EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Inleiding: Deze apparatuur bestaat voornamelijk uit een vacuümkamer van roestvrij staal, een magnetron-sputterdoos, een verdampingscoatingapparaat, een monsterplaat voor het plaatsen van monsters, een vacuümpompunit, een vacuümmeetinstrument, een luchttoevoersysteem en een besturingssysteem. De hoofdeenheid van de apparatuur wordt bediend via een touchscreen en wordt bewaakt door een temperatuurregelaar. De digitale parameterinterface en de geautomatiseerde bediening bieden gebruikers een uitstekend onderzoek- en ontwikkelingsplatform. De vacuümkamer heeft een onderzijde-doosontwerp en de monsterplaat beschikt over verwarmings- en rotatiefuncties, waardoor het coatingeffect uniformer wordt. Het vacuümhaalsysteem van de apparatuur maakt gebruik van een tweetraps vacuümpompgroep. De voorpomp is een hoogwaardige mechanische pomp, die effectief de tijd verkort van normale druk naar laagvacuüm. De hoofdpomp is een turbomoleculaire pomp met een hoge pompsnelheid en een snellere vacuümhaalsnelheid. Het gehele vacuümhaalsysteem is schoon en snel.
Toepassing: kan worden gebruikt voor het bereiden van enkel- of meervoudige ferro-elektrische dunne films, geleidende films, legeringsfilms, halfgeleiderfilms, keramische films, diëlektrische films, optische films, enz.
