Innledning:
Dette utstyret er et magnetronbeløpingsinstrument med to mål. Det er utstyrt med to magnetrontargets og to sett med likestrømforsyninger. Det kan brukes til å beløpe flerlags ledende metallfilm. Samtidig består utstyret av to deler: hovedkammeret og overgangskammeret. Overgangskammeret er utstyrt med en magnetisk trykkstang, og en vakuumsluseventil er installert mellom de to kammerne. Brukeren kan laste prøver i overgangskammeret og foreta forvakuum samtidig som sputtering utføres i hovedkammeret. Når sputtering i hovedkammeret er fullført, kan prøven skyves inn i prøvestadiet i hovedkammeret ved hjelp av den magnetiske trykkstangen. Denne konstruksjonen reduserer antallet ganger hovedkammeret må tømmes og fylles med luft, noe som ikke bare effektivt sparer tid, men også sikrer bedre lokal vakuum og forbedrer beløpningskvaliteten på en effektiv måte.
Søknad:
Kan brukes til fremstilling av enkeltlagete eller flerlagete ferroelektriske tynne filmer, ledende filmer, legeringsfilmer, halvlederfilmer, keramiske filmer, dielektriske filmer, optiske filmer osv.