Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Offerte aanvragen

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Startpagina
Over Ons
MH Uitrusting
Oplossing
Overzeese Gebruikers
Video
Contacteer Ons
Start> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Volledig automatische ICP etching machine
  • MDICP-5000F Volledig automatische ICP etching machine
  • MDICP-5000F Volledig automatische ICP etching machine
  • MDICP-5000F Volledig automatische ICP etching machine

MDICP-5000F Volledig automatische ICP etching machine

Model: MDICP-5000F

Vraag een gratis offerte aan
MDICP-5000F Volledig automatische ICP etching machine
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Executive Summary:

Het apparaat is een tweekamer vacuüm systeem. Een kamer is de injectiesampleerkamer en de andere is de etchingskamer. Er is een vacuümslot tussen de injectiesampleerkamer en de etchingskamer geïnstalleerd, en het injectiesampling wordt door een manipulator vervoerd.
De apparatuur bestaat voornamelijk uit een vacuüm systeem, gas circuit systeem, elektrisch systeem, controle systeem, koeling systeem, filmvoer- en afname mechanisme, alarm systeem, enz.

Vacuümsysteem:

Het systeem bestaat uit een molecuulpomp met een stroom van 600 L/S + een geïmporteerd vacuümdroge pomp met een stroom van L/S om de etcherkamer te pompen naar een hoge vacuüm. Er is een elektrische dynamische drukregelklep geïnstalleerd tussen de molecuulpomp en de etcherkamer. De geïmporteerde droge pomp is de voorpomp van de etcherkamer en de voetpomp van de molecuulpomp. Gebruik een andere mechanische pomp met een stroom van L/S om de steekproefkamer te evacueren. Verbindingsmaterialen tussen de mechanische pomp en de vacuümkamer en molecuulpomp zijn roestvrijstalen slang, en er is een elektromagnetische pneumatische blokklep geïnstalleerd.

Constante druk controle systeem

De installatie is uitgerust met een benedoorstroomd constante drukregelsysteem, en er is een elektrisch verstelbare klep in de luchtafvoerpijplijn geïnstalleerd. Door middel van de meting van de film dikte meter (geïmporteerde onderdelen), wordt de verstelbare klep gereguleerd om de vacuümruimte op constante druk te laten bereiken, waardoor de processtabiliteit verbetert.

Constante druk controle systeem

De installatie is uitgerust met een benedoorstroomd constante drukregelsysteem, en er is een elektrisch verstelbare klep in de luchtafvoerpijplijn geïnstalleerd. Door middel van de meting van de film dikte meter (geïmporteerde onderdelen), wordt de verstelbare klep gereguleerd om de vacuümruimte op constante druk te laten bereiken, waardoor de processtabiliteit verbetert.

Gas Circuitsysteem

Twee sets RF-voeding met automatische afstemming.

Alarm systeem

Veiligheidsvereisten voor apparatuur.
Specificatie
Naam
SPC
Merk
Nr.\/Stuk
Opmerking
Etchercel, luchtafvoerpijplijn, observatieramen, gereserveerde interface, etc.
Standaard
JSWN
1
Corrosiebestendig
Rama, elektrisch kastje, sluitingen, normonderdelen, etc.
Standaard
JSWN
1
Systeem voor het optillen van de etcherceldeksel
Standaard
JSWN
1
Corrosiebestendig
Graveringselectrode en koelsysteem
Standaard
JSWN
1
Corrosiebestendig
Moleculaire pomp (pompsnelheid 600 L / s)
FF620/150
KYKY
1
Corrosiebestendig
Inlaat droge pomp (pompsnelheid 9 L / s)
XDS-35I
Edwards
1
Corrosiebestendig
Mechanische pomp (pompsnelheid 9 L / s)
TRP-36
BWVAC
1
Elektrische regelende sluisklep
DCQ-150
JSWN
1
Corrosiebestendig
Pneumatische membrane sluitklep
KF40
JSWN
3
Corrosiebestendig
Filmmanometer
KF16
INFICON
1
Corrosiebestendig
Massavloercontroller
D07
Sevenstar
4
Corrosiebestendig
Pneumatische membrainklep
1/4'' VCR
-
4
Corrosiebestendig
Roestvrijstalen buis, buisverbinding, etc.
1/4'' VCR
-
4
Corrosiebestendig
RF voeding / automatische matcher
-
China(OptionalCROWN1310)
1
RF voeding / automatische matcher
-
China(OptionalCROWN1310)
1
Composit vacuümmeetinstrument
ZDF
RB
1
IPC
2U
China
1
LCD aanraakscherm
17 inch.
China
1
PLC-besturingssysteem
S7-200
Siemens
1
Elektrische aandrijving controle systeem
Standaard
JSWN
1
Koelwaterdetectie en leidingstelsel
Standaard
JSWN
1
Gecomprimeerde luchtdetectie en leidingstelsel
Standaard
JSWN
1
Koelende circulerende watermachine
Hx
China
1
Etcher injectie kamer
Standaard
JSWN
1
Vacuüm sluis
SMC
SMC
1
Manipulator besturingssysteem
SMC
SMC
1

Mail technische parameter

1. Limiet vacuüm: Etcher kamer 9.0×10-5Pa (Binnenluchtvochtigheid≤55%)
Injectie monstersamplingkamer 6.0×10-1Pa
2. Etcher materiaal: Ⅲ, Ⅴ Materiaal, Si, SiO2, etc.
3. Etch snelheid: ~ 1μ/min
4. Etch uniformiteit: ≤±5％(φ125mm bereik)
6. Electrode grootte: φ200mm

Veelgestelde vragen

1. Over Prijs:

Al onze prijzen zijn concurrerend en onderhandelbaar. De prijs verschilt afhankelijk van de configuratie en de complexiteit van de aanpassingen van uw apparaat.

 

2. Over Monster:

We kunnen u monsterproductieservices bieden, maar u dient mogelijk enige kosten te dragen.

 

3. Over Betaling:

Nadat het plan is bevestigd, moet u ons eerst een voorschot betalen, waarna de fabriek begint met het voorbereiden van de goederen. Nadat het apparaat klaar is en u het restantbedrag hebt betaald, zullen we het verzenden.

 

4. Over Levering:

Nadat de productie van het apparaat is voltooid, sturen we u de acceptatiefilm toe en kunt u ook ter plaatse komen om het apparaat te inspecteren.

 

5. Installatie en Afstemming:

Na aankomst van de apparatuur in uw fabriek, kunnen we technici uitsturen om de apparatuur te installeren en te testen. We zullen u een apart offerteaanbod verstrekken voor deze servicekosten.

 

6. Over de garantie:

Onze apparatuur heeft een garantieperiode van 12 maanden. Na de garantieperiode, als er onderdelen beschadigd raken en moeten worden vervangen, zullen we alleen de kostprijs in rekening brengen.

 

7. Klantenservice:

Alle machines hebben een garantieperiode van meer dan één jaar. Onze technische ingenieurs staan altijd online om u te voorzien van installatie-, opstart- en onderhoudsdiensten voor apparatuur. Wij kunnen installatie- en opstartdiensten ter plaatse bieden voor speciale en grote apparatuur.

Meer producten

Aanvraag

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rechten voorbehouden

Privacybeleid

Aanvraag Email WhatsApp WeChat
Bovenkant
×

NEEM CONTACT OP