

| projek    | Spesifikasi  | komen    | ||
| 1 | Gambaran Peralatan | Nama peralatan: Mesin pembangunan lem seragam penuh automatik  | ||
| Model peralatan: MD-2C2D6  | ||||
| Spesifikasi wafer pengilangan: sesuai dengan wafer piawai 4/6 inci  | ||||
| Aliran proses lem seragam: Pemotongan bakul bunga → penjajaran pusat → lem seragam (menetes → lem seragam → pengeluaran tepi, belakang  pencucian) → pelat panas → pelat sejuk → penempatan bakul Aliran proses pembangunan: Pemotongan bakul bunga → penjajaran pusat → pembangunan (cairan pembangunan → air terion, pencucian belakang → penyusakan nitrogen) → pelat panas → pelat sejuk → penempatan bakul | ||||
| Saiz keseluruhan (kira-kira): 2100mm (L) * 1800mm (D) * 2100mm (T)  | ||||
| Saiz kabinet kimia (kira-kira): 1700(L) * 800(D) * 1600mm (T)  | ||||
| Jumlah berat (kira-kira): 1000kg  | ||||
| Ketinggian meja kerja: 1020 ± 50mm  | ||||
| 2 | Unit kaset  | Kuantiti: 2  | ||
| Saiz yang sesuai: 4/6 inci  | ||||
| Pengesanan kaset: pengesan mikro  | ||||
| Pengesanan keluaran: Ya, pengesan pantulan  | ||||
| 3 | robot | Kuantiti: 1  | ||
| Jenis: Robot hisapan vakum dua lengan  | ||||
| Darjah kebebasan: 4-paksi (R1, R2, Z, T)  | ||||
| Bahan jari: seramik  | ||||
| Kaedah pemelekatan substrat: kaedah penyerapan vakum  | ||||
| Fungsi pemetaan: Ya  | ||||
| Ketepatan penempatan: ± 0.1mm  | ||||
| 4 | Unit penengahan  | Jumlah: 1 set  | Penjajaran optik pilihan  | |
| Kaedah penjajaran: penjajaran mekanikal  | ||||
| Ketepatan penengahan: ± 0.2mm  | ||||
| 5 | Unit lem seragam | Kuantiti: 2 set (berikut adalah konfigurasi untuk setiap unit)  | ||
| Kelajuan putaran poros: -5000rpm hingga 5000rpm  | pemegang pemalas  | |||
| Ketepatan putaran poros: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)  | ||||
| Penyesuaian minimum laju putaran poros: 1rpm  | ||||
| Pecutan maksimum poros putaran: 20000rpm/s  | pemegang pemalas  | |||
| Lengan penyedot: 1 set  | ||||
| Laluan paip fotoresisten: 2 laluan  | ||||
| Diameter penyumbat fotoresisten: 2.5mm  | ||||
| Insulasi fotoresisten: 23 ± 0.5 ℃  | pilihan  | |||
| Penyumbat pelembap: Ya  | ||||
| RRC: Ya  | ||||
| Buffer: Ya, 200ml  | ||||
| Kaedah pemeletakan lem: pemeletakan pusat dan pemeletakan pemindaian adalah pilihan  | ||||
| Lengan pengalihan tepi: 1 set  | ||||
| Diameter penyemprot pengalihan tepi: 0.2mm  | ||||
| Pemantauan aliran cecair pengalihan tepi: pemeter apung  | ||||
| Julat aliran cecair pengalihan tepi: 5-50ml/minit  | ||||
| Paip balik cucuk: 2 cara (4/6 inci setiap satu dengan 1 saluran)  | ||||
| Pemantauan aliran balik cucuk: pemeter apung  | ||||
| Julat aliran cecair balik cucuk: 20-200ml/minit  | ||||
| Kaedah pengetapan cip: penyerapan vakum kawasan kecil Chuck  | ||||
| Alarm tekanan vakum: sensor tekanan vakum digital  | ||||
| Bahan Chuck: PPS  | ||||
| Bahan cawan: PP  | ||||
| Pemantauan pelepasan cawan: sensor tekanan digital  | ||||
| 6 | Unit membangun | Ketupat: ada  | ||
| Kuantiti: 2 set (berikut adalah konfigurasi untuk setiap unit)  | ||||
| Kelajuan putaran poros: -5000rpm hingga 5000rpm  | pemegang pemalas  | |||
| Ketepatan putaran poros: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)  | ||||
| Penyesuaian minimum laju putaran poros: 1rpm  | ||||
| Pecutan maksimum poros putaran: 20000rpm/s  | pemegang pemalas  | |||
| Lengan membangun: 1 set  | ||||
| Paip membangun: 2-arat (penyemprot berbentuk kipas/pillar)  | ||||
| Penapisan pembangun: 0.2um  | ||||
| Kawalan suhu pembangun: 23 ± 0.5 ℃  | pilihan  | |||
| Julat aliran penyelesaian pembangunan: 100~1000ml/minit  | ||||
| Mod gerakan lengan pembangunan: titik tetap atau skenning  | ||||
| Lengan pemanasan: 1 set  | ||||
| Paip air terdeion: 1 litar  | ||||
| Diameter penyemprot air terdeion: 4mm (diameter dalaman)  | ||||
