Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Vraag een offerte aan

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Startpagina
Over ons
MH Equipment
Oplossing
Overzeese gebruikers
Video
Contacteer ons
Home> MH Equipment> Sleper en Polijstool
  • Automatische CMP-nachreiniging
  • Automatische CMP-nachreiniging
  • Automatische CMP-nachreiniging
  • Automatische CMP-nachreiniging
  • Automatische CMP-nachreiniging
  • Automatische CMP-nachreiniging
  • Automatische CMP-nachreiniging
  • Automatische CMP-nachreiniging
  • Automatische CMP-nachreiniging
  • Automatische CMP-nachreiniging
  • Automatische CMP-nachreiniging
  • Automatische CMP-nachreiniging

Automatische CMP-nachreiniging

Vraag een gratis offerte aan
Productomschrijving

Reinigingsapparatuur na Wafer Chemische Mechanische Polishing

CMP Post Chean

Kenmerken van de machine

Sterke procescapaciteit
Dubbele kamerverfijning, met een breed scala aan procesgeschiktheid
Het apparaat neemt weinig ruimte in, met afmetingen van 2200 * 800 * 2200 (mm)

Toepassingsvelden

6-8 inch CMP na verfijning
Schoonmaken na slijpen van SIC of andere materialen

Technische parameters

Schoonmaken na 4-inch en 6-inch CMP
Dubbelkamerontwerp, onafhankelijke kameraloperatie Nat in en droog uit of droog in en droog uit
Hoge snelheid draaien drogen SRD

LoadPort-eenheid, laadeenheid

LoadPort is de laadeenheid van deze apparatuur
Natte cassettevoeding
Heeft spuitbevochtigingsfunctie

Borstel-eenheid, Wafer-schoonmaakeenheid

Dubbelkamereenheid, in staat om twee verschillende reinigingsoplossingen te ondersteunen
De borstelpositie kan worden aangepast volgens het receptBelt Conveyor

SRD-eenheid, Wafer droogeenheid

Wafer klemtype draaiend drogen, met een maximale snelheid van 4000TPM
Kan AS-schoonmaak uitvoeren op de waferoppervlakte en DIW spuiten

UNLOAD-eenheid, snijeenheid

De UnLoad-eenheid heeft een onafhankelijke FFU om de reinheid van de waferuitkomst te garanderen

Transportband

Natte zone is bandconveyor
Droge zone voor Robot teleportatie

Beschrijving borsteleenheid

Zoals weergegeven in het linker figuur bestaat de borstel-eenheid van dit apparaat uit twee borstelingeenheden, namelijk BU1 BU2.
De borsteldruk van elk onderdeel kan apart worden aangepast (zoals opgegeven in het recept), en elk borstelbladonderdeel kan apart worden gewassen met verschillende chemische reinigingsoplossingen.
De borstel van de machine is een PVA-borstel, een veelgebruikt type op de markt.
De overbrenging tussen de kamers is een riemconveyor. Er is een DIW RINSE binnenin de kamer.

SRD-eenheid

De SRD-eenheid is uitgerust met een klem CHUCK en een AS ARM, waarmee de oppervlakte van de plaat verder fysiek kan worden gereinigd en gedroogd door te draaien.
Specificatie
Afmeting van de apparatuur:
2200 * 800 * 2200 (mm)
Laden- en lossingsmethoden
droog in/vochtig in/droog uit
Aantal borstelenheden
2
Aantal SRD-eenheden
1
Vervoermethode
Natte zone riemtransport, droge zone robottransport
De afmetingen van de installatie met een borstelkamer van 1 zijn 1850 * 800 * 2200
Verpakking & Levering
Bedrijfsprofiel
Veelgestelde vragen
1. Over Prijs:
Al onze prijzen zijn concurrerend en onderhandelbaar. De prijs verschilt afhankelijk van de configuratie en de complexiteit van de aanpassingen van uw apparaat.

2. Over Monster:
We kunnen u monsterproductieservices bieden, maar u dient mogelijk enige kosten te dragen.

3. Over Betaling:
Als het plan is bevestigd, moet u eerst een voorschot betalen en de fabriek begint met het voorbereiden van de goederen. Nadat het
apparaat klaar is en u het restbedrag hebt betaald, zullen we het verzenden.

4. Over Levering:
Nadat de productie van het apparaat is voltooid, sturen we u de acceptatiefilm toe en kunt u ook ter plaatse komen om het apparaat te inspecteren.

5. Installatie en Afstemming:
Na aankomst van de apparatuur in uw fabriek, kunnen we technici uitsturen om de apparatuur te installeren en te testen. We zullen u een apart offerteaanbod verstrekken voor deze servicekosten.

6. Over de garantie:

Onze apparatuur heeft een garantieperiode van 12 maanden. Na de garantieperiode, als er onderdelen beschadigd raken en moeten worden vervangen, zullen we alleen de kostprijs in rekening brengen.

Meer producten

Navraag

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Privacybeleid

Navraag Email WhatsApp WeChat
Top
×

Neem contact op