Mesin Pemotongan dan Pemolesan Presisi untuk Bahan Semikonduktor , China Mesin Pemotongan dan Pemolesan Presisi untuk Bahan Semikonduktor Manufacturers, Suppliers, Factory

Penerangan Produk

Gambaran keseluruhan peralatan:

Mesin pengisar dan pemoles MDAM-CMP100/150 ialah peralatan pengisaran dan pemolesan berketepatan tinggi yang merangkumi aplikasi seperti bahan semikonduktor dan bahan optoelektronik. Ia terutamanya digunakan untuk mengisar dan menipiskan cip bahan semikonduktor utama seperti silikon, silikon dioksida, dan cip satah fokus antimonida indium, serta pemolesan mekanikal kimia pada bahagian bawah, permukaan, dan hujung. Keseluruhan peralatan dan semua komponennya telah dirawat sepenuhnya untuk rintangan kakisan, dan parameter proses boleh ditetapkan melalui antara muka interaktif skrin sentuh.

Reka bentuk yang saintifik dan munasabah, prestasi yang canggih, tahap automatik yang tinggi, operasi yang mudah, penyelenggaraan yang mudah dan kebolehpercayaan yang kuat; pengikatan substrat sampel, pengisaran dan penipisan, penggilapan mekanikal kimia, serta sambungan antara proses pemeriksaan awal dan akhir adalah munasabah, untuk memastikan dimensi pemprosesan setiap fungsi peralatan adalah konsisten. Dengan mengkonfigurasikan pelbagai perkakasan dan bahan habis pakai, pelbagai konfigurasi mesin dan penyelesaian proses boleh dicapai bagi memenuhi pelbagai keperluan teknikal pengguna, seperti bahan dan saiz yang berbeza.

Dengan perkembangan pesat teknologi semiconductor, keperluan prestasi dan fungsi litar terpadu terus meningkat. Teknologi TSV (Through Silicon Via) dan TGV (Through Glass Via), sebagai teknologi kemasan dan sambungan canggih, boleh meningkatkan secara efektif pengintegrasian dan prestasi cip. Peranti ini mempunyai rancangan proses unik untuk melaksanakan teknologi TSV/TGV.

Kelebihan peralatan:

* Sistem operasi sentuh yang bebas dan boleh dipindahkan;
* Melaksanakan penyerutan dan poles permukaan cip, serta persediaan sudut khas;
* Boleh menyimpan 100 menu proses;
* Fungsi EPD (Endpoint Detection);
* Pilihan tambahan kepada sistem pemberian 3 saluran;
* Sesuai untuk saiz sampel 6 inci dan di bawah.

Fungsi Peranti:

Mesin penggerindaan dan poles presisi MDAM-CMP100/150, unit utama dan semua cebisan adalah terbuat daripada bahan yang sangat tahan kerosakan. Seluruh mesin adalah tahan kerosakan, stabil, tahan aus, dan tahan karat, sesuai untuk penggerindaan dan poles mekanikal kimia bagi pelbagai bahan semikonduktor. Ruang kerja dipisahkan dari kawasan kawalan paparan dan dikawal secara digital menggunakan sistem kawalan skrin sentuh. Ia dikawal oleh CNC, boleh disimpan, dan boleh dipulih.

Sistem peranti mempunyai fungsi penjadualan, yang boleh beroperasi selamat selama 10 jam dan mengawal kelajuan cakera penyelaras. Papan kawalan diletakkan di luar kawasan kerja untuk mencegah larutan kasar terciprat ke atas papan kawalan. Semua parameter hos boleh disesuaikan pada skrin sentuh. Parameter proses hos mempunyai fungsi penyimpanan dan pemulihan untuk memastikan konsistensi dan kebolehulangan proses. Contoh wafer disedut pada permukaan bawah tetapan melalui pom vakum tanpa minyak, dan mempunyai fungsi anti hisap balik yang bebas.

