Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Dapatkan Sebut Harga

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Laman Utama
Mengenai Kami
MH Equipment
Penyelesaian
Pengguna Luar Negara
Video
Hubungi kami
Rumah> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Sistem Etching Ion Reaktif RIE
  • Sistem Etching Ion Reaktif RIE
  • Sistem Etching Ion Reaktif RIE
  • Sistem Etching Ion Reaktif RIE
  • Sistem Etching Ion Reaktif RIE
  • Sistem Etching Ion Reaktif RIE
  • Sistem Etching Ion Reaktif RIE
  • Sistem Etching Ion Reaktif RIE
  • Sistem Etching Ion Reaktif RIE
  • Sistem Etching Ion Reaktif RIE
  • Sistem Etching Ion Reaktif RIE
  • Sistem Etching Ion Reaktif RIE

Sistem Etching Ion Reaktif RIE

Dapatkan Penawaran Percuma
Penerangan Produk

Etching ion reaktif (RIE)

Pengikisan ion reaktif (RIE) boleh digunakan untuk menyediakan struktur mikro-nano dan merupakan salah satu teknologi proses pembuatan semiconductor. Semasa proses pengikisan RIE, pelbagai zarah aktif dalam plasma membentuk produk mudah terbang dengan permukaan bahan. Produk ini diambil dari permukaan bahan, dan akhirnya pencapahan anisotropik mikrostruktur pada permukaan bahan dicapai. Siri produk pengikis ion reaktif (RIE) adalah berdasarkan teknologi plasma berkaitan kapasitif plat rata dan sesuai untuk pencapahan pola bahan silikon seperti silikon kristal tunggal, silikon polikristalin, nitrida silikon (SiNy), oksida silikon (SiO), kuarsa (Quartz) dan karbida silikon (SiC); boleh digunakan untuk pencapahan dan pelapisan semula bahan organik seperti peka cahaya (PR), PMMAHDMS dan bahan lain; boleh digunakan untuk pengikisan fizikal bahan logam seperti nikel (Ni), kromium (Cr) dan bahan keramik; boleh digunakan untuk pengikisan bahan indium fosfida (InP) pada suhu bilik. Untuk beberapa pencapahan dengan keperluan proses yang lebih tinggi, pencapahan ICP RIE kami juga boleh digunakan.

Konfigurasi utama:

1. Saiz sampel yang disokong: 4, 8, 12 inci, sesuai dengan pelbagai sampel saiz kecil, menyokong penyesuaian terhadap keperluan pelanggan
2. Julat kuasa plasma RF: 300/500/1000 W pilihan;
3. Penyedot molekul: 620/1300 //s pilihan, penyedot anti-korosi pilihan;
4. Penyedot awal: pom minyak mekanikal/pom kering pilihan;
5. Kawalan tekanan: 0 ~1 Torr pilihan; konfigurasi tanpa mod kawalan tekanan juga boleh dipilih,
6. Gas proses: hingga 9 gas proses boleh dilengkapi pada masa yang sama; suhu: 10 darjah ~ suhu bilik/-30 darjah ~ suhu bilik/ julat suhu yang boleh disesuaikan,
7. Penyejukan helium belakang boleh dikonfigurasi mengikut aplikasi;
8. Lapisan anti-pencemaran yang boleh dilepas;
9. Muatan-kunci pilihan;
10. Sistem kawalan satu-butang penuh automatik;

Bahan yang Berkenaan dengan RIE:

1. Bahan berbasa silikon: silikon (Si), oksida silikon (SiO2), nitrida silikon (SiNx), karbida silikon (SiC)
2. Bahan III-V: fosfat indium (InP), arsenid galium (GaAs), nitrida galium (GaN)
3. Bahan II-VI: telurida kadmium (CdTe)
4. Bahan magnetik/bahan aloi
5. Bahan logam: aluminium (AI), emas (Au), wolfram (W), titan (Ti), tantalum (Ta)
6. Bahan organik: photoresist (PR), polimer organik (PMMA/HDMS), org

Aplikasi Berkaitan RIE:

