MDZY-DMD-MLL200 DMD Maskerloze Lithografie Machine , China MDZY-DMD-MLL200 DMD Maskerloze Lithografie Machine Manufacturers, Suppliers, Factory

Productomschrijving

MDZY-DMD-MLL200
DMD Maskerloze Lithografie Machine

De MDZY-DMD-MLL200 is een maskerloze lithografiemachine gebaseerd op DMD-technologie (Digital Micromirror Device). Door traditionele maskers te vervangen door een DMD, biedt deze machine snelle en flexibele ontwerpmogelijkheden voor lithografische patronen, met ondersteuning voor 2D- en 8-bits grijswaardenlithografie. De machine voldoet aan eisen voor micrometer-schaal lithografie en wordt breed toegepast in diverse gebieden zoals MEMS en microfluidica.

Kenmerken

1. Compacte desktopuitvoering
2. Hoogwaardige, hooguniforme LED-belichtingsbron
3. Groene lichtgeleide belichting
4. Automatische beeldscherpstelling met behulp van een CCD-camera
5. Lineaire motorstage met hoge precisie
6. Gebruiksvriendelijke software-interface

Parameters

UV-lichtbron midden golflengte	405nm
Belichtingsuniformiteit	Meer dan 90%
Minimale kenmerklijnbreedte	0,5 µm
Belichtingsgebied voor enkele doorgang schrijfgebied	0,16*0,16 mm (@0,5 µm)
Schrijfsnelheid	80 mm²/min (1 µm lijnbreedte)
Ondersteunde afbeeldingsformaten	DXF, GDS, bmp, png, etc.

Configuratie

Configuratie	Basisversie	Professionele versie
Lichtbron	Hoogvermogen LED: 405 nm
DMD-chip	DLP6500
Enkelvoudig belichtingsgebied	0,160,16 mm (@0,5 µm), 0,40,4 mm (@0,7 µm), 0,80,8 mm (@1 µm), 1,61,6 mm (@2 µm)
CAMERA	Microscoopcamera voor groot oppervlak (ondersteunt afmetingenmeting)
Minimale evenwijdige lijnbreedte	0,8 µm	0.5μm
Samenvoegingsnauwkeurigheid	±0,3 µm	±0,3 µm
Overlaynauwkeurigheid	±0,5 µm	±0,5 μm
Schrijfsnelheid	20 mm²/min (1 µm structuurlijnbreedte)	80 mm²/min (1 µm structuurlijnbreedte)
Bewegingsfase	Hoge-nauwkeurigheids lineaire motor (herhaalbare positioneringsnauwkeurigheid ±0,25 µm), nivelleringsmechanisme, handmatig roterend stadium	Hoge-nauwkeurigheids lineaire motor (herhaalbare positioneringsnauwkeurigheid ±0,25 µm), nivelleringsmechanisme, elektrisch roterend stadium
Objectieflenswisselaar	Handmatige objectieflensschakeling	Gemotoriseerde objectieflensschakeling
Focusmodule	CCD-beeldautofocus	Laseractieve focus
Ondersteunde waferformaten	4 centimeter	4-inch/8-inch
Dikte van het monster	0-10mm	0-10 mm

Toegang tot de werkzaamheden

Microfluïdisch chip

DMD UV-lithografie voor overlay-functionaliteit

Tellerium nanorasteretsen gevolgd door elektrode-overlay

Grijstonslithografie van Fresnel-lenzen, 3D grijstonslithografie voor Fresnel-lenzen, met continue trapsgewijze veranderingen in het dwarsdoorsnedebeeld van de rasterelektronenmicroscoop.

Tweedimensionale materiaalelektroden, tweedimensionale materiaalelektroden na verdamping en lift-off, verdampte elektroden zijn Ti/Au/Ti (totaal 12 nm)

Gecombineerde DMD UV- en elektronenstraallithografie

Software

Gebruikers kunnen alle lithografiebewerkingen uitvoeren vanaf de hoofdinterface zonder dat er pop-upvensters verschijnen.

Afbeeldingsbijsnijmodule:

Bevat functies zoals aangepast bijsnijden, automatisch vullen, kleurinversie en anti-aliasing.

Objectbinding:

Gebruikers kunnen objectbindingen instellen op elke locatie op het oppervlak van het monster en tegelijkertijd een voorbeeld weergeven van de overeenkomst tussen elk deelbeeld in het volledige beeldveld en het monsteroppervlak, waardoor een nauwkeurige overlapping mogelijk is.

In-situ-tekenfunctie:

Grafische elementen kunnen direct op de microscopische afbeelding worden getekend en op het monster worden geprojecteerd om in-situ fotolithografie te realiseren.

Uitrusting Echte Shoots

Verpakking & Levering

Bedrijfsprofiel

Sinds 2014 is Minder-Hightech verkoope en servicevertegenwoordiger in de industrie van halfgeleider- en elektronische productieapparatuur. Wij streven ernaar om klanten Superior, Reliable en One-Stop Solutions te bieden voor machinale apparatuur. Tot op de dag van vandaag zijn onze producten verspreid naar de belangrijkste geïndustrialiseerde landen wereldwijd, en helpen we klanten om hun efficiëntie te verbeteren, kosten te verlagen en de kwaliteit van hun producten te verbeteren.

Veelgestelde vragen

1. Over Prijs:
Al onze prijzen zijn concurrerend en onderhandelbaar. De prijs verschilt afhankelijk van de configuratie en de complexiteit van de aanpassingen van uw apparaat.

2. Over Monster:
We kunnen u monsterproductieservices bieden, maar u dient mogelijk enige kosten te dragen.

3. Over betaling:
Nadat het plan is bevestigd, moet u ons eerst een voorschot betalen, waarna de fabriek begint met het voorbereiden van de goederen. Nadat het apparaat klaar is en u het restantbedrag hebt betaald, zullen we het verzenden.

4. Over Levering:
Nadat de productie van het apparaat is voltooid, sturen we u de acceptatiefilm toe en kunt u ook ter plaatse komen om het apparaat te inspecteren.

5. Installatie en Afstemming:
Na aankomst van de apparatuur in uw fabriek, kunnen we technici uitsturen om de apparatuur te installeren en te testen. We zullen u een apart offerteaanbod verstrekken voor deze servicekosten.

6. Over de garantie:
Onze apparatuur heeft een garantieperiode van 12 maanden. Na de garantieperiode, als er onderdelen beschadigd raken en moeten worden vervangen, zullen we alleen de kostprijs in rekening brengen.

7. Klantenservice:
Alle machines hebben een garantieperiode van meer dan één jaar. Onze technische ingenieurs staan altijd online om u te voorzien van installatie-, opstart- en onderhoudsdiensten voor apparatuur. Wij kunnen installatie- en opstartdiensten ter plaatse bieden voor speciale en grote apparatuur.

Startpagina

Over Ons

MH Uitrusting

Oplossing

Overzeese Gebruikers

Video

Neem Contact Op

MDZY-DMD-MLL200 DMD Maskerloze Lithografie Machine