proiect |
Specificații |
observaţii |
||
1 |
Prezentare Echipament |
Numele echipamentului: Mașină de dezvoltare cu strat uniform de lipit automat complet |
||
Modelul echipamentului: MD-2C2D6 |
||||
Specificatii ale plăcilor procesate: compatibil cu plăci standard de 4/6-inch |
||||
Fluxul de proces al stratului uniform de lipit: Tăierea coșului de flori → centruare → strat uniform de lipit (guturare → strat uniform de lipit → eliminare la margine, spălare din spate spălare) → placă caldă → placă rece → punerea în coș Fluxul de proces al dezvoltării: Tăierea coșului de flori → centruare → dezvoltare (solutie de dezvoltare → apă dezonizată, spălare din spate → uscat cu nitrogen) → placă caldă → placă rece → punerea în coș |
||||
Dimensiune generală (aproximativ): 2100mm (L) * 1800mm (G) * 2100mm (Î) |
||||
Dimensiunea cabinetului chimic (aproximativ): 1700(L) * 800(G) * 1600mm (Î) |
||||
Greutate totală (aproximativ): 1000kg |
||||
Înălțime bancă de lucru: 1020 ± 50mm |
||||
2 |
Unitate cassette |
Cantitate: 2 |
||
Dimensiune compatibilă: 4/6 inch |
||||
Detectare cassette: detectare cu microcomutator |
||||
Detectare desfășurare: Da, senzor reflexiv |
||||
3 |
robot |
Cantitate: 1 |
||
Tip: Robot cu adsorpție sub vacum cu două brațe |
||||
Grad de libertate: 4 axe (R1, R2, Z, T) |
||||
Material degete: ceramic |
||||
Metoda de fixare a substratului: metoda de adsorpție cu vacum |
||||
Funcție de mărturie: Da |
||||
Precizie de poziționare: ± 0,1mm |
||||
4 |
Unitate de centru |
Cantitate: 1 set |
Aliniere optică opțională |
|
Metoda de aliniere: aliniere mecanică |
||||
Precizie de centru: ± 0,2mm |
||||
5 |
Unitate de lipire uniformă |
Cantitate: 2 seturi (următoarele sunt configurări pentru fiecare unitate) |
||
Viteza de rotație a spindle-ului: -5000rpm~5000rpm |
rolant de transport |
|||
Precizie a rotației axlei: ± 1rpm (50rpm~5000rpm) |
||||
Ajustare minimă a vitezei de rotație a axlei: 1rpm |
||||
Accelerare maximă a rotației axlei: 20000rpm/s |
rolant de transport |
|||
Brat de curgere: 1 set |
||||
Traseu tub pentru fotorezist: 2 trasee |
||||
Diametru al becului pentru fotorezist: 2.5mm |
||||
Isolarea fotorezistului: 23 ± 0.5 ℃ |
opțional |
|||
Bec de umplere: Da |
||||
RRC: Da |
||||
Buffer: Da, 200ml |
||||
Metoda aplicării lipicii: aruncarea centrală și aruncarea cu scaneare sunt opționale |
||||
Brat de eliminare a marginilor: 1 set |
||||
Diametru alifon de eliminare a marginilor: 0.2mm |
||||
Supraveghere debitului lichidului de eliminare a marginilor: indicatoare de flux cu flotator |
||||
Intervalul debitului lichidului de eliminare a marginilor: 5-50ml/min |
||||
Tub backwash: 2 căi (fiecare 4/6 inch cu câte un canal) |
||||
Supraveghere debitului backwash: indicatoare de flux cu flotator |
||||
Intervalul debitului lichidului backwash: 20-200ml/min |
||||
Metodă de fixare a plăcii: adsorbție cu vacum pe suprafațe mici Chuck |
||||
Alertere presiune vid: senzor digital de presiune a videului |
||||
Material al șurubului: PPS |
||||
Materialul paharului: PP |
||||
Monitorizare evacuare a paharului: senzor digital de presiune |
||||
6 |
Unitate de dezvoltare |
Obturator:da |
||
Cantitate: 2 seturi (următoarele sunt configurări pentru fiecare unitate) |
||||
Viteza de rotație a spindle-ului: -5000rpm~5000rpm |
rolant de transport |
|||
Precizie a rotației axlei: ± 1rpm (50rpm~5000rpm) |
||||
Ajustare minimă a vitezei de rotație a axlei: 1rpm |
||||
Accelerare maximă a rotației axlei: 20000rpm/s |
rolant de transport |
|||
Brat de dezvoltare: 1 set |
||||
Conductă de dezvoltare: bifurcată (gâfetă/fan/focar) |
||||
Filtrare dezvoltor: 0.2um |
||||
Control temperatură dezvoltor: 23 ± 0.5 ℃ |
opțional |
|||
Intervalul de flux al soluției de dezvoltare: 100~1000ml/min |
||||
Modul de mișcare al brațului de dezvoltare: punct fix sau scaneare |
||||
Brațul de fuziune: 1 set |
||||
Circuit de apă dezonizată: 1 circuit |
||||
Diametrul becului de apă dezonizată: 4mm (diametru interior) |
||||
Intervalul de flux al apei dezonizate: 100~1000ml/min |
||||
Circuit de usucare cu nitrogen: 1 circuit |
||||
