 
  
| Model  | MDTS-WT2200  | 
| Aantal dunnermakas  |  2 | 
| Aantal werkbanken  | 3, Indexmethode  | 
| Schuursteenas  | Aantal luchtspindels: 2  Spindelmotor: 7,5kW frequentieremotor Snelheid: 0~6000rpm, stapeloos aanpasbaar Slijpsteenspecificatie: Φ203mm Slijptype: diamantslijpsteen | 
| Slijpsteen voedingsysteem  | Aantal: 2 sets  Voedingsysteem controle methode: LM glijrail en balvijzel combinatie Aandrijfmotor: servomotor Minimale voedsnelheid: 0,1um/sec Maximale voedsnelheid: 50mm/sec | 
| Werkbank    | Hoeveelheid: 3, Indexmodus  Spindelmotor: Servomotor Snelheid: 0~300rpm, staploos regelbaar Adsorptiemethode: Vacuüm adsorptie | 
| Werkbank draaitafel  | Aandrijfmodus: servomotor  Draaiingsbereik: 0~240° Positioneringsvorm: sensorgesteunde positionering | 
| Automatische dikte  meetstelsel | Methode van meten: IPG contact online real-time meting  Aantal meetkoppen: 2 Meetensor: 0,1um niveau sensor | 
| Automatisch laden\/  ontladen systeem | Doos type: 6-8 inch Cassette, 25 lagen  Methode voor automatisch laden\ontladen: wafer manipulator wordt gebruikt om te zorgen dat dunne wafers zonder schade worden vervoerd Waferdikte: 150um-1000um | 
| Schoonmaakfunctie van werkbank  | Schoonmaakmethode: olsteenpolijsten & DI-water + lucht tweestroomspoeling  | 
| Automatische schoonmaak/  drogsysteem | Schoonmaken: DIW-slang schoonmaak  Droogmethode: Blazen + drogen Snelheid: maximaal 1000rpm stapeloos verstelbaar | 
| Statische Eliminatiesysteem  | Ionenbalk of Orion waaier  | 
| Spindelkoeler  | Temperatuur: 18-22°C  Debiet: 4~8L/min | 
| Besturingssysteem    | Besturingssysteem: PC-besturingssysteem, touchscreen met 3-kleurenalarmlicht  Chinees/Engels mens-machineinterface | 
| Maximale plaatdikte  | Maximaal compatibel met 8 inch  | 
| Versnellingsbereik  | 0~6000 RPM  | 
| Z-as verplaatsing    | 160mm  | 
| Z-as voedsnelheid  | 0.1~100um/sec  | 
| Snelheids retractie op Z-as  | 50mm/sec  | 
| Oplossingsvermogen van de Z-as  | 0,1um  | 
| Online diktemeting bereik  | 0~1800um  | 
| Online dikte meetresolutie  | 0,1um  | 


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rechten voorbehouden