|
prosjekt
|
Spesifikasjoner
|
merknader
|
||
|
1 |
Utstyllingsoversikt |
Utstyrnavn: Fullt automatisk enhet for likformig leseutvikling
|
||
|
Utstyrsmodell: MD-2C2D6
|
||||
|
Behandlingswafer-spesifikasjoner: kompatibelt med 4/6-tommers standard wafer
|
||||
|
Prosessflyt for likformig lese: Blomsterkurv skiving → sentrering → likformig lese (drypping → likformig lese → kantfjerning, bakside
vasking) → varmeplate → kalde plate → kurv plassering Prosessflyt for utvikling: Blomsterkurv skiving → sentrering → utvikling (utviklingsløsning → avionert vann, baksidevasking → kvavnt dyrking) → varmeplate → kalde plate → kurv plassering |
||||
|
Samlet størrelse (ca): 2100mm (B) * 1800mm (D) * 2100mm (H)
|
||||
|
Kjemikaliekabins størrelse (ca): 1700(B) * 800(D) * 1600mm (H)
|
||||
|
Totalvekt (omtrentlig): 1000kg
|
||||
|
Arbeidsbordshøyde: 1020 ± 50mm
|
||||
|
2 |
Kassettenhet
|
Antall: 2
|
||
|
Kompatibel størrelse: 4/6 tommer
|
||||
|
Kassetteteksjon: mikroskakseteksjon
|
||||
|
Uttreksjonsteksjon: Ja, refleksiv sensor
|
||||
|
3 |
roboten |
Mengde: 1
|
||
|
Type: Dobbeltarm vakuumadsorbsjonsrobot
|
||||
|
Frihetsgrader: 4-aksis (R1, R2, Z, T)
|
||||
|
Fingermateriale: keramikk
|
||||
|
Metode for substraatfiksering: vakuumadsorbsjonsmetode
|
||||
|
Kartleggingsfunksjon: Ja
|
||||
|
Posisjonsnøyaktighet: ± 0,1mm
|
||||
|
4 |
Senteringsenhet
|
Antall: 1 sett
|
Valgfri optisk justering
|
|
|
Justeringsmetode: mekanisk justering
|
||||
|
Senteringsnøyaktighet: ± 0,2mm
|
||||
|
5 |
Likformig klønningsenhet |
Mengde: 2 sett (følgende er konfigurasjoner for hver enhet)
|
||
|
Spindelroteringshastighet: -5000rpm~5000rpm
|
føringsrolle
|
|||
|
Aksessynitetsnøyaktighet: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
Minimumjustering av aksessynshastighet: 1rpm
|
||||
|
Maksimal akselerasjon av aksessyn: 20000rpm/s
|
føringsrolle
|
|||
|
Droppearm: 1 sett
|
||||
|
Fotoreseptor rutevei: 2 veier
|
||||
|
Fotoreseptor munst diameter: 2.5mm
|
||||
|
Fotoreseptor isolering: 23 ± 0.5 ℃
|
valgfri
|
|||
|
Fuktighetsmunst: Ja
|
||||
|
RRC: Ja
|
||||
|
Buffer: Ja, 200ml
|
||||
|
Limdråpemetode: sentrumsfradropp og skanningfradropp er valgfrie
|
||||
|
Kantfjerningsarm: 1 sett
|
||||
|
Kantfjerningsduddi diameter: 0,2mm
|
||||
|
Kantfjerningsvæskestrømovervåking: flytestrømføyer
|
||||
|
Strømområde for kantfjerningsvæske: 5-50ml/min
|
||||
|
Retrovaskerør: 2 veier (4/6 tommer hver med 1 kanal)
|
||||
|
Retrovaskstrømovervåking: flytestrømføyer
|
||||
|
Retrovaskevæskestrømområde: 20-200ml/min
|
||||
|
Chipfikseringsmetode: småareavakuumadsorbsjon Chuck
|
||||
|
Alarm for vakuumtrykk: digital vakuumtrykksensor
|
||||
|
Klemmestoff: PPS
|
||||
|
Kuppestoff: PP
|
||||
|
Utslippsovervåking fra kuppe: digital trykksensor
|
||||
|
6 |
Utviklingsenhet |
Skytter: ja
|
||
|
Mengde: 2 sett (følgende er konfigurasjoner for hver enhet)
|
||||
|
Spindelroteringshastighet: -5000rpm~5000rpm
|
føringsrolle
|
|||
|
Aksessynitetsnøyaktighet: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
Minimumjustering av aksessynshastighet: 1rpm
|
||||
|
Maksimal akselerasjon av aksessyn: 20000rpm/s
|
føringsrolle
|
|||
|
Utviklingsarm: 1 sett
|
||||
|
Utviklingsrør: 2-veisk (ventilformig/kolonnformig duse)
|
||||
|
Filtrering av utvikler: 0,2um
|
||||
|
Temperaturregulering av utvikler: 23 ± 0,5 ℃
|
valgfri
|
|||
|
Utviklingsløsningsstrøm område: 100~1000ml/min
|
||||
|
Bevegelsesmodus for utviklingsarmen: fast punkt eller skanning
|
||||
|
Fuseringsarm: 1 sett
|
||||
|
Avionert vann rørledning: 1 krets
|
||||
|
Avionert vann dusjdiameeter: 4mm (indre diameter)
|
||||
|
Avionert vann strøm område: 100~1000ml/min
|
||||
|
Nytrogen tøringsrørledning: 1 krets