Diametrul becului de nitrogen: 4mm (diametru interior) |
||||
Intervalul de flux al nitrogenului: 5-50L/min |
||||
Monitorizarea fluxului de dezvoltator, apă dezonizată, nitrogen: contor de flux cu flotator |
||||
Tub backwash: 2 căi (fiecare 4/6 inch cu câte un canal) |
||||
Supraveghere debitului backwash: indicatoare de flux cu flotator |
||||
Intervalul debitului lichidului backwash: 20-200ml/min |
||||
Metodă de fixare a plăcii: adsorbție cu vacum pe suprafațe mici Chuck |
||||
Alertere presiune vid: senzor digital de presiune a videului |
||||
Material al șurubului: PPS |
||||
Material al șurubului: PPS |
||||
Materialul paharului: PP |
||||
Monitorizare evacuare a paharului: senzor digital de presiune |
||||
7 |
Unitate de lipire |
Cantitate: 2 |
opțional |
|
Interval de temperatură: temperatură ambientală~180 ℃ |
||||
Uniformitatea temperaturii: Temperatura ambiantă~120 ℃± 0,75 ℃ 120,1℃~ 180℃ ± 1,5℃ (Eliminați 10mm de la margine, cu excepția gaurii pinului de ieșire) |
||||
Cantitatea minimă de ajustare: 0,1 ° C |
||||
Metodă de control al temperaturii: ajustare PID |
||||
Intervalul înălțimii PIN: 0-20mm |
||||
Material PIN: corp SUS304, cap PIN PI |
||||
Interval de copt: 0,2mm |
||||
Alarmă de supraîncălzire: alarmă pentru deviație pozitivă și negativă |
||||
Metodă de alimentare: Burbujare, 10 ± 2ml/min |
||||
Vacuum operațional al camerei: -5-20KPa |
||||
8 |
Unitate de placă caldă |
Cantitate: 10 |
||
Interval de temperatură: temperatura ambientală~250 ℃ |
||||
Uniformitatea temperaturii: Temperatura ambiantă~120 ℃± 0,75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Eliminați 10mm de la margine, cu excepția gaurii pinului de ieșire) |
||||
Cantitate minimă de ajustare: 0.1 ℃ |
||||
Metodă de control al temperaturii: ajustare PID |
||||
Intervalul înălțimii PIN: 0-20mm |
||||
Material PIN: corp SUS304, cap PIN PI |
||||
Interval de copt: 0,2mm |
||||
Alarmă de supraîncălzire: alarmă pentru deviație pozitivă și negativă |
||||
9 |
Unitate de placă rece |
Cantitate: 2 |
||
Interval de temperatură: 15-25 ℃ |
||||
Metodă de răcire: pompuță circulantă cu temperatură constantă |
||||
10 |
Furnizare chimică |
Stocare photoresist: pompuță pneumatică de lipit * 4 seturi (rezervor opțional sau pompuță electrică de lipit) |
||
Volum de distribuție al lipitorului: maxim 12ml pe sesiune, precizie ± 0.2ml |
||||
Eliminare margină / spălare posterioră / furnizare RRC: rezervor de presiune de 18L * 2 (reîncărcare automată) |
||||
Monitorizare nivelului lichidului pentru eliminarea marginii / spălare posterioră / RRC: senzor fotoelectric |
||||
Monitorizare nivelului lichidului photoresist: senzor fotoelectric |
||||
Evacuare așteptări uniforme de lipit: rezervor de 10L pentru așteptări |
||||
Furnizare dezvoltator: rezervor de presiune de 18L * 4 (stocat în armătură chimică în afara mașinii) |
||||
Furnizare apă dezionizată: furnizare directă de la fabrică |
||||
Dezvoltarea monitorizării nivelului lichid: senzor fotoelectric |
||||
Dezvoltarea deșeurilor: evacuarea deșeurilor de la fabrică |
||||
Furnizarea de tackifier: rezervor de presiune de 10L * 1, rezervor de presiune de 2L * 1 |
||||
Monitorizarea nivelului de tackifier: senzor fotoelectric |
||||
11 |
sistem de Control |
Metodă de control: PLC |
||
Interfață de operație om-masina: ecran tactil de 17 inch |
||||
Sistem de alimentare fără întrerupere (UPS): Da |
||||
Setați permisiuni de criptare pentru operatorii dispozitivului, tehnicienii, administratorii |
||||
Tipul torrei de semnal: 3 culori - roșu, galben, verde |
||||
12 |
Indicatoare de fiabilitate a sistemului |
Uptime: ≥95% |
||
MTBF: ≥ 500h |
||||
MTTR: ≤ 4h |
||||
MTBA: ≥24h |
||||
Rata de fragmentare: ≤ 1/10000 |
||||
13 |
Alte funcții |
Lumina galbenă: 4 seturi (poziție: deasupra unității de amestecare și dezvoltare a liantului) |
||
THC: Da, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2% |
opțional |
|||
FFU: Clasa 100, 5 seturi (unitatea de proces și zona ROBOT) |
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Toate drepturile rezervate
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
