Innledning:
Instrumentet for magnetron-sputterbelægning med enkelt mål er en kostnadseffektiv magnetron-sputterbelægningsutstyr som vår bedrift har utviklet selv. Etter en kompakt konstruksjon oppnås en balanse mellom volum og ytelse, med et vakkert utseende og fullstendige funksjoner. Hele maskinen styres via en berøringskjerm med innebygd én-knapp-belægningsprogram, noe som gjør den enkel og lett å betjene, og den er dermed et ideelt utstyr for laboratorietilberedning av tynne filmer. Det enkelte målet er et sterkt magnetisk mål, og strømforsyningen er en 1500 W likestrømforsyning, som kan brukes til fremstilling av metallfilm. Dette produktet kan utstyres med en alt-i-ett industriell kontroll-datamaskin for systemstyring. Dataprogrammet kan realisere de fleste funksjoner, blant annet styring av vakuum-pumpegruppen og styring av sputterstrømforsyningen, noe som ytterligere kan forbedre eksperimentell effektivitet.
Søknad:
Kan brukes til fremstilling av enkeltlagete eller flerlagete ferroelektriske tynne filmer, ledende filmer, legeringsfilmer, halvlederfilmer, keramiske filmer, dielektriske filmer, optiske filmer osv.