Mașină de litografie fără mască DMD , China Mașină de litografie fără mască DMD Manufacturers, Suppliers, Factory

Mașină de litografie fără mască DMD

Model: MDZY-DMD-MLL200

Tehnologia de scriere directă cu DMD (Dispozitiv digital cu microoglindă) elimină necesitatea utilizării măștilor, oferind lățimi de linie de precizie ultraînaltă de 0,5 μm.

Potrivită pentru laboratoarele universitare de semiconductor, echipamente pentru cercetare și dezvoltare la scară mică în fabrici de wafere (Wafer FAB), ambalare avansată, fabricarea PCB-urilor, microfluidică și biochipsuri, MEMS. Mașină de litografie fără mască cu dispozitiv digital cu microoglindă (DMD).

Descriere produs

MDZY-DMD-MLL200
Mașină de litografie fără mască DMD

MDZY-DMD-MLL200 este o mașină de litografie fără mască bazată pe tehnologia DMD (Dispozitiv digital cu micromirori). Prin înlocuirea măștilor tradiționale cu un DMD, aceasta permite proiectarea rapidă și flexibilă a modelelor de litografie, susținând litografia 2D și în tonuri de gri de 8 biți. Poate satisface orice cerință de litografie la scară micronică și este utilizată în mod larg în diverse domenii, cum ar fi MEMS și microfluidica.

Caracteristici

1. Design compact de birou
2. Sursă de lumină de expunere LED de înaltă putere și uniformitate ridicată
3. Expunere cu lumină verde ghidată
4. Focalizare automată a imaginii utilizând o cameră CCD
5. Masă cu motor liniar de înaltă precizie
6. Interfață software ușor de utilizat

Parametri

Lungimea de undă centrală a sursei de lumină UV	405nm
Uniformitatea expunerii	Mai mult de 90%
Lățimea minimă a trăsăturii caracteristice	0,5um
Aria de expunere a câmpului de scriere într-o singură trecere	0,16*0,16mm (@0,5um)
Viteză de scriere	80 mm²/min (lățime linie caracteristică 1um)
Formate imagine suportate	DXF, GDS, bmp, png, etc.

Configurare

Configurare	Versiune de bază	Versiune profesională
Sursă de Luminozitate	LED de înaltă putere: 405nm
Cip DMD	DLP6500
Arie expunere unică	0.160.16mm (@0.5um), 0.40.4mm (@0.7um), 0.80.8mm (@1um), 1.61.6mm (@2um)
CAMERĂ	Cameră de microscop cu zonă largă (suportă măsurarea dimensiunilor)
Lățime minimă a liniei echidistante	0.8 µm	0.5μm
Accuratețea legăturii	±0,3 µm	±0,3μm
Precizie suprapunere	±0,5 µm	±0,5 μm
Viteză de scriere	20 mm²/min (lățime linie caracteristică 1 µm)	80 mm²/min (lățime linie caracteristică 1 μm)
Masă de mișcare	Motor liniar de înaltă precizie (precizie repetabilă de poziționare ±0,25µm), mecanism de nivelare, masă rotativă manuală	Motor liniar de înaltă precizie (precizie repetabilă de poziționare ±0,25 µm), mecanism de nivelare, masă rotativă electrică
Schimbător de obiective	Comutare manuală a obiectivelor	Comutare motorizată a obiectivelor
Modul de focalizare	Autofocalizare prin imagine CCD	Autofocalizare activă cu laser
Dimensiuni ale waferului acceptate	4 inch	4 inch/8 inch
Grosimea eșantionului	0-10 mm	0-10 mm

Cazuri de aplicare

Cip microfluidic

Litografie DMD UV pentru funcționalitatea de suprapunere

Gravare nanorețea de telur, urmată de suprapunerea electrozilor

Litografie în tonuri de gri a lentilelor Fresnel, litografie 3D în tonuri de gri pentru lentilele Fresnel, care arată schimbări continue ale treptelor în imaginea transversală obținută prin microscop electronic cu scanare

Electrozi din materiale bidimensionale, electrozi din materiale bidimensionale după evaporare și desprindere, electrozii evaporați fiind Ti/Au/Ti (12 nm total)

Litografie combinată DMD UV și cu fascicul electronic

Softwar

Utilizatorii pot efectua toate operațiunile de litografie din interfața principală, fără ferestre pop-up

Modul tăiere imagine:

Include funcții precum decupare personalizată, umplere automată, inversare a culorilor și anti-aliasing.

Legătură obiect:

Utilizatorii pot seta legături ale obiectelor în orice locație de pe suprafața eșantionului și pot previzualiza simultan corespondența dintre orice sub-imagine din imaginea câmp complet și suprafața eșantionului, permițând suprapunerea precisă.

Funcție desenare in-situ:

Graficele pot fi desenate direct pe imaginea microscopică și proiectate pe eșantion pentru a realiza fotolitografie in-situ.

Echipamente Real Shoots

Ambalare și livrare

Profilul companiei

Din 2014, Minder-Hightech este reprezentant de vânzări și service în industria echipamentelor pentru produse Semiconductor și Electronice. Suntem dedicați să oferim clienților Soluții Superioare, Fiabile și Complese pentru echipamente mecanice. Până în prezent, produsele mărcii noastre s-au răspândit în majoritatea țărilor industrializate din întreaga lume, ajutând clienții să îmbunătățească eficiența, să reducă costurile și să îmbunătățească calitatea produselor.

Întrebări frecvente

1. Despre preț:
Toate prețurile noastre sunt competitive și negociabile. Prețul variază în funcție de configurație și de complexitatea personalizării dispozitivului dumneavoastră.

2. Despre eșantion:
Vă putem oferi servicii de producție a eșantioanelor, dar este posibil să vă solicităm o taxă.

3. Despre plată:
După confirmarea planului, trebuie să ne achitați întâi un avans; apoi fabrica începe pregătirea mărfurilor. După ce echipamentul este gata și achitați soldul, îl expediem.

4. Despre Livrare:
După finalizarea fabricării echipamentului, vă trimitem un videoclip de acceptare; de asemenea, puteți veni pe loc pentru a inspecta echipamentul.

5. Instalare și Depanare:
După ce echipamentul ajunge la fabrica dumneavoastră, putem trimite ingineri pentru instalare și punere în funcțiune. Vă oferim o cotare separată pentru această taxă de serviciu.

6. Despre garanție:
Echipamentele noastre beneficiază de o perioadă de garanție de 12 luni. După expirarea acestei perioade, dacă orice piese se deteriorează și necesită înlocuire, vom percepe doar prețul de cost.

7. Service după vânzare:
Toate mașinile au o perioadă de garanție de peste un an. Inginerii noștri tehnici sunt mereu online pentru a vă oferi servicii de instalare, punere în funcțiune și întreținere a echipamentelor. Putem oferi servicii de instalare și punere în funcțiune la fața locului pentru echipamente speciale și mari.

Prima pagină

Despre noi

Echipament MH

Caseta video

Soluție

Utilizatori Din Străinătate

Contactați-ne

Mașină de litografie fără mască DMD