Materiale-etsing Ablageringsreaksjon Ion-etsingsmaskin RIE , China Materiale-etsing Ablageringsreaksjon Ion-etsingsmaskin RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivelse

RIE Reaction Ion Etching Maskin

Forskningsapplikasjonene til RIE-reactive ion etching-maskiner innenfor halvlederproduksjon og mikro-nano-behandling er hovedsakelig å synliggjøre bearbeiding av nanoskalastrukturer, etsing av nye materialer, produksjon av komplekse enheter og teknologiske gjennombrudd på tvers av fagdisipliner. Dens kjerneverdi ligger i å oppnå høy nøyaktighet og høy selektivitet i materialefjerning ved å koordinere kontroll av fysisk bombardement og kjemiske reaksjoner. Støtter utforskning av halvlederteknologiens frontlinje og enhetsinnovasjon.

Utstyrsfunksjoner:

1. Høy presisjon og anisotropi: Den kan ets grafikker med bratte sidevegger og nøyaktige dimensjoner.
2. God uniformitet og repeterbarhet: egnet for masseproduksjon.
3. Bredt anvendelsesområde for materialer: Ved å velge ulike gasskombinasjoner kan ulike materialer (halvledere, dielektrika, metaller osv.) etses.
4. Høy selektivitetsforhold: Den kan nøyaktig etske spesifikke materialer uten å forårsake betydelig skade på andre materialer.
5. Rengjøring: Tørrprosess, unngår problemer som rengjøring og avfallsvæsker som oppstår ved våtetsing.

Spesifikasjon

Systemkonfigurasjon:

Elektrisk oppvarming	Kammer (enkelt hulrom)
Elektrisk oppvarming		N/A
Type nedre elektrode	242mm
Prosess Temperatur Omfang	-20-100°C
PLASMA kilde	600W-1000W
Prosess trykkmåler størrelse	100mtorr
Vakuum system	Molekylære pumpeenheter, tørrepumpesystemer, prosesskammer
Antall etsningskammer	Enkelt kavitet
Klemmar	Type	Størrelse/mm	Materiale
Klemmar		N/A	8、6、4、3、2
Endepunktdetektor	VALGFRI
Induktivt koblet plasma	VALGFRI

Teknisk parameter:

Graveringsmateriale	Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Etsningshastighet	>20 nm/min (SiO2 materiale). Hastighetene for ulike materialer er ikke de samme
Distribuert kontroll	>85°
Lastemetode	Åpen lasting
Gassrørledning kontrollert av MFC	Seks gassankere er tilgjengelige
Kjøleløsning for helium på baksiden	Ja
Menneske-maskin-grensesnitt	Skjermbedriving
Operasjonsmodus	Fullautomatisk modus, ikke-fullautomatisk modus
Valg og konfigurasjon av automatiserte enheter	Du kan velge mellom importerte eller innenlandske deler

Kravssak

Pakking & Levering

Bedriftsprofil

Siden 2014 er Minder-Hightech salgs- og serviceselskap i halvleder- og elektronikkindustriens utstyr. Vi er dedikerte til å tilby kunder Overlegne, Pålitelige og Komplettløsninger for maskiner og utstyr. Hittil har våre merkevarer spredt seg til de store industrilandene over hele verden, og hjelper kunder med å forbedre effektiviteten, redusere kostnader og forbedre produktkvaliteten.

Ofte stilte spørsmål

1. Om prisen:
Alle våre priser er konkurransedyktige og forhandlingsmessige. Prisen varierer avhengig av konfigurasjonen og tilpassingskompleksiteten på enheten din.

2. Om eksempel:
Vi kan levere eksempelproduksjonservices for deg, men du må betale noen gebyrer.

3. Om betaling:
Etter at planen er bekreftet, må du først betale en nedbetaling, og fabrikken vil begynne å forberede varene. Når utstyret er klart og du har betalt resten, vil vi sende det.

4. Om levering:
Etter at produksjonen av utstyr er ferdig, vil vi sende deg akseptansekvideoen, og du kan også komme til stedet for å inspisere utstyret.

5. Installasjon og feilsøking:
Etter at utstyret har ankommet fabrikkene dine, kan vi sende ingeniører for å installere og调试utstyret. Vi vil gi deg en separat tilbud for denne tjenestekostnaden.

6. Om garanti:
Vårt utstyr har en garanti på 12 måneder. Etter garantiavgangen, hvis noen deler blir skadet og må byttes ut, vil vi bare beregne kostprisen.

7. Etter salgs service:
Alle maskiner har en garantiperiode på over ett år. Våre tekniske ingeniører er alltid tilgjengelige for å gi deg installasjon, oppstart og vedlikeholdstjenester for utstyr. Vi kan tilby montering og oppstartstjenester på stedet for spesielle og store utstyr.

Hjemmeside

Om oss

MH Utstyr

Løsning

Utlandbrukere

Video

Kontakt Oss

Materiale-etsing Ablageringsreaksjon Ion-etsingsmaskin RIE

RIE Reaction Ion Etching Maskin

Utstyrsfunksjoner:

Flere produkter

MD-FS Serie Kondensatorrulleringsmaskin

MD-FDS Serie Automatisk Kondensatorrulleringsmaskin

MD-EFS serie Kondensatorrulleringsmaskin

MD-EDFS Serie Filmkondensatorrulleringsmaskin

Forespørsel

Articles

Products

Get In Touch

Materiale-etsing Ablageringsreaksjon Ion-etsingsmaskin RIE

RIE Reaction Ion Etching Maskin

Utstyrsfunksjoner:

Flere produkter

Forespørsel

Articles

Products

Get In Touch

Ta kontakt