Verfijnbare plaat |
Afmetingen |
Inches |
4,5,6,8 |
Wafer cassette |
Nummer |
- |
2 |
Wrijvende manier |
- |
Verticale duikschuurmethode |
|
Schuursteenas |
Typen |
- |
Luchtlijsten |
AANTAL |
- |
2 |
|
Snelheid |
rpm |
0~5000 |
|
Uitgangsvermogen |
KW |
5.5/7.5 |
|
Slagen |
mm |
150 |
|
Voedsnelheid |
um/s |
0.01~100 |
|
Spoed vooruit |
mm/min |
300 |
|
Resolutie |
um |
0.1 |
|
Werkstukas |
Type |
- |
Kogellagers |
AANTAL |
- |
3 |
|
Zuigkop type |
- |
Microporieuze keramiek |
|
Wafer zuigmethode |
- |
Vacuümadsorptie |
|
Snelheid |
rpm |
0~300 |
|
Wafer overdracht |
- |
Robotarm |
|
- |
Draaiende schijf |
||
Andere functies |
Wafer centreren |
- |
Mobiele pinuitlijning |
Wafer reinigen |
- |
Water en lucht reinigen, spin drogen |
|
Zuigbekken reinigen |
- |
Slijpsteen schoonmaak |
|
Slijfsteen |
mm |
φ200 |
|
ONLINE meting |
Meetbereik |
um |
0~1800 |
Resolutie |
um |
0.1 |
|
Herhaalnauwkeurigheid |
um |
±0,5 |
|
Bewerking precies |
Intra-wafer nauwkeurigheid (TTV) |
um |
≤2 |
Tussen-wafer nauwkeurigheid (WTW) |
um |
±3 |
|
Oppervlakshardheid (Ry) |
um |
0.13(2000#finish) |
|
Uiterlijk |
Uiterlijk kleuren |
um |
Oranje patroon |
Afmetingen(B×D×H) |
mm |
1200×2750×1950 |
|
Gewicht |
kg |
4200 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved