Hoogtepunt
Inleiding: Deze apparatuur is een magnetroncoatingapparaat met twee doelen. Het is uitgerust met twee magnetrondoelen en twee sets gelijkstroomvoedingen. Het kan worden gebruikt voor het aanbrengen van meervoudige geleidende metaalfilms. Tegelijkertijd bestaat de apparatuur uit twee delen: de hoofdkamer en de overgangskamer. De overgangskamer is uitgerust met een magnetische duwstang, en er is een vacuümklep geïnstalleerd tussen de twee kamers. De gebruiker kan monsters in de overgangskamer laden en een voorvacuüm creëren terwijl er in de hoofdkamer wordt gesputterd. Nadat het sputterproces in de hoofdkamer is voltooid, kan het monster via de magnetische duwstang in het monsterspulder van de hoofdkamer worden geschoven. Dit ontwerp vermindert het aantal keren dat de hoofdkamer moet worden geëvacueerd en weer op druk gebracht, wat niet alleen effectief tijd bespaart, maar ook een betere lokale vacuümomstandigheid waarborgt en de coatingkwaliteit effectief verbetert.
Toepassing: kan worden gebruikt voor het bereiden van enkel- of meervoudige ferro-elektrische dunne films, geleidende films, legeringsfilms, halfgeleiderfilms, keramische films, diëlektrische films, optische films, enz.