
| Model  | MDTS-WT2200  | 
| Bilangan paksi pemipilan  |  2 | 
| Bilangan meja kerja  | 3, Kaedah indeks  | 
| Penggal as roda giling  | Bilangan spindle udara: 2  Motor spindle: motor frekuensi pemboleh ubah 7.5kW Kelajuan: 0~6000rpm, dapat disesuaikan tanpa peringkat Spesifikasi roda gergaji: Φ203mm Jenis roda gergaji: roda gergaji berlian | 
| Sistem penyusunan roda gergaji  | Kuantiti: 2 set  Kaedah kawalan sistem pemberian: panduan rel LM dan skru bola gabungan Motor pendorong: motor servo Kelajuan pemberian minimum: 0.1um/sec Kelajuan pemberian maksimum: 50mm/sec | 
| Meja Kerja    | Kuantiti: 3, mod indeks  Motor poros: Motor servo Kelajuan: 0~300rpm, boleh disesuaikan tanpa peringkat Kaedah penyerapan: penyerapan vakum | 
| Meja kerja berputar  | Mod pemanduan: motor servo  Julat putaran: 0~240° Bentuk penempatan: penempatan berasisten sensor | 
| Ketebalan automatik  sistem pengukuran | Kaedah pengukuran: pengukuran IPG berhubung dalam talian secara real-time  Bilangan kepala pengukur: 2 Sensor pengukuran: sensor tahap 0.1um | 
| Pemuatan automatik/  sistem peluaran automatik | Jenis kotak: Cassette 6-8inc, 25 lapis  Kaedah memuatkan/membongkarkan automatik: penggunaan manipulator wafer untuk memastikan wafer tipis diangkut tanpa kerosakan Ketebalan wafer: 150um-1000um | 
| Fungsi pembersihan meja kerja  | Kaedah pembersihan: Pemolesan Oilstone & pelacapan dua fluid iaitu air DI + udara  | 
| Pembersihan automatik/  sistem Penyusunan | Pembersihan: pembersihan nozzle DIW  Kaedah mengeringkan: Meniup + mengeringkan Kelajuan: maksimum 1000rpm dapat disesuaikan secara selari | 
| Sistem Penghapusan Statik  | Bar ion atau kipas orion  | 
| Penyejuk poros  | Suhu: 18-22°C  Kadar aliran: 4~8L/minit | 
| Sistem Kawalan    | Sistem kawalan: Sistem kawalan PC, skrin sentuh dengan lampu alarm 3 warna  Antara muka manusia-mesin dalam Bahasa Cina/Inggeris | 
| Saiz wafer maksimum  | Maksimum sesuai dengan 8 inci  | 
| Julat kelajuan    | 0~6000 RPM  | 
| Perjalanan paksi-Z    | 160mm  | 
| Kelajuan pemakanan dalam paksi Z  | 0.1~100um/sekon  | 
| Kelajuan tarik pantas paksi-Z  | 50mm/sekon  | 
| Resolusi paksi-Z  | 0.1um  | 
| Julat pengukuran ketebalan dalam talian  | 0~1800um  | 
| Resolusi pengukuran ketebalan dalam talian  | 0.1um  | 


Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Semua Hak Dilindungi