





|
Sumber plasma
|
RF
|
||
|
Kuasa
|
ICP
|
_
|
|
|
BIAS
|
1000W(pilihan)
|
||
|
Bidang Kepantasan
|
4~8 inci
|
||
|
Bilangan irisan pemprosesan tunggal
|
1
|
||
|
Dimensi penampilan
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
|
Kawalan sistem
|
PLC
|
||
|
Tahap Automasi
|
Manual
|
||








Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Semua Hak Dilindungi