Reactive Ion Etching-systeem (RIE) , China Reactive Ion Etching-systeem (RIE) Manufacturers, Suppliers, Factory

Productomschrijving

Reactief ion etchen (RIE)

Reactive ion etching (RIE) kan worden gebruikt om micro-nano structuren voor te bereiden en is een van de technologieën in het proces van halvgeleiderproductie. Tijdens het RIE-etchproces vormen verschillende actieve deeltjes in het plasma met het oppervlak van het materiaal vluchtige producten. Deze producten worden van het oppervlak van het materiaal verwijderd, waardoor uiteindelijk anisotrope microstructuur-etching van het oppervlak van het materiaal wordt bereikt. De serie reactieve ion etchers (RIE) zijn gebaseerd op vlakplaat-capacitief gekoppelde plasma-technologie en zijn geschikt voor gepatenteerde etching van siliciummaterialen zoals monocristallijnen silicium, polycrystallijnen silicium, siliciumnitrid (SiNy), siliciumoxide (SiO), kwarts (Quartz) en silicon carbide (SiC); kunnen worden gebruikt voor patroonvorming en materiaal-de-layere etching van organische materialen zoals fotoresist (PR), PMMAHDMS en andere materialen; kunnen worden gebruikt voor fysieke etching van metaalmaterialen zoals nikkel (Ni), chroom (Cr) en keramische materialen; kunnen worden gebruikt voor ruimtetemperatuur-indiumfosfide (InP) materialetching. Voor sommige etchprocessen met hogere eisen kan ook onze ICP RIE etching worden gebruikt.

Hoofdconfiguratie:

1. Steun voor monstersgrootte: 4, 8, 12 inch, compatibel met verschillende kleine monsters, aangepaste oplossingen ondersteund;
2. RF-plasma vermogen bereik: 300/500/1000 W optioneel;
3. Moleculaire pomp: 620/1300 //s optioneel, optionele corrosiebestendige pompset;
4. Voorpomp: mechanische oliepomp/droge pomp optioneel;
5. Drukcontrole: 0 ~1 Torr optioneel; configuratie zonder drukcontrolemodus kan ook worden geselecteerd,
6. Procesgas: tot 9 procesgassen kunnen tegelijkertijd worden geïnstalleerd; temperatuur: 10 graden ~ kamertemperatuur/-30 graden~ kamertemperatuur/aanpasbaar temperatuurbereik,
7. Achterkant heliumkoeling kan volgens de toepassing worden geconfigureerd;
8. Verwijderbare antivervuilingsscherming;
9. Load-lock optioneel;
10. Volledig automatisch een-knopbesturingssysteem;

RIE Toepasbare Materialen:

1. Siliciumgebaseerde materialen: silicium (Si), siliciumdioxide (SiO2), siliciumnitride (SiNx), siliciumcarbide (SiC)
2. III-V materialen: indiumfosfide (InP), galliumarsenide (GaAs), galliumnitride (GaN)
3. II-VI materialen: cadmiumtelluride (CdTe)
4. Magnetische materialen/leggermaterialen
5. Metal materialen: aluminium (AI), goud (Au), wolfram (W), titanium (Ti), tantaal (Ta)
6. Organische materialen: fotorezist (PR), organische polymeren (PMMA/HDMS), org

RIE Gerelateerde Toepassingen:

1. Etcheren van silicium-gebaseerde materialen, nano-imprint patronen, array patronen en lens patronen;
2. Etcheren bij kamertemperatuur van indiumfosfide (InP), gepatrongeerd etcheren van InP-gebaseerde apparaten in optische communicatie, inclusief waveguide structuren, resonantiekamerstructuren en richelstructuren;
3. Etching van SiC materialen, geschikt voor microwegovoorchten, krachtovoorchten, enz.;
4. Fysiek spatter-etchen wordt toegepast op bepaalde metalen, zoals nikkel (Ni), chroom (Cr), keramieken en andere materialen die moeilijk chemisch te etchen zijn, en er wordt patroon-etchen van materialen bereikt door fysieke bombardementen;
5. Etching van organische materialen wordt toegepast op het etchen, reinigen en verwijderen van organische materialen zoals fotorezyst (Photo Resist), PMMA, HDMS, Polymer;
6. Laag-verwijderingsetching voor chipfoutanalyse (Failure Analysis-FA);
7. Etching van tweedimensionale materialen: W, Mo tweedimensionale materialen, graphene;

