Utstyrskarakteristikkar
1. Denne utstyret er designet for lasertrimming av halvlederwafer av høy kvalitet.
2. Utstyrt med en laser importert fra USA, som gir eksepsjonell stabilitet under lasertrimming.
3. Har et antiinterferens-, høyoppløsende lineærmotor-XY-stadium med gittermålestokk, som effektivt reduserer maskinforårsaket interferens på produktene.
4. Inkluderer en CCD-kamera på 12 megapiksler for nøyaktig posisjonering.
5. Har akromatisk bildebehandlingsteknologi og funksjonalitet for bildegjenkjenning og posisjonering.
6. Har GPIB- og andre eksterne grensesnitt for tilkobling av eksterne instrumenter til måling eller justering av motstand.
7. Marmorbase sikrer utmerket maskinstabilitet
Tekniske parametere
Modell |
MDSG-LT74 |
Laserbølgelengde |
1064/355 nm |
Laserkraft |
6W/4W |
Typisk flekkstørrelse |
25-35μm |
Fokusmetode |
Automatisk, dataprogramstyrt. |
Kjølemetode |
Luftkjøling |
Laserstrålebevegelsesområde |
27 mm × 27 mm |
Bevegelsesoppløsning |
0.76μm |
Gjentakende posisjoneringsnøyaktighet |
±2,5 µm |
Bevegelsesmodus |
Antistøy gitterlinjal linearmotor |
Bevegelsesområde) |
300 mm × 300 mm |
Gjentakende posisjoneringsnøyaktighet |
±1 µm |
Metode for motstandsavlesning |
4-ledermåling |
Nøyaktighet ved motstandsavlesning |
±0,02 % (middels motstand) |
Resistansmålingsomfang |
0.1ω–50 MΩ |
Målehastighet |
4 µs/måling |
Null- og fullskala-feilkorrigering |
Automatisk korreksjon |
Probespesifikasjon |
Programmerbar vilkårlig innstilling |
Grensesnitt |
GPIB |
Utstyrs dimensjon |
1430 x 913 x 1747 mm |
Vekt |
617 kg |
Driftsbetingelser (vann, strøm, gass) |
Fuktighet: <70 %; Strømforsyning: AC 220 V, 2,5 kW; Komprimert luft: <0,6 MPa, <40 L/min |
Opphavsrett © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheter forbeholdt