Innledning:
Denne utstyret består hovedsakelig av en vakuumkammer av rustfritt stål, et magnetron-sputtermål, en dampavsetningsanordning, et prøvebord for plassering av prøver, en vakuumppumpeenhet, en vakuummåleinstrument, et lufttilførselssystem og et kontrollsystem. Hovedenheten til utstyret styres via en berøringskjerm og overvåkes av en temperaturregulator. Dens digitale parametergrensesnitt og automatiserte drift gir brukerne en fremragende forsknings- og utviklingsplattform. Vakuumkammeret har en bunnmontert målkonfigurasjon, og prøvebordet har oppvarmings- og roteringsfunksjoner, noe som gir en jevnere belægningsvirkning. Vakuumoppnåelsessystemet til utstyret bruker en totrinns vakuumppumpegruppe. Førstetrinns-pumpen er en hurtig mekanisk pumpe, som effektivt forkorter tiden fra normalt trykk til lavt vakuum. Hovedpumpen er en turbo-molekylærpumpe med høy pumpehastighet og raskere vakuumoppnåelse. Hele vakuumoppnåelsessystemet er rent og raskt.
Søknad:
Kan brukes til fremstilling av enkeltlagete eller flerlagete ferroelektriske tynne filmer, ledende filmer, legeringsfilmer, halvlederfilmer, keramiske filmer, dielektriske filmer, optiske filmer osv.