| Julat aliran air terdeion: 100~1000ml/minit  | ||||
| Paip pengeringan nitrogen: 1 litar  | ||||
| Diameter penyemprot nitrogen: 4mm (diameter dalaman)  | ||||
| Julat aliran nitrogen: 5-50L/minit  | ||||
| Pemantauan aliran pembangun, air terdeion, nitrogen: pemeter aliran float  | ||||
| Paip balik cucuk: 2 cara (4/6 inci setiap satu dengan 1 saluran)  | ||||
| Pemantauan aliran balik cucuk: pemeter apung  | ||||
| Julat aliran cecair balik cucuk: 20-200ml/minit  | ||||
| Kaedah pengetapan cip: penyerapan vakum kawasan kecil Chuck  | ||||
| Alarm tekanan vakum: sensor tekanan vakum digital  | ||||
| Bahan Chuck: PPS  | ||||
| Bahan Chuck: PPS  | ||||
| Bahan cawan: PP  | ||||
| Pemantauan pelepasan cawan: sensor tekanan digital  | ||||
| 7 | Unit Tackifying | Kuantiti: 2  | pilihan  | |
| Julat suhu: suhu bilik~180 ℃  | ||||
| Ketepatan suhu: Suhu bilik~120 ℃± 0.75 ℃  120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Buang 10mm dari tepi, kecuali lubang pankal ejektor) | ||||
| Jumlah penyesuaian minimum: 0.1 ° C  | ||||
| Kaedah kawalan suhu: Penyesuaian PID  | ||||
| Julat ketinggian PIN: 0-20mm  | ||||
| Bahan PIN: badan SUS304, penutup PIN PI  | ||||
| Jarakan panggang: 0.2mm  | ||||
| Alarm suhu tinggi: alarm sisihan positif dan negatif  | ||||
| Kaedah pembekalan: Berbuih, 10 ± 2ml/minit  | ||||
| Vakum operasi bilik: -5-20KPa  | ||||
| 8 | Unit papan panas | Kuantiti: 10  | ||
| Julat suhu: suhu bilik~250 ℃  | ||||
| Ketepatan suhu: Suhu bilik~120 ℃± 0.75 ℃  120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Buang 10mm dari tepi, kecuali lubang pankal ejektor) | ||||
| Jumlah penyesuaian minimum: 0.1 ℃  | ||||
| Kaedah kawalan suhu: Penyesuaian PID  | ||||
| Julat ketinggian PIN: 0-20mm  | ||||
| Bahan PIN: badan SUS304, penutup PIN PI  | ||||
| Jarakan panggang: 0.2mm  | ||||
| Alarm suhu tinggi: alarm sisihan positif dan negatif  | ||||
| 9 | Unit papan sejuk  | Kuantiti: 2  | ||
| Julat suhu: 15-25 ℃  | ||||
| Kaedah penyejukan: pom sirkulasi suhu malar  | ||||
| 10 | Pasokan Kimia | Penyimpanan Photoresist: pom lem pneumatik * 4 set (Tangki pilihan atau pom lem elektrik)  | ||
| Isipadu penyusunan lem: maksimum 12ml setiap sesi, kejituan ± 0.2ml  | ||||
| Pembuang tepi/bilasan belakang/pasokan RRC: tangki tekanan 18L * 2 (penambahbaikan automatik)  | ||||
| Pemantauan paras cecair pembuang tepi/bilasan belakang/RRC: sensor fotoelektrik  | ||||
| Pemantauan paras cecair photoresist: sensor fotoelektrik  | ||||
| Pengeluaran cecair terbuang adhesif seragam: tangki terbuang 10L  | ||||
| Pasokan pengembang: tangki tekanan 18L * 4 (Disimpan di luar mesin dalam kabinet kimia)  | ||||
| Pasokan air air terion: pasokan terus dari kilang  | ||||
| Pembangunan pemantauan tahap cecair: sensor fotoelektrik  | ||||
| Pengeluaran sisa pembangunan: pengeluaran sisa kilang  | ||||
| Pasokan tackifier: tangki tekanan 10L * 1, tangki tekanan 2L * 1  | ||||
| Pemantauan tahap tackifier: sensor fotoelektrik  | ||||
| 11 | sistem Kawalan | Kaedah kawalan: PLC  | ||
| Antara muka operasi manusia mesin: skrin sentuh 17 inci  | ||||
| Sistem Penyediaan Kuasa Tanpa Putus (UPS): Ya  | ||||
| Tetapkan keizinan enkripsi untuk pengendali peranti, teknikawan, pentadbir  | ||||
| Jenis menara isyarat: merah, kuning, hijau 3 warna  | ||||
| 12 | Indikator kebolehpercayaan sistem  | Masa aktif: ≥95%  | ||
| MTBF: ≥ 500jam  | ||||
| MTTR: ≤ 4jam  | ||||
| MTBA: ≥24jam  | ||||
| Kadar pecahan: ≤ 1/10000  | ||||
| 13 | Fungsi lain  | Lampu kuning: 4 set (kedudukan: di atas unit pencampuran lem dan pembangunan)  | ||
| THC: Ya, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%  | pilihan  | |||
| FFU: Kelas 100, 5 set (kawasan unit proses dan ROBOT)  | ||||


Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Semua Hak Dilindungi