


Saiz wafer |
4”~ 8” wafer |
Ketebalan wafer |
100~750 mikron |
Jenis wafer |
Si, SiC, GaN, atau bahan lain |
Jenis filem |
Filem biru, filem UV Lebar: 230 ~ 300 mm Panjang: 100 m Ketebalan: 0.05 ~ 0.2 mm |
Gelang pembawa wafer |
6”, 8” DISCO |
Kaedah memuatkan dan membongkar |
Penempatan dan pengalihan manual wafer/gelang pembawa |
Ketepatan penempatan filem |
±0,5mm Piring wafer piawai 6" dan 8" untuk wafer 6" dan 8" |
Pam vakum |
Minder-Hightech |
Kawalan antistatik |
Kipas deionization |
Unit Kawalan |
Berdasarkan kawalan PLC, dengan skrin sentuh 10" |
Perlindungan Keselamatan |
Disusun dengan pelindung kurtin cahaya dan butang henti kecemasan |
Voltan bekalan kuasa |
Fasa tunggal AC 220V, 16A |
Udara Termampat |
0.45~0.6MPa, kadar aliran 70L/minit |
Kotak mesin |
Kotak logam berplastik putih |
Isipadu |
850mm (lebar)*1750mm (kedalaman)*1970mm (ketinggian) |
Berat Bersih |
480kg |


Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Semua Hak Dilindungi