Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Offerte aanvragen

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Homepage
Over Ons
MH Uitrusting
Oplossing
Overzeese Gebruikers
Video
Neem contact met ons op
Start> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Materiaal etsen Ablagingsreactie Ionenetsmachine RIE
  • Materiaal etsen Ablagingsreactie Ionenetsmachine RIE
  • Materiaal etsen Ablagingsreactie Ionenetsmachine RIE
  • Materiaal etsen Ablagingsreactie Ionenetsmachine RIE
  • Materiaal etsen Ablagingsreactie Ionenetsmachine RIE
  • Materiaal etsen Ablagingsreactie Ionenetsmachine RIE
  • Materiaal etsen Ablagingsreactie Ionenetsmachine RIE
  • Materiaal etsen Ablagingsreactie Ionenetsmachine RIE
  • Materiaal etsen Ablagingsreactie Ionenetsmachine RIE
  • Materiaal etsen Ablagingsreactie Ionenetsmachine RIE
  • Materiaal etsen Ablagingsreactie Ionenetsmachine RIE
  • Materiaal etsen Ablagingsreactie Ionenetsmachine RIE

Materiaal etsen Ablagingsreactie Ionenetsmachine RIE

Vraag een gratis offerte aan
Productomschrijving

RIE Reactieve ionenetsingsmachine

De onderzoekstoepassingen van RIE-reactieve ionenetsingsmachines in de halfgeleiderproductie en micro-nano-bewerkingsgebieden komen voornamelijk tot uiting in de bewerking van nanoschaalstructuren, het etsen van nieuwe materialen, de fabricage van complexe apparaten en technologische doorbraken op het gebied van interdisciplinaire technologie. De kernwaarde hiervan ligt in het behalen van een hoge precisie en selectiviteit bij het verwijderen van materialen door gecontroleerde coördinatie van fysische bombardementen en chemische reacties. Ondersteunt de verkenning van de grenzen van halfgeleidertechnologie en de innovatie van apparaten.

Uitrustingskenmerken:

1. Hoge precisie en anisotropie: Kan patronen etsen met steile zijwanden en nauwkeurige afmetingen.
2. Goede uniformiteit en reproduceerbaarheid: geschikt voor grootschalige productie.
3. Breed toepasbaar materiaal: Door het kiezen van verschillende gascombinaties, kunnen diverse materialen (halfgeleiders, dielektrica, metalen, enz.) worden geëtst.
4. Hoge selectiviteitsverhouding: Het kan specifieke materialen nauwkeurig etsen zonder aanzienlijke schade aan andere materialen toe te brengen.
5. Reiniging: Droogproces, waardoor problemen zoals reiniging en afvalwaterbehandeling door nat etsen worden vermeden.
Specificatie
Systeemconfiguratie:
Elektrische verwarming
Kamer (Enkele holte)
N.v.t.
Onderste elektrodetype
242mm
Proces temperatuur bereik
-20-100°C
Plasmabron
600W-1000W
Procesdrukmeetinstrument grootte
100mtorr
Vacuümsysteem
Molecuumpompunits, droogpompsystemen, proceskamer
Het aantal etskamers
Enkelvoudige caviteit
Andere, met een gewicht van niet meer dan 30 kg
Type
Grootte/mm
Materiaal
N.v.t.
8、6、4、3、2
Eindpuntdetector
Optie
Inductief gekoppelde plasma
Optie
Technische specificaties:
Graveermateriaal
Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Etsnelheid
>20 nm/min (SiO2-materiaal) De snelheden van verschillende materialen zijn niet hetzelfde
Gedistribueerde besturing
>85°
Laadmethode
Open lading
Gasleiding geregeld door MFC
Er zijn zes gastanks beschikbaar
Koeloptie voor de achterzijde met helium
Ja
Mens-machine interface
Bediening via touchscreen
Bedrijfsmodus
Volledig automatische modus, niet-volledig automatische modus
Selectie en configuratie van automatische apparaten
U kunt kiezen tussen geïmporteerde of binnenlandse onderdelen
Toegang tot de werkzaamheden
Verpakking & Levering
Bedrijfsprofiel
Sinds 2014 is Minder-Hightech verkoope en servicevertegenwoordiger in de industrie van halfgeleider- en elektronische productieapparatuur. Wij streven ernaar om klanten Superior, Reliable en One-Stop Solutions te bieden voor machinale apparatuur. Tot op de dag van vandaag zijn onze producten verspreid naar de belangrijkste geïndustrialiseerde landen wereldwijd, en helpen we klanten om hun efficiëntie te verbeteren, kosten te verlagen en de kwaliteit van hun producten te verbeteren.
Veelgestelde vragen
1. Over Prijs:
Al onze prijzen zijn concurrerend en onderhandelbaar. De prijs verschilt afhankelijk van de configuratie en de complexiteit van de aanpassingen van uw apparaat.

2. Over Monster:
We kunnen u monsterproductieservices bieden, maar u dient mogelijk enige kosten te dragen.

3. Over betaling:
Nadat het plan is bevestigd, moet u ons eerst een voorschot betalen, waarna de fabriek begint met het voorbereiden van de goederen. Nadat het apparaat klaar is en u het restantbedrag hebt betaald, zullen we het verzenden.

4. Over Levering:
Nadat de productie van het apparaat is voltooid, sturen we u de acceptatiefilm toe en kunt u ook ter plaatse komen om het apparaat te inspecteren.

5. Installatie en Afstemming:
Na aankomst van de apparatuur in uw fabriek, kunnen we technici uitsturen om de apparatuur te installeren en te testen. We zullen u een apart offerteaanbod verstrekken voor deze servicekosten.

6. Over de garantie:
Onze apparatuur heeft een garantieperiode van 12 maanden. Na de garantieperiode, als er onderdelen beschadigd raken en moeten worden vervangen, zullen we alleen de kostprijs in rekening brengen.

7. Klantenservice:
Alle machines hebben een garantieperiode van meer dan één jaar. Onze technische ingenieurs staan altijd online om u te voorzien van installatie-, opstart- en onderhoudsdiensten voor apparatuur. Wij kunnen installatie- en opstartdiensten ter plaatse bieden voor speciale en grote apparatuur.

Meer producten

Inquiry

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rechten voorbehouden

Privacybeleid

Inquiry Email WhatsApp WeChat
BOVENKANT
×

Neem contact op