Sistem pusingan mengufuk konfigurasi peralatan contoh mempunyai fungsi ayunan, dengan julat ayunan 0-100% boleh disesuaikan. Amplitud dan kelajuan frekuensi ayunan boleh ditetapkan dengan tepat melalui panel kawalan. Peralatan dilengkapi dengan sistem pegerak bebas untuk pusingan, dengan julat kelajuan yang boleh disesuaikan dari 0-120rpm. Reka bentuk fungsional ini memastikan penyelarasan penuh contoh semasa proses penggilingan dan penyelarasan, meningkatkan secara ketara kapasiti dan kecekapan penyelarasan peralatan.

Peralatan dilengkapi dengan jadual pemantauan ketebalan digital dengan kejituan pemantauan 1 μ m. Tekanan peralatan pada contoh wafer adalah boleh disesuaikan selanjar, dengan julat tekanan 0-3.5kg dan kejituan 2g/cm ², serta dilengkapi dengan peranti pengukuran tekanan.

Operasi cakera pengisar dan penggilap dikawal oleh pemacu utama, dan kelajuan cakera boleh dilaraskan dari 0 hingga 120 putaran per minit. Julat variasi kelajuan ini secara berkesan menjamin kelajuan pengisaran dan penggilapan sampel bahan dengan kekerasan dan saiz yang berbeza, seterusnya mencapai parameter proses yang lebih tinggi.

Penggantian cakera pengisaran dan cakera pengilat adalah mudah dan pantas, dengan cakera terbenam yang membolehkan peralatan beralih secara cepat daripada proses pengisaran kepada proses pengilat, seterusnya mengurangkan masa proses secara ketara. Selain itu, cakera pengisaran dilengkapi dengan blok pembaikan cakera untuk memastikan cakera pengisaran mempunyai rataan yang baik.

Spesifikasi

Model	MDAM-CMP100	MDAM-CMP150
Saiz wafer	4 inci dan di bawah	6 inci dan di bawah
Diameter plat kerja	420mm	420mm
Stesen	≤4	≤2
Muatan masuk	≤3
Bekalan Kuasa	220V、10A
Timing	0-10 jam
Suhu persekitaran	20℃~35℃
Kelajuan pelata	0-120rpm
Kadar pemasangan	0-120rpm

Komponen sistem pemasangan contoh	Penjepit, lengan rol
Perakitan proses pelapukan	Papan pelapuk, blok perbaikan papan, dan silinder
Perakitan proses penyilapan	Sistem pemberian cecair penyilap dan papan penyilap
Komponen pengesanan	Platform piawai ujian, pemeriksa kepingan, jangka tekanan ujian
Pakej bahan penyerutan dan penyelarasan wafer	Serbuk penyerut, larutan penyelaras, kain penyelaras, lilin, cecair pengeluarkan lilin, lembaran substrat kaca

Soalan Lazim

1. Mengenai Harga:
Semua harga kami bersaing dan boleh diperundingkan. Harga berbeza-beza bergantung kepada konfigurasi dan kekompleksan penyesuaian peranti anda.

2. Mengenai Sampel:
Kami boleh memberi perkhidmatan pengeluaran sampel untuk anda, tetapi anda mungkin perlu membayar beberapa yuran.

3. Mengenai Pembayaran：
Selepas rancangan disahkan, anda perlu membayar deposit terlebih dahulu, dan kilang akan mula menyediakan barangan. Selepas
peralatan disediakan dan anda membayar baki, kami akan menghantarnya.

4. Mengenai Penghantaran:
Setelah pembuatan peralatan selesai, kami akan menghantar video pemeriksaan kepada anda, dan anda juga boleh datang ke lokasi untuk memeriksa peralatan tersebut.

5. Pemasangan dan Penyelarasan:
Setelah peralatan tiba di kilang anda, kami boleh menghantar jurutera untuk memasang dan menyelaras peralatan. Kami akan memberikan penawaran terpisah untuk bayaran perkhidmatan ini.

6. Mengenai Jaminan:
Peralatan kami mempunyai tempoh jaminan 12 bulan. Selepas tempoh jaminan tamat, jika sebarang bahagian rosak dan perlu diganti, kami hanya akan mengenakan harga kos.