MDZY-DMD-MLL200 DMD maskeløs litografi-maskin , China MDZY-DMD-MLL200 DMD maskeløs litografi-maskin Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivelse

MDZY-DMD-MLL200
DMD maskeløs litografi-maskin

MDZY-DMD-MLL200 er en maskeløs litografi-maskin basert på DMD-teknologi (Digital Mikrospeil Enhet). Ved å erstatte tradisjonelle maske med en DMD, muliggjør den rask og fleksibel design av litografimønstre, og støtter 2D- og 8-bit gråskalelitografi. Den kan oppfylle enhver mikrometer-skala litografioppgave og brukes mye innen felt som MEMS og mikrofluidikk.

Egenskaper

1. Kompakt skrivebordsdesign
2. Høyeffektiv, høyuniform LED-belysningskilde
3. Grønnlysstyrt eksponering
4. Automatisk bildefokus ved bruk av CCD-kamera
5. Høy-presisjons lineær motorscene
6. Enkel å bruke programvaregrensesnitt

Parametere

UV-lyskilde sentralbølgelengde	405nm
Eksponeringsuniformitet	Mer enn 90%
Minimums linjebredde for detaljer	0,5 µm
Enkeltgjennomløps skrivefelt eksponeringsareal	0,16*0,16 mm (@0,5 µm)
Skrivehastighet	80 mm²/min (1 µm strukturert linjebredde)
Understøttede bildeformater	DXF, GDS, bmp, png, osv.

Konfigurasjon

Konfigurasjon	Grunnversjon	Profesjonell versjon
Lyskilde	Høyeffekt LED: 405 nm
DMD-chip	DLP6500
Enkeltfelt eksponeringsområde	0,160,16 mm (@0,5 µm), 0,40,4 mm (@0,7 µm), 0,80,8 mm (@1 µm), 1,61,6 mm (@2 µm)
KAMERA	Mikroskopkamera for stort areal (støtter størrelsesmåling)
Minimum ekvidistant linjebredde	0.8 µm	0.5μm
Sammenstilling nøyaktighet	±0,3 µm	±0,3 μm
Overlappingsnøyaktighet	±0,5 µm	±0,5 μm
Skrivehastighet	20 mm²/min (1 µm struktur-linjebredde)	80 mm²/min (1 µm struktur-linjebredde)
Bevegelsesplate	Høypresisjons lineærmotor (gjentakbar posisjoneringsnøyaktighet ±0,25 µm), nivelleringsmekanisme, manuell roterende trinn	Høypresisjons lineærmotor (gjentakbar posisjoneringsnøyaktighet ±0,25 µm), nivelleringsmekanisme, elektrisk roterende trinn
Objektivlinseskifter	Manuell objektivlinseskytting	Motorisert objektivlinseskytting
Fokusmodul	CCD-bilde autofokus	Laseraktiv fokus
Støttede waferstørrelser	4 tommer	4-tommers/8-tommers
Prøvestyrrelse	0-10mm	0–10 mm

Kravssak

Mikrofluidisk chip

DMD UV-litografi for overleggfunksjonalitet

Telleurnanoruten etsing etterfulgt av elektrodeoverlegg

Gråtone-litografi av Fresnel-linser, 3D-gråtone-litografi for Fresnel-linser, viser kontinuerlige trinnendringer i tverrsnittsbildet fra scanningelektronmikroskopet.

To-dimensjonale materialeelektroder, to-dimensjonale materialeelektroder etter fordampning og lift-off, fordampede elektroder er Ti/Au/Ti (12 nm totalt)

Kombinert DMD UV- og elektronstrålelitografi

Programvare

Brukere kan utføre alle litografioperasjoner fra hovedgrensesnittet uten noen oppsprettsvinduer.

Bildesklæringsmodul:

Inkluderer funksjoner som tilpasset beskjæring, automatisk fylling, fargeinversjon og kantutjevning.

Objektbinding:

Brukere kan sette objektbindinger på et hvilket som helst sted på prøveflaten og samtidig forhåndsvise sammenhengen mellom ethvert underbilde i fullbildet og prøveflaten, noe som muliggjør nøyaktig overlegg.

In-situ-tegnefunksjon:

Grafikk kan tegnes direkte på det mikroskopiske bildet og prosjiseres på prøven for å oppnå in-situ fotolitografi.

Utstyr Reelle Opptak

Pakking & Levering

Selskapsprofil

Siden 2014 er Minder-Hightech salgs- og serviceselskap i halvleder- og elektronikkindustriens utstyr. Vi er dedikerte til å tilby kunder Overlegne, Pålitelige og Komplettløsninger for maskiner og utstyr. Hittil har våre merkevarer spredt seg til de store industrilandene over hele verden, og hjelper kunder med å forbedre effektiviteten, redusere kostnader og forbedre produktkvaliteten.

Ofte stilte spørsmål

1. Om prisen:
Alle våre priser er konkurransedyktige og forhandlingsmessige. Prisen varierer avhengig av konfigurasjonen og tilpassingskompleksiteten på enheten din.

2. Om eksempel:
Vi kan levere eksempelproduksjonservices for deg, men du må betale noen gebyrer.

3. Om betaling:
Etter at planen er bekreftet, må du først betale en nedbetaling, og fabrikken vil begynne å forberede varene. Når utstyret er klart og du har betalt resten, vil vi sende det.

4. Om levering:
Etter at produksjonen av utstyr er ferdig, vil vi sende deg akseptansekvideoen, og du kan også komme til stedet for å inspisere utstyret.

5. Installasjon og feilsøking:
Etter at utstyret har ankommet fabrikkene dine, kan vi sende ingeniører for å installere og调试utstyret. Vi vil gi deg en separat tilbud for denne tjenestekostnaden.

6. Om garanti:
Vårt utstyr har en garanti på 12 måneder. Etter garantiavgangen, hvis noen deler blir skadet og må byttes ut, vil vi bare beregne kostprisen.

7. Etter salgs service:
Alle maskiner har en garantiperiode på over ett år. Våre tekniske ingeniører er alltid tilgjengelige for å gi deg installasjon, oppstart og vedlikeholdstjenester for utstyr. Vi kan tilby montering og oppstartstjenester på stedet for spesielle og store utstyr.

Hjem

Om oss

MH Utstyr

Løsning

Utlandbrukere

Video

Kontakt Oss

MDZY-DMD-MLL200 DMD maskeløs litografi-maskin