Toepassingen:
1. Roosteretsen: wordt gebruikt voor 3D-beeldschermen, micro-optische apparaten, optoelektronica, enz.;
2. Etsen van halfgeleidersamenstellingen: wordt gebruikt voor LED's, lasers, optische communicatie, enz.;
3. Patroonvormende saffierondergrond (PSS);
4. Niobiumlietsets (LiNO3): detectoren, optoelektronica;
Inductief gekoppelde reactieve ionenetching technologie is een type RIE. Deze technologie bereikt ontkoppeling van plasma-ionendichtheid en ionenergie door onafhankelijk de ionestroom te beheren, waardoor de controle nauwkeurigheid en flexibiliteit van het etsproces wordt verbeterd.
De producten van de hoog-dense inductief gekoppelde reactieve ioneneturing (ICP-RIE) serie zijn gebaseerd op inductief gekoppelde plasmatechnologie en zijn gericht op fijne etsing en etsbehoeften van halfgeleiders. Het biedt uitstekende processtabiliteit en procesreproduceerbaarheid en is geschikt voor toepassingen in siliciumhalfgeleiders, optoelektronica, informatietechnologie en communicatie, vermogenselektronica en microgolfapparatuur.
Toepasbare materialen:
1. Siliciumgebaseerde materialen: silicium (Si), siliciumdioxide (SiO2), siliciumnitride (SiNx), siliciumcarbide (SiC)...
2. III-V materialen: indiumfosfide (InP), galliumarsenide (GaAs), galliumnitride (GaN)...
3. II-VI materialen: cadmiumtelluride (CdTe)...
4. Magnetische materialen/leggermaterialen
5. Metalen materialen: aluminium (Al), goud (Au), wolfraam (W), titaan (Ti), tantalum (Ta)...
6. Organische materialen: fotolak (PR), organische polymeren (PMMA/HDMS), organische dunne films...
7. Ferro-elektrische/foto-elektrische materialen: lithiumniobaat (LiNbO3)...
8. Diëlectrische materialen: saffier (Al2O3), kwarts...
Toepassingen:
1. Roosteretsen: wordt gebruikt voor 3D-beeldschermen, micro-optische apparaten, optoelektronica, enz.;
2. Etsen van halfgeleidersamenstellingen: wordt gebruikt voor LED's, lasers, optische communicatie, enz.;
3. Patroonvormende saffierondergrond (PSS);
4. Niobiumlietsets (LiNO3): detectoren, optoelektronica;
Procesresultaat
Onderdeel |
MD150S-ICP |
MD200S-ICP |
MD150CS-ICP |
MD200CS-ICP |
MD300C-ICP |
||||
Productgrootte |
≤6 inch |
≤8 inch |
≤6 inch |
≤8 inch |
Aangepast≥12inch |
||||
SRF Voeding |
0~1000W/2000W/3000W/5000W Aanpasbaar, automatisch matchen\,13.56MHz/27MHz |
||||||||
BRF Voeding |
0~300W/0~500W/0~1000WAanpasbaar, automatisch matchen,2MHz/13.56MHz |
||||||||
Moleculaire pomp |
Niet corrosief : 600/1300 (L/s) /Aangepast |
Corrosiebestendig:600/1300 (L./s)/Aangepast |
600/1300(L/s) /Aangepast |
||||||
Foreline pomp |
Mechanische pomp / droge pomp |
Anticorrosie droge pomp |
Mechanische pomp / droge pomp |
||||||
Voorpomp |
Mechanische pomp / droge pomp |
Mechanische pomp / droge pomp |
|||||||
Procesdruk |
Ongecontroleerde druk / 0-0.1 / 1 / 10Torr gecontroleerde druk |
||||||||
Gas type |
H2 / CH4 / O2 / N2 / Ar / SF6 / CF4 / CHF3 / C4F8 / NF3 / NH3 / C2F6 / Aangepast (Tot maximaal 12 kanalen, geen corrosieve & giftige gassen) |
H2 / CH4 / O2 / N2 / Ar / SF6 / CF4 / CHF3 / C4F8 / NF3 / NH3 / C2F6 / Cl2 / BCl3 / HBr / Aangepast (Tot maximaal 12 kanalen) |
|||||||
Gasbereik |
0~5sccm / 50sccm / 100sccm / 200sccm / 300sccm / 500sccm / 1000sccm / Aangepast |
||||||||
LoadLock |
Ja\/Nee |
Ja |
|||||||
Voorbeeld temperatuur controle |
10°C~Kamertemperatuur/ -30°C~150°C /Aangepast |
-30°C~200°C/Aangepast |
|||||||
Rug helium koeling |
Ja\/Nee |
Ja |
|||||||
Proces holte bekleding |
Ja\/Nee |
Ja |
|||||||
Holte wand temperatuur controle |
Nee/Kamertemperatuur-60/120°C |
Kamertemperatuur~60/120°C |
|||||||
Besturingssysteem |
Automatisch/aangepast |
||||||||
Graveermateriaal |
Siliconbasis: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Organische materialen: PR/Organisch film...... |
Siliconbasis: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Magnetisch materiaal / legeringmateriaal Metaalmaterialen: Ni/Cr/Al/Cu/Au... Organische materialen: PR/Organische film...... Diepe silicium-etchen |
|||||||
Veelgestelde vragen
1. Over Prijs:
Al onze prijzen zijn concurrerend en onderhandelbaar. De prijs verschilt afhankelijk van de configuratie en de complexiteit van de aanpassingen van uw apparaat.
2. Over Monster:
We kunnen u monsterproductieservices bieden, maar u dient mogelijk enige kosten te dragen.
3. Over Betaling:
Nadat het plan is bevestigd, moet u ons eerst een voorschot betalen, waarna de fabriek begint met het voorbereiden van de goederen. Nadat het apparaat klaar is en u het restantbedrag hebt betaald, zullen we het verzenden.
4. Over Levering:
Nadat de productie van het apparaat is voltooid, sturen we u de acceptatiefilm toe en kunt u ook ter plaatse komen om het apparaat te inspecteren.
5. Installatie en Afstemming:
Na aankomst van de apparatuur in uw fabriek, kunnen we technici uitsturen om de apparatuur te installeren en te testen. We zullen u een apart offerteaanbod verstrekken voor deze servicekosten.
6. Over de garantie:
Onze apparatuur heeft een garantieperiode van 12 maanden. Na de garantieperiode, als er onderdelen beschadigd raken en moeten worden vervangen, zullen we alleen de kostprijs in rekening brengen.
7. Klantenservice:
Alle machines hebben een garantieperiode van meer dan één jaar. Onze technische ingenieurs staan altijd online om u te voorzien van installatie-, opstart- en onderhoudsdiensten voor apparatuur. Wij kunnen installatie- en opstartdiensten ter plaatse bieden voor speciale en grote apparatuur.
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rechten voorbehouden
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