1. Pengekalan bahan berbasa silikon, pola nanoimprint, pola array dan pola kanta;
2. Pengekalan suhu ruangan bagi indium fosfida (InP), pengekalan pola peranti berbasa InP dalam komunikasi optik, termasuk struktur panduan gelombang, struktur rongga resonan, dan struktur lembangan;
3. Pengecoran bahan SiC, sesuai untuk peranti mikrogelombang, peranti kuasa, dll.;
4. Pengecoran sputtering fizik digunakan pada beberapa logam, seperti nikel (Ni), kromium (Cr), keramik dan bahan lain yang sukar dicor secara kimia, serta pencapaian pola pengecoran bahan melalui serangan fizik;
5. Pengecoran bahan organik digunakan untuk pengecoran, pembersihan dan pengeluaran bahan organik seperti photoresist (Photo Resist), PMMA, HDMS, Polimer;
6. Pengecoran pelapisan semula untuk analisis kegagalan cip (Failure Analysis-FA);
7. Pengecoran bahan dua dimensi: bahan dua dimensi W, Mo, graphene;
Keputusan Permohonan：
Konfigurasi projek dan gambar struktur mesin
Item
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE
Saiz Produk
≤6 inci
≤8 inci
≤8 inci
Sumber kuasa RF
0-300W/500W/1000W Tersuaikan, penyuaian automatik
Pump molekul
-/620(L/s)/1300(L/s)/Custom
Antiseptik620(L/s)/1300(L/s)/Custom
Pump Foreline
Pump mekanikal/kering
Pam Kering
Tekanan proses
Tekanan tidak terkawal/0-1Torr tekanan terkawal
Jenis gas
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/Custom
(Hingga 9 saluran, tiada gas kerosak dan toksik)
H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Hingga 9 saluran)
Dapur gas
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/pesan piawai
Muatan Kunci
Ya/Tidak
Ya
Kawalan suhu sampel
10°C~Suhu bilik/-30°C~100°C/Pesan piawai
-30°C~100°C/Pesan piawai
Penyejukan helium belakang
Ya/Tidak
Ya
Pembalut rongga proses
Ya/Tidak
Ya
Kawalan suhu dinding rongga
Tidak/Suhu bilik~60/120°C
Suhu bilik-60/120°C
Sistem Kawalan
Kereta/persuaian
Bahan pemberesan
Berdasarkan silikon: Si/SiO2/SiNx···
IV-IV: SiC
Bahan magnet/material loya
Bahan logam: Ni/Cr/Al/Au.....
Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/Organik
filem......
Berdasarkan silikon: Si/SiO2/SiNx......
III-V (catatan 3): InP/GaAs/GaN......
IV-IV: SiC
II-VI (catatan 3): CdTe......
Bahan magnet/material loya
Bahan logam: Ni/Cr/A1/Au......
Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/bahan organik film...
Gambar sebenar Makmal dan Kilang
Pembungkusan & Penghantaran
Profil Syarikat
Minder-Hightech adalah wakil jualan dan perkhidmatan dalam peralatan industri produk semikonduktor dan elektronik. Sejak 2014, syarikat ini berdedikasi untuk menyediakan pelanggan dengan Penyelesaian Satu Henti yang Lebih Baik, Boleh Dipercayai.
S&A
1. Mengenai Harga:
Semua harga kami bersaing dan boleh diperundingkan. Harga berbeza-beza bergantung kepada konfigurasi dan kekompleksan penyesuaian peranti anda.

2. Mengenai Sampel:
Kami boleh memberi perkhidmatan pengeluaran sampel untuk anda, tetapi anda mungkin perlu membayar beberapa yuran.

3. Mengenai Pembayaran：
Setelah rancangan disahkan, anda perlu membayar deposit kepada kami terlebih dahulu, dan kilang akan mula menyediakan barangan. Setelah peralatan sedia dan anda membayar baki, kami akan menghantarnya.

4. Mengenai Penghantaran:
Setelah pembuatan peralatan selesai, kami akan menghantar video pemeriksaan kepada anda, dan anda juga boleh datang ke lokasi untuk memeriksa peralatan tersebut.

5. Pemasangan dan Penyelarasan:
Setelah peralatan tiba di kilang anda, kami boleh menghantar jurutera untuk memasang dan menyelaras peralatan. Kami akan memberikan penawaran terpisah untuk bayaran perkhidmatan ini.

6. Mengenai Jaminan:
Peralatan kami mempunyai tempoh jaminan 12 bulan. Selepas tempoh jaminan tamat, jika sebarang bahagian rosak dan perlu diganti, kami hanya akan mengenakan harga kos.

Produk Lain

Penyiasatan

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Dasar Privasi

Penyiasatan Email Whatsapp Top
×

Hubungi Kami