MDLB-MC200 Photomask renser

Nei.

Prosjekt

Spesifikasjoner

Merknader

1

Utstyllingsoversikt

Enhetsnavn: Fotomaskinrensner

Utstyrsmodell: MDLB-MC200

Samleddimensjoner (ca): 1300mm (B) * 1000mm (D) * 1950mm (H)

Hele maskinvægten (ca): 300KG

Arbeidshøyde: 900 ± 50mm

Substratstørrelsespecificasjoner: egnet for 2/4/5/6/8 tommer kvadratmaskiner

Prosessflyt: manuell plassering av plater → rensing (børste, rensningsvæske → høytrykksvann → megasonisk vann → deionisert vann → nitrogen-gass tørring) → manuell fjerning av plater

Utstyrstype: semi-automatisk, manuell lasting og avlasting

2

Utstyrsoppbygging

Skall: rustfritt stål, glad, korrosjonsresistent, enkelt å rengjøre

Rensingsrom: PP, glad, korrosjonsresistent, enkelt å rengjøre

Rørledning: PU/PFA-rørledning brukes

Arbeidslys: korrosjonsbestandig gull lyslys

Døråpningsmetode: Dobbelt dør med døråpningsalarmfunksjon

Touchskjerm: 10-tommers farge touchskjerm * 1

FFU: Klasse 100

Tett bunnstøtte: tilgjengelig

3

Høy nøyaktighets servomotor

Mengde: 1

Fart: -3000~3000rpm

Tom last

Maksimal akselerasjon av spindelrotering: 3000rpm/S

Tom last

Fartsnøyaktighet: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)

Fartsoppløsning: 1rpm

4

Automatisk svingarm

Antall: 3

Svingarms fart: 1~30 °/S

5

Rensingsenhet

Rensingsvingarm: 1 kanal med deionisert vann, 1 kanal med kvavngass

Megasonisk arm: 1 megasonisk, 1 høytrykksvann

Børstearm: 1 børste, 1 vann, 1 rensingsløsning

Rensningsmetode: automatisk renset

Deionisert vannsuppfunksjon: tilgjengelig

Bakvasking (deionisert vann): 1 vei

Forsyningsmetode: Rensingsløsning: Membranpumpe

Deionisert vann: levert direkte fra fabrikk

Trykktank med væssinivådeteksjon

6

Børstebørste

Antall: 1 (med selvrensingsfunksjon)

Fart: opp til 1000 omd/m, justerbar fart

Høyde manuelt justerbar

7

Lastebakke

Antall: 5

Materiale: PPS+stainless steel

Størrelse: Egnet for 2/4/5/6/8 tommer kvadratmaskeplater

Substratfestingsmetode: Kløffestingsmetode

8

Kontrollsystem

Kontrollsystem: bruker PLC-kontroll

Program: 100 grupper, hver gruppe består av 100 trinn, med en maksimal enkelttrinntid på 3000.0 sekunder

Oppløsning: 0.1S

Programmet kan lagres, kalles opp, endres og slettes

Sett krypteringsrettigheter: for enhetsoperatører, teknikere, administratorer og produsenter henholdsvis

Signalårstype: rød, gult, grønn 3 farger