
| Modell    | MDTS-WT2200  | 
| Antall tyndningsakser  |  2 | 
| Antall arbeidsbenker  | 3, Indeksmetode  | 
| Slåsspinne for slåsstein  | Antall luftspindler: 2  Spindlemotor: 7,5kW variabel frekvensmotor Hastighet: 0~6000rpm, trinnløs justerbar Skrivehjulspeksifikasjon: Φ203mm Skrivehjulstype: diamantskrivehjul | 
| Skrivehjulsføringssystem  | Antall: 2 sett  Fødesystemstyringsmetode: LM-veiledning og kuleorm kombinasjon Drikkemotor: servomotor Laveste fødehastighet: 0.1um/sec Høyeste fødehastighet: 50mm/sec | 
| Arbeidsbenk  | Mengde: 3, indeksmodus  Spindelmotor: Servomotor Hastighet: 0~300rpm, trinnløs justerbar Adsorptionsmetode: vakuumadsorpsjon | 
| Arbeidsbordsvendestolpe  | Drivemodus: servomotor  Rotasjonsomfang: 0~240° Posisjonsform: sensorbasert posisjonering | 
| Automatisk tykkelse  målingssystem | Målemetode: IPG kontakt pålinje real-tid-måling  Antall målehoder: 2 Målesensor: 0,1um nivåsensor | 
| Automatisk lasting/  avlastingsystem | Bokstype: 6-8 tommer Cassette, 25 lag  Automatisk lastings-/avlastingsmetode: wafer manipulator brukes for å sikre at tynne wafers transporteres uten skade Wafer tykkelse: 150um-1000um | 
| Arbeidsbordrensing funksjon  | Rensemetode: Oljestein polering & DI vann+luft tofluider spoling  | 
| Automatisk renning/  tørringsystem | Rensning: DIW dusj renning  Tøringsmetode: Blåsning +tørring Fart: max1000rpm trinnløst justerbar | 
| Statisk eliminering system  | Ion bar orion fan  | 
| Spindel kjøler  | Temperatur: 18-22°C  Strømrate: 4~8L/min | 
| Kontrollsystem    | Kontrollsystem: PC-kontrollsystem, berøringskjerm med trefargealarmlys  Kinesisk/engelsk brukergrensesnitt | 
| Maksimal platerstørrelse  | Maksimalt kompatibel med 8 tommer  | 
| Hastighetsområde    | 0~6000 OMD  | 
| Z-akse bevegelse    | 160mm    | 
| Z-akse matehastighet  | 0.1~100um/sec  | 
| Z-akse rask tilbaketrekkfart  | 50mm/sec  | 
| Oppløsning på Z-aksen  | 0.1um  | 
| Målemessig tykkelse på nettet  | 0~1800um  | 
| Oppløsning av måling av tykkelse på nettet  | 0.1um  | 


Opphavsrett © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheter forbeholdt