MDAM-CMP100/150 precisie slijp- en polijstmachine, de hoofdeenheid en alle onderdelen zijn gemaakt van hoog korrosiebestendige materialen. De hele machine is korrosiebestendig, stabiel, slijtagebestendig en roestvast, geschikt voor chemisch-mechanisch slijpen en polijsten van verschillende halvegeleidermaterialen. De werkruimte is gescheiden van het weergave- en controlegebied en wordt digitaal gecontroleerd met een touchscreen besturingssysteem. Het is CNC gecontroleerd, opslagbaar en herstelbaar.
Het apparaat heeft een timingfunctie, waarmee het continu voor 10 uur kan werken en de snelheid van de poliervlak kan regelen. Het bedieningspaneel is buiten de werkzone geplaatst om te voorkomen dat abrasieve oplossingen op het bedieningspaneel spatten. Alle parameters van de host kunnen worden aangepast via de touchscreen. De procesparameters van de host hebben opslag- en herstelfuncties om de consistentie en herhaalbaarheid van het proces te garanderen. Het wafervoorbeeld wordt door vacuümpompage vastgehouden op de onderkant van de houder, uitgerust met een olievrije vacuüm pomp, en heeft een onafhankelijke anti-terugsuifelfunctie.
Het montage systeem voor horizontale rotatie heeft een zwaai functie, met een zwaai bereik van 0-100% instelbaar. De zwaai amplitude en frequentie snelheid kunnen nauwkeurig ingesteld worden via het controlepaneel. Het montagestuk is uitgerust met een onafhankelijk aandrijfsysteem voor rotatie, met een instelbaar snelheidsbereik van 0-120 toeren per minuut. Deze functionele ontwerpinrichting zorgt ervoor dat de steekproef volledig wordt gepolijst tijdens het schuren en polijsten proces, wat de polijscapaciteit en -efficiëntie van de apparatuur aanzienlijk verbetert.
Het montagestuk is uitgerust met een digitale diktebewakingstabel met een bewakingsnauwkeurigheid van 1 μm. De druk van het montagestuk op de plaatsteekproef is continu instelbaar, met een drukbereik van 0-3,5kg en een nauwkeurigheid van 2g/cm², en is uitgerust met een drukmetingstoestel.
De beweging van de slijp- en polijsschijf wordt aangestuurd door de hoofdaandrijving, en de schijfsnelheid kan worden afgesteld van 0 tot 120 omwentelingen per minuut. Dit snelheidsbereik zorgt effectief voor de juiste snelheid bij het slijpen en polijsten van monsters van materialen met verschillende hardheid en afmeting, waardoor hogere procesindicatoren worden bereikt.
Het vervangen van slijpschijven en polijstschi jven is eenvoudig en snel, met ingebedde schijven die het apparaat in staat stellen snel over te schakelen van het slijpproces naar het polijstproces, waardoor de procesduur sterk wordt verkort. En de slijpschijf is uitgerust met een schijfreparatieblok om ervoor te zorgen dat de slijpschijf een goede vlakheid behoudt.