face dovada finală.
Avantaje:
Grad ridicat de ionizare și descompunere a plasmei
După tratamentul cu plasmă, reproductibilitatea este ridicată
Gravare uscată, fără sursă de poluare
Controlul presiunii și temperaturii prin supape fluture
Poate menține plasma la presiune înaltă
Separarea sursei de înaltă tensiune și a generatorului de ioni
Interfața cu microunde și circuitul magnetic sunt compatibile
Poate îndeplini cerințele clienților
Temperatură scăzută în timpul procesării
Viteză ridicată de răspuns și timp scurt de răspuns
Model |
MDST6100 |
Sursa de plasmă |
frecvență radio |
putere |
1000W |
Domeniu de aplicare |
8 inch (compatibil cu 4 sau 6 inch) |
Dimensiunea cutiei |
25 bucati |
Dimensiuni totale |
L1696xL2170xÎ2146 mm |
Controlul sistemului |
PLC |
Sistem de casetă pentru material |
Automată |
Fotografii reale ale echipamentului:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Toate drepturile rezervate
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