Toepassingsresultaten:

Projectconfiguratie en machineschets

Item	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Productafmeting	≤6 inch	≤8 inch	≤8 inch
RF krachtbron	0-300W/500W/1000W Aanpasbaar, automatisch matchen
Moleculaire pomp	-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom			Antiseptisch620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom
Foreline pomp	Mechanische pomp\/droge pomp			Droge pomp
Procesdruk	Ongecontroleerde druk\/0-1Torr gecontroleerde druk
Gas type	H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Custom (Tot maximaal 9 kanalen, geen corrosieve & giftige gassen)			H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Tot maximaal 9 kanalen)
Gasbereik	0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/custom
LoadLock	Ja\/Nee			Ja
Voorbeeld temperatuur controle	10°C~Kamertemperatuur/-30°C~100°C/Aangepast			-30°C~100°C /Aangepast
Rug helium koeling	Ja\/Nee			Ja
Proces holte bekleding	Ja\/Nee			Ja
Holte wand temperatuur controle	Nee/Kamertemperatuur~60/120°C			Kamertemperatuur-60/120°C
Besturingssysteem	Automatisch/aangepast
Graveermateriaal	Silicon-gebaseerd: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Magnetische materialen/alloys Metaalmateriaal: Ni/Cr/Al/Au..... Organisch materiaal: PR/PMMA/HDMS/Organisch film......			Silicon-gebaseerd: Si/SiO2/SiNx...... III-V (opmerking 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (opmerking 3): CdTe...... Magnetische materialen/alloys Metaalmateriaal: Ni/Cr/Al/Au...... Organische stof: PR/PMMA/HDMS /organische film...

Echte foto's van laboratoria en fabrieken

Verpakking & Levering

Veelgestelde vragen

1. Over Prijs:
Al onze prijzen zijn concurrerend en onderhandelbaar. De prijs verschilt afhankelijk van de configuratie en de complexiteit van de aanpassingen van uw apparaat.

2. Over Monster:
We kunnen u monsterproductieservices bieden, maar u dient mogelijk enige kosten te dragen.

3. Over Betaling:
Nadat het plan is bevestigd, moet u ons eerst een voorschot betalen, waarna de fabriek begint met het voorbereiden van de goederen. Nadat het apparaat klaar is en u het restantbedrag hebt betaald, zullen we het verzenden.

4. Over Levering:
Nadat de productie van het apparaat is voltooid, sturen we u de acceptatiefilm toe en kunt u ook ter plaatse komen om het apparaat te inspecteren.

5. Installatie en Afstemming:
Na aankomst van de apparatuur in uw fabriek, kunnen we technici uitsturen om de apparatuur te installeren en te testen. We zullen u een apart offerteaanbod verstrekken voor deze servicekosten.

6. Over de garantie:
Onze apparatuur heeft een garantieperiode van 12 maanden. Na de garantieperiode, als er onderdelen beschadigd raken en moeten worden vervangen, zullen we alleen de kostprijs in rekening brengen.

Startpagina

Over ons

MH Uitrusting

Casevideo

Oplossing

Overzeese Gebruikers

Neem contact met ons op

Reactive Ion Etching-systeem (RIE)

Toepassingen:

Reactief ion etchen (RIE)

Hoofdconfiguratie:

RIE Toepasbare Materialen:

RIE Gerelateerde Toepassingen:

Meer producten

Handmatige wafermonteur

Factory Directe Verkoop Hoogwaardige MDG21503NC Volledig Automatische Wafel Slijpmachine

MDG21503NC Volledig automatische schijf slijper

Bureautop Rapide Thermische Verwerking / RTP Systeem

Inquiry

Artikelen

Producten

Neem contact op