Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Startpagina
Over Ons
MH Uitrusting
Oplossing
Overzeese Gebruikers
Video
Contacteer Ons
Start> Laboratorium Halbleiderapparatuur
  • Nauwkeurig Slijpen en Polijsten Machine voor Halvgeleidermaterialen
  • Nauwkeurig Slijpen en Polijsten Machine voor Halvgeleidermaterialen
  • Nauwkeurig Slijpen en Polijsten Machine voor Halvgeleidermaterialen
  • Nauwkeurig Slijpen en Polijsten Machine voor Halvgeleidermaterialen
  • Nauwkeurig Slijpen en Polijsten Machine voor Halvgeleidermaterialen
  • Nauwkeurig Slijpen en Polijsten Machine voor Halvgeleidermaterialen
  • Nauwkeurig Slijpen en Polijsten Machine voor Halvgeleidermaterialen
  • Nauwkeurig Slijpen en Polijsten Machine voor Halvgeleidermaterialen
  • Nauwkeurig Slijpen en Polijsten Machine voor Halvgeleidermaterialen
  • Nauwkeurig Slijpen en Polijsten Machine voor Halvgeleidermaterialen

Nauwkeurig Slijpen en Polijsten Machine voor Halvgeleidermaterialen

Productomschrijving

Apparatuuroverzicht:

De MDAM-CMP100/150 slijp- en polijstmachine is een precisieslijp- en polijstapparaat dat toepassingen omvat zoals halfgeleidermaterialen en opto-elektronische materialen. Het wordt voornamelijk gebruikt voor het slijpen en dunner maken van belangrijke halfgeleidermateriaalchips, zoals silicium, siliciumdioxide en indiumantimoniodefocalevlakchips, evenals voor chemisch-mechanische polijstbewerking van de onderzijde, oppervlakte en uiteinden. De gehele installatie en alle onderdelen zijn volledig behandeld tegen corrosie, en procesparameters kunnen worden ingesteld via de touchscreen-interactieve interface.
Wetenschappelijk en redelijk ontwerp, geavanceerde prestaties, hoge graad van automatisering, gebruiksvriendelijke bediening, gemakkelijk onderhoud en sterke betrouwbaarheid. De koppeling van het monsterondergrond, het slijpen en dunner maken, het chemisch-mechanisch polijsten en de verbinding tussen de voor- en nadeetectieprocessen zijn redelijk uitgevoerd, om te garanderen dat de verwerkingsafmetingen van elke functie van de apparatuur consistent zijn. Door verschillende hardware en verbruiksartikelen te configureren, kunnen meerdere machineconfiguraties en procesoplossingen worden gerealiseerd om aan diverse technische eisen te voldoen, zoals verschillende materialen en afmetingen van gebruikers.

Met de snelle ontwikkeling van halvgeleidertechnologie nemen de prestatie- en functionaliteitsvereisten van geïntegreerde schakelingen voortdurend toe. TSV (Through Silicon Via) en TGV (Through Glass Via) technologieën, als geavanceerde verpakkings- en verbindingstechnologieën, kunnen de integratie en prestaties van chips effectief verbeteren. Dit apparaat heeft een uniek procesplan voor de implementatie van TSV/TGV-technologie.

Voordelen van de installatie:

* Onafhankelijk en beweegbaar aanraaksysteem;
* Realiseer chipoppervlaktebewerking en -polijsten, evenals speciale hoekvoorbereiding;
* Kan 100 procesmenus opslaan;
* Eindpuntdetectie EPD-functie;
* Optionele uitbreiding tot 3-kanaal voedersysteem;
* Geschikt voor monstersizes van 6 inch en kleiner.

Apparaatfunctie:

MDAM-CMP100/150 precisie slijp- en polijstmachine, de hoofdeenheid en alle onderdelen zijn gemaakt van hoog korrosiebestendige materialen. De hele machine is korrosiebestendig, stabiel, slijtagebestendig en roestvast, geschikt voor chemisch-mechanisch slijpen en polijsten van verschillende halvegeleidermaterialen. De werkruimte is gescheiden van het weergave- en controlegebied en wordt digitaal gecontroleerd met een touchscreen besturingssysteem. Het is CNC gecontroleerd, opslagbaar en herstelbaar.