|
||||
|
Nytrogen dusj diameter: 4mm (indre diameter)
|
||||
|
Nytrogen strøm område: 5-50L/min
|
||||
|
Utvikler, avionert vann, nytrogen strømovervåking: flytestrømmeter
|
||||
|
Retrovaskerør: 2 veier (4/6 tommer hver med 1 kanal)
|
||||
|
Retrovaskstrømovervåking: flytestrømføyer
|
||||
|
Retrovaskevæskestrømområde: 20-200ml/min
|
||||
|
Chipfikseringsmetode: småareavakuumadsorbsjon Chuck
|
||||
|
Alarm for vakuumtrykk: digital vakuumtrykksensor
|
||||
|
Klemmestoff: PPS
|
||||
|
Klemmestoff: PPS
|
||||
|
Kuppestoff: PP
|
||||
|
Utslippsovervåking fra kuppe: digital trykksensor
|
||||
|
7 |
Enheter for takkifisering |
Antall: 2
|
valgfri
|
|
|
Temperaturområde: romtemperatur~180 ℃
|
||||
|
Temperaturjevnhet: Romtemperatur~120 ℃± 0,75 ℃
120,1℃~ 180℃ ± 1,5℃ (Fjern 10mm fra kanten, unntatt utskrivningspinnehullet) |
||||
|
Minimum justeringsmengde: 0,1 ° C
|
||||
|
Temperaturreguleringsmetode: PID-regulering
|
||||
|
PIN-høyderange: 0-20mm
|
||||
|
PIN-materiale: kaross SUS304, PIN-pinnkap PI
|
||||
|
Bakingsavstand: 0,2mm
|
||||
|
Overtemperaturalarm: alarm for positiv og negativ avvik
|
||||
|
Forsyningsmetode: Bobling, 10 ± 2ml/min
|
||||
|
Kammerdrift ved vakuum: -5-20KPa
|
||||
|
8 |
Varmepladeenhet |
Antall: 10
|
||
|
Temperatur intervall: romtemperatur~250 ℃
|
||||
|
Temperaturjevnhet: Romtemperatur~120 ℃± 0,75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Fjern 10mm fra kanten, unntatt utskrivningspinnehullet) |
||||
|
Minste justeringsmengde: 0.1 ℃
|
||||
|
Temperaturreguleringsmetode: PID-regulering
|
||||
|
PIN-høyderange: 0-20mm
|
||||
|
PIN-materiale: kaross SUS304, PIN-pinnkap PI
|
||||
|
Bakingsavstand: 0,2mm
|
||||
|
Overtemperaturalarm: alarm for positiv og negativ avvik
|
||||
|
9 |
Kjølepladeenhet
|
Antall: 2
|
||
|
Temperatur intervall: 15-25 ℃
|
||||
|
Kjølingmetode: konstant temperatur sirkulasjonspumpe kjøling
|
||||
|
10 |
Kjemikalierforsyning |
Photoresistlagring: pneumatisk limpumpe * 4 sett (Valgfri tank eller elektrisk limpumpe)
|
||
|
Limutskriftsvolum: maksimum 12ml per sesjon, nøyaktighet ± 0.2ml
|
||||
|
Kantfjerning/bakvasking/RRC-forsyning: 18L tryktank * 2 (automatisk oppfylling)
|
||||
|
Nivåovervåkning for kantfjerning/bakvasking/RRC: fotoelektrisk sensor
|
||||
|
Photoresistnivåovervåkning: fotoelektrisk sensor
|
||||
|
Avledning av likvid uniform adhesivavfall: 10L avfaltank
|
||||
|
Utviklerforsyning: 18L tryktank * 4 (Lagret i kjemikaliehylla utenfor maskinen)
|
||||
|
Deionisert vannforsyning: direkte fra fabrikk
|
||||
|
Utvikling av væskestandovervåking: fotoelektrisk sensor
|
||||
|
Utvikler avfall utslipp: fabrikk avfall utslipp
|
||||
|
Tilførsel av tacksamhetstilkjempemiddel: 10L tryktank * 1, 2L tryktank * 1
|
||||
|
Standovervåking av tacksamhetstilkjempemiddel: fotoelektrisk sensor
|
||||
|
11 |
kontrollsystem |
Styringsmetode: PLC
|
||
|
Menneske-maskin operasjonsgr grenseflate: 17 tommer berøringskjerm
|
||||
|
Strømforsyning uten avbrytelser (UPS): Ja
|
||||
|
Sett krypteringsrettigheter for enhetsoperatører, teknikere, administratorer
|
||||
|
Signalårstype: rød, gult, grønn 3 farger
|
||||
|
12 |
System pålitelighetstegn
|
Oppetid: ≥95%
|
||
|
MTBF: ≥ 500h
|
||||
|
MTTR: ≤ 4h
|
||||
|
MTBA： ≥24h
|
||||
|
Fragmentasjonsrate: ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
Andre funksjoner
|
Gul lys: 4 sett (posisjon: over blandingen og utviklingsenheten for lim)
|
||
|
THC: Ja, 22,5 ℃± 0,5 ℃, 45% ± 2%
|
valgfri
|
|||
|
FFU: Klasse 100, 5 sett (prosessenhet og ROBOT-område)
|
||||
Opphavsrett © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheter forbeholdt
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
