


Wafelgrootte |
4”~ 8” schijf |
Schijfdikte |
100~750 micron |
Schijftype |
Si, SiC, GaN of andere materialen |
Film type |
Blauwe film, UV-film Breedte: 230 ~ 300 mm Lengte: 100 m Dikte: 0,05 ~ 0,2 mm |
Wafel dragende ring |
6”, 8” DISCO |
In- en uitlaadmethode |
Handmatige plaatsing en verwijdering van wafel/dragende ring |
Filmpositieernauwkeurigheid |
±0,5mm Standaard 6” en 8” waferplaten voor 6” en 8” wafers |
Vacuümpomp |
Minder-Hightech |
Antistatische controle |
Deionisatieventilator |
Besturingseenheid |
Gebaseerd op PLC-besturing, met 10” touchscreen |
Veiligheidsbescherming |
Ugerust met lichtgordelbescherming en noodstopknop |
Voedingsspanning |
Enkelvoudige AC 220V, 16A |
Samengeperste Lucht |
0,45~0,6MPa, debiet 70L/min |
Machinekast |
Wit plastic gespoten metaalkast |
Volume |
850mm (breedte)*1750mm (diepte)*1970mm (hoogte) |
Nettogewicht |
480 kg |


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rechten voorbehouden