Precisie-CMP-systeem

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Precisie-CMP-systeem

Apparatuuroverzicht:

Het precisie-CMP-systeem wordt voornamelijk gebruikt voor het slijpen en dunner maken van belangrijke halfgeleiderchips, zoals silicium-, siliciumdioxide- en indiumantimoniode-focusvlakchips, en voor chemisch-mechanisch polijsten van de onderzijde, oppervlakte en eindvlak.

De gehele machine en alle onderdelen van de apparatuur zijn volledig corrosiebestendig, en de procesparameters kunnen worden ingesteld via de touchscreen-interactieve interface.

Verwerkbaar monsterformaat:

Monsterformaat ≤ 152 mm / 6 inch

Verwerkbaar diktebereik: 50 μm tot 10 mm

Bereikbare procesindicatoren:

1. De totale dikteafwijking (TTV) van een φ75 mm wafer bedraagt minder dan 2 μm;

2. De totale dikteafwijking (TTV) van een φ100 mm wafer bedraagt minder dan 3 μm;

3. De totale dikteafwijking (TTV) van een φ150 mm wafer bedraagt minder dan 4 μm.

Soorten monsters die kunnen worden verwerkt:

Silicium, siliciumcarbide, diamant, keramiek, galliumnitride, kwarts, galliumantimoniode, indiumfosfide, galliumarsenide, cadmiumzinktelluride, kwikcadmiumtelluride, lithiumniobaat en andere halfgeleidermaterialen.

Uitrustingskenmerken:

1. Realisatie van de eindpuntdetectiefunctie voor het regelen van de monsterdikte.

2. Online real-time temperatuurregeling en koelfunctie voor het slijp- en polijstplaat.

3. Meerkanaals toevoersysteem.

4. Automatische spoelfunctie voor het slijp- en polijstplaat.

5. Automatische plaatreparatiefunctie.

6. De spanvorment is uitgerust met een digitale diktemonitoringstafel met een monitoringsnauwkeurigheid van 0,1 μm.

Technische parameters:

Apparaatconfiguratie:

Veelgestelde vragen

1. Over Prijs:

Al onze prijzen zijn concurrerend en onderhandelbaar. De prijs verschilt afhankelijk van de configuratie en de complexiteit van de aanpassingen van uw apparaat.

2. Over Monster:

We kunnen u monsterproductieservices bieden, maar u dient mogelijk enige kosten te dragen.

3. Over Betaling:

Nadat het plan is bevestigd, moet u ons eerst een voorschot betalen, waarna de fabriek begint met het voorbereiden van de goederen. Nadat het apparaat klaar is en u het restantbedrag hebt betaald, zullen we het verzenden.

4. Over Levering:

Nadat de productie van het apparaat is voltooid, sturen we u de acceptatiefilm toe en kunt u ook ter plaatse komen om het apparaat te inspecteren.

5. Installatie en Afstemming:

Na aankomst van de apparatuur in uw fabriek, kunnen we technici uitsturen om de apparatuur te installeren en te testen. We zullen u een apart offerteaanbod verstrekken voor deze servicekosten.

6. Over de garantie:

Onze apparatuur heeft een garantieperiode van 12 maanden. Na de garantieperiode, als er onderdelen beschadigd raken en moeten worden vervangen, zullen we alleen de kostprijs in rekening brengen.

7. Klantenservice:

Alle machines hebben een garantieperiode van meer dan één jaar. Onze technische ingenieurs staan altijd online om u te voorzien van installatie-, opstart- en onderhoudsdiensten voor apparatuur. Wij kunnen installatie- en opstartdiensten ter plaatse bieden voor speciale en grote apparatuur.