Høgre
Innledning: Dette utstyret er et magnetronbelagingsinstrument med to mål. Det er utstyrt med to magnetrontargets og to sett med likestrømforsyninger. Det kan brukes til å belage flerlags ledende metallfilm. Samtidig består utstyret av to deler: hovedkammeret og overføringskammeret. Overføringskammeret er utstyrt med en magnetisk trykkstang, og en vakuumsluseventil er montert mellom de to kammerne. Brukeren kan laste prøver i overføringskammeret og foreta forvakuum samtidig som sputtering utføres i hovedkammeret. Når sputtering i hovedkammeret er fullført, kan prøven skyves inn i prøvestadiet i hovedkammeret ved hjelp av den magnetiske trykkstangen. Denne konstruksjonen reduserer antallet ganger hovedkammeret må evakuers og ventileres, noe som ikke bare effektivt sparer tid, men også sikrer bedre lokal vakuum og forbedrer belagingskvaliteten på en effektiv måte.
Anvendelse: Kan brukes til fremstilling av enkelte eller flerlags ferroelektriske tynne filmer, ledende filmer, legeringsfilmer, halvlederfilmer, keramiske filmer, dielektriske filmer, optiske filmer osv.