Het apparaat heeft een timingfunctie, waarmee het continu voor 10 uur kan werken en de snelheid van de poliervlak kan regelen. Het bedieningspaneel is buiten de werkzone geplaatst om te voorkomen dat abrasieve oplossingen op het bedieningspaneel spatten. Alle parameters van de host kunnen worden aangepast via de touchscreen. De procesparameters van de host hebben opslag- en herstelfuncties om de consistentie en herhaalbaarheid van het proces te garanderen. Het wafervoorbeeld wordt door vacuümpompage vastgehouden op de onderkant van de houder, uitgerust met een olievrije vacuüm pomp, en heeft een onafhankelijke anti-terugsuifelfunctie.

Het montage systeem voor horizontale rotatie heeft een zwaai functie, met een zwaai bereik van 0-100% instelbaar. De zwaai amplitude en frequentie snelheid kunnen nauwkeurig ingesteld worden via het controlepaneel. Het montagestuk is uitgerust met een onafhankelijk aandrijfsysteem voor rotatie, met een instelbaar snelheidsbereik van 0-120 toeren per minuut. Deze functionele ontwerpinrichting zorgt ervoor dat de steekproef volledig wordt gepolijst tijdens het schuren en polijsten proces, wat de polijscapaciteit en -efficiëntie van de apparatuur aanzienlijk verbetert.

Het montagestuk is uitgerust met een digitale diktebewakingstabel met een bewakingsnauwkeurigheid van 1 μm. De druk van het montagestuk op de plaatsteekproef is continu instelbaar, met een drukbereik van 0-3,5kg en een nauwkeurigheid van 2g/cm², en is uitgerust met een drukmetingstoestel.

De beweging van de slijp- en polijsschijf wordt aangestuurd door de hoofdaandrijving, en de schijfsnelheid kan worden afgesteld van 0 tot 120 omwentelingen per minuut. Dit snelheidsbereik zorgt effectief voor de juiste snelheid bij het slijpen en polijsten van monsters van materialen met verschillende hardheid en afmeting, waardoor hogere procesindicatoren worden bereikt.
Het vervangen van slijpschijven en polijstschi jven is eenvoudig en snel, met ingebedde schijven die het apparaat in staat stellen snel over te schakelen van het slijpproces naar het polijstproces, waardoor de procesduur sterk wordt verkort. En de slijpschijf is uitgerust met een schijfreparatieblok om ervoor te zorgen dat de slijpschijf een goede vlakheid behoudt.
Specificatie
Model
MDAM-CMP100
MDAM-CMP150
Wafelgrootte
4 inch en kleiner
6 inch en kleiner
Werkplaat diameter
420 mm
420 mm
Station
≤4
≤2
Voeropening
≤3
Stroomvoorziening
220V, 10A
Tijdstip
0-10h
Omgevings temperatuur
20℃~35℃
Plaatssnelheid
0-120 RPM
Vaste tarief
0-120 RPM
Voorbeeld vastmakingsysteemcomponent
Klem, rolarm
Lappenprocesassembly
Lappplaat, plaatreparatieblok en cilinder
Polijsgprocesassembly
Polijsvloeistofvoedingssysteem en polijsplaat
Detectiecomponent
Testbenchplatform, vlakheidstester, druktestmanometer
Waferlappen- en polijsmateriaalpakket
Lappenpoeder, polijssoplossing, polijsschone lap, was, ontwassingsvloeistof, glazen substraatblad
Veelgestelde vragen
1. Over Prijs:
Al onze prijzen zijn concurrerend en onderhandelbaar. De prijs verschilt afhankelijk van de configuratie en de complexiteit van de aanpassingen van uw apparaat.

2. Over Monster:
We kunnen u monsterproductieservices bieden, maar u dient mogelijk enige kosten te dragen.

3. Over Betaling:
Als het plan is bevestigd, moet u eerst een voorschot betalen en de fabriek begint met het voorbereiden van de goederen. Nadat het
apparaat klaar is en u het restbedrag hebt betaald, zullen we het verzenden.

4. Over Levering:
Nadat de productie van het apparaat is voltooid, sturen we u de acceptatiefilm toe en kunt u ook ter plaatse komen om het apparaat te inspecteren.

5. Installatie en Afstemming:
Na aankomst van de apparatuur in uw fabriek, kunnen we technici uitsturen om de apparatuur te installeren en te testen. We zullen u een apart offerteaanbod verstrekken voor deze servicekosten.

6. Over de garantie:
Onze apparatuur heeft een garantieperiode van 12 maanden. Na de garantieperiode, als er onderdelen beschadigd raken en moeten worden vervangen, zullen we alleen de kostprijs in rekening brengen.

Aanvraag

Aanvraag Email WhatsApp WeChat
Bovenkant
×

NEEM CONTACT OP