Model: MDST-6100
De ICP-droge plasma-asher is geschikt voor toepassingen zoals descumming (voorbehandeling en restantenverwijdering), polymeerverwijdering (PI, BCB, PBO) en verwijdering van fotolak na ionenimplantatie; de kamer is geschikt voor 8-inch monsters (met compatibiliteit voor 4-inch en 6-inch formaten).
ICP-droogplasma-fotolakverwijderaar
De ICP-droge plasma-asher is geschikt voor toepassingen zoals descumming (voorbehandeling en restantenverwijdering), polymeerverwijdering (PI, BCB, PBO) en verwijdering van fotolak na ionenimplantatie; de kamer is geschikt voor 8-inch monsters (met compatibiliteit voor 4-inch en 6-inch formaten).
Het uiterlijk van de apparatuur ondergaat voortdurend upgrades en aanpassingen; het daadwerkelijk geleverde product is doorslaggevend.
Voordeel:
Hoge mate van plasma-ionisatie en -ontleding
Na plasma-behandeling is de reproduceerbaarheid hoog
Droog etsen, geen vervuilingsbron
Regel druk en temperatuur via vlinderventilen
Kan plasma bij hoge druk handhaven
Scheiding van de hoogspanningsbron en de ionengenerator
Microgolfkoppeling en magnetisch circuit zijn compatibel
Kan voldoen aan de eisen van de klant
Lage temperatuur tijdens de verwerking
Snelle reactiesnelheid en korte reactietijd
Model |
MDST6100 |
Plasmabron |
radiofrequentie |
vermogen |
1000W |
Toepassingsgebied |
8 inch (compatibel met 4 of 6 inch) |
Doosgrootte |
25 Stukken |
Totale afmetingen |
L1696xB2170xH2146 mm |
Systeemcontrole |
PLC's |
Materiaaldoossysteem |
Automatisch |
Werkelijke foto's van de apparatuur:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rechten voorbehouden